一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置的制作方法

文档序号:18924630发布日期:2019-10-19 03:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置,包括气柜(1)、蒸发箱(2)、燃烧器(5)、反应釜(6),气柜(1)和燃烧器(5)之间用至少一条第一载气管路(11)相连,所述蒸发箱(2)连接有原料气体管路(21),所述燃烧器(5)和反应釜(6)相连,反应釜(6)内设有产品,其特征在于:还包括第二载气管路(3)和混合气体管路(4),所述第二载气管路(3)上设有加热区(32),加热区(32)内设有第一温度传感器(31),所述第二载气管路(3)两端分别和气柜(1)、原料气体管路(21)相连,所述混合气体管路(4)上设有第二温度传感器(41)和第三温度传感器(42),混合气体管路(4)的前端与第二载气管路(3)和原料气体管路(21)之间的混合连接处相连,混合气体管路(4)的后端和燃烧器(5)相连。

2.如权利要求1所述的一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置,其特征在于:所述加热区(32)的长度不低于1.6m,所述第一温度传感器(31)距离第二载气管路(3)和原料气体管路(21)之间的混合连接处45~200mm。

3.如权利要求1所述的VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置,其特征在于:所述第二温度传感器(41)距离第二载气管路(3)和原料气体管路(21)之间的混合连接处45~200mm。

4.如权利要求1所述的VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置,其特征在于:所述第三温度传感器(42)和燃烧器(5)之间的距离控制在45~200mm。

5.如权利要求1所述的VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置,其特征在于:所述混合气体管路(4)的长度不低于1m,所述原料气体管路(21)伸出蒸发箱(2)后立即与第二载气管路(3)相连通。

6.如权利要求1所述的VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置,其特征在于:所述加热区(32)上远离气柜(1)的一端敷设至第二载气管路(3)和原料气体管路(21)之间的混合连接处为止。

7.如权利要求1所述的VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置,其特征在于:所述第三温度传感器(42)检测温度、第二温度传感器(41)检测温度、第一温度传感器(31)检测温度、蒸发箱(2)内温度依次减小。

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