一种石墨烯制取设备的制作方法

文档序号:14865103发布日期:2018-07-04 11:33阅读:151来源:国知局

本实用新型涉及石墨烯制取领域,特别是一种石墨烯制取设备。



背景技术:

石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化方式形成的蜂窝状平面薄膜,是一种只有一个原子层厚度的准二维材料,所以又叫做单原子层石墨。由于其十分良好的强度、柔韧、导电、导热、光学特性,石墨烯材料在物理学、材料学、电子信息、航天航空等领域都得到了广泛的应用。比较主流的方法有外延生长法、化学气相沉淀CVD法和氧化石墨还原法等。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种石墨烯制取设备。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种石墨烯制取设备。包括反应仓;所述反应仓底部安装加热器;所述加热器上方设置底板;所述反应仓左下角设置有机气体输入口;所述反应仓右下角设置惰性气体输入口;所述反应仓顶端设置气体出口;所述反应仓侧板设置真空泵;所述反应仓左上侧设置射频器A;所述反应仓侧板设置温度计;所述反应仓右上侧设置射频器B。所述气体出口与惰性气体输入口连接管道;所述管道右侧上部设置出口;所述管道右侧下部设置入口。所述有机气体输入口(1)设置有阀门A;所述出口设置阀门B;所述入口设置阀门C。

本实用新型具有以下优点:

1、结构简单,操作方便。

2、所需温度低,制备石墨烯比表面积大。

附图说明

图1 为本实用新型的结构示意图;

图中:1-有机气体输入口,2-阀门A,3-底板,4-真空泵,5-射频器,6-反应仓,7-管道,8-阀门B,9-射频器,10-阀门C,11-惰性气体输入口,12-加热器,13-气体出口,14-温度计,15-气体出口,16-气体入口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。

如图1所示,一种石墨烯制取设备,它包括反应仓6;所述反应仓6底部安装加热器12;所述加热器12上方设置底板3;所述反应仓6左下角设置有机气体输入口1;所述反应仓6右下角设置惰性气体输入口11;所述反应仓6顶端设置气体出口13;所述反应仓6侧板设置真空泵4;所述反应仓6左上侧设置射频器A5;所述反应仓6侧板设置温度计14;所述反应仓6右上侧设置射频器B9。所述气体出口13与惰性气体输入口11连接管道7;所述管道7右侧上部设置出口15;所述管道右侧下部设置入口16。所述有机气体输入口1设置有阀门A2;所述出口15设置阀门B8;所述入口16设置阀门C16。

本实用新型的工作过程如下:关闭阀门A、阀门B、阀门C,打开真空泵,将反应仓内的空气抽出。关闭阀门A,打开阀门B、阀门C,通入惰性气体,当检测到气体输出口的气体为惰性气体后,关闭阀门B和阀门C。打开加热器,加热反应仓内温度到400-500摄氏度。打开射频器A和射频器B,激发反应仓气体产生等离子体。打开阀门A,通入有机气体,同时打开阀门C继续通入惰性气体。

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