一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构的制作方法

技术总结
本实用新型公开了一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构，设置于坩埚与侧边加热器之间；包括：护板本体，护板本体的朝向侧边加热器的一侧开设有多个凹槽。采用该多晶硅铸锭用坩埚护板结构能够提高多晶硅铸锭过程中的热传导效率，减少能耗，降低成本。

技术研发人员：宋江;郭宽新
受保护的技术使用者：奥特斯维能源（太仓）有限公司
文档号码：201620956989
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2017.02.22