用于氮化物外延生长的叠层基板及其形成方法与流程

技术总结
一种用于氮化物外延生长的叠层基板及其形成方法，所述叠层基板包括：至少一组堆叠结构，所述堆叠结构包括氮化铪层和氮化铝层，所述氮化铪层和氮化铝层相互堆叠；所述叠层基板具有六方晶体结构。所述叠层基板适于作为高温生长氮化物外延层的基底，形成高质量的氮化物外延层。

技术研发人员：闫发旺;张峰;赵倍吉;谢杰
受保护的技术使用者：上海新傲科技股份有限公司
文档号码：201710122936
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.06.13