脆性材料基板的刻划装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明是关于一种玻璃基板、半导体基板等脆性材料基板的刻划装置。本发明尤其是关于一种贴合有玻璃基板的液晶显示面板用母基板的刻划装置。
【背景技术】
[0002]液晶显示面板用母基板，是使用2片大面积玻璃基板，在一基板上形成彩色滤光片，在另一基板上形成驱动液晶的TFT (Thin Film Transistor)及端子区域，而将所述2片基板贴合而成。而且，经由刻划步骤及裂断步骤，藉此分断成一个一个的单位显示面板，切出作为制品的液晶显不面板。
[0003]一般而言，在从母基板切出单位显示面板的步骤中，进行藉由对母基板表面及背面，沿刻划预定线使刀轮(亦称刻划轮)一边压接一边相对移动，而形成相互正交的X方向及Y方向的刻划线的刻划步骤。之后，进行藉由沿该刻划线施加外力使基板挠曲，而将母基板完全分断成每一单位显示面板的裂断步骤。
[0004]例如在专利文献I及专利文献2中揭示有以在上下两面同时进行上述刻划步骤的方式，而不使大面积的基板反转、且可效率佳地进行上述刻划步骤的刻划装置。
[0005]图6是概略性地表示在上下两面同时进行刻划步骤的现有习知刻划装置的主视图。
[0006]在该刻划装置中，以隔有间隔且串联地配置有用于载置母基板M并于Y方向进行搬送的前后一对输送带21a、21b。在前后的输送带21a、21b之间，配置有用以对母基板M的表背两面加工相互正交的刻划线的上部刀轮22a及下部刀轮22b。藉由使所述上部刀轮22a及下部刀轮22b—边同时按压母基板M的表面及背面一边在X方向(图6的前后方向)滚动，而在母基板M的表背两面加工如图7(a)所示的X方向的刻划线SI。之后，90度旋转母基板M，与上述同样地使刀轮22a、22b滚动，而加工如图7(b)所示的Y方向的刻划线S2。Y方向的刻划线S2的加工，亦可藉由在加工X方向的刻划线SI后，90度旋转刀轮22a、22b的朝向并使其滚动而进行加工。此外，在该情形中，亦可在加工Y方向的刻划线S2后，使刀轮22a,22b的朝向进行90度旋转，加工X方向的刻划线SI。
[0007]将以如此方式形成有X方向及Y方向的刻划线S1、S2的母基板M，送入裂断装置并从各刻划线将其分断，在取出单位制品Ml后，将端缘部的端材区域M2废弃。
[0008]专利文献1:国际公开W02005/087458号公报
[0009]专利文献2:日本特开2010-052995号公报
[0010]在上述的刻划装置中，在搬送母基板M的前部输送带21a与后部输送带21b之间，必需有用于配置上下的刀轮22a、22b的一定的间隔。由于在刻划时母基板M跨越该间隔并藉由前后的输送带21a、21b支持，因此在母基板M的厚度较薄的情形，存在有产生往下方垂落(垂下)的情形。此外，桥架输送带的皮带的轮体或皮带的表面难以提高加工精度而残留有微细的凹凸，因此在跨越输送带间的母基板M较薄的情形，存在有受到皮带的凹凸的影响而产生高低起伏等的情况。[0011 ] 一旦在母基板M产生有垂落或高低起伏的状态下藉由上下的刀轮22a、22b进行刻划，则龟裂不规则地产生、缺口等的损伤产生等而成为不良品的原因。尤其在近年来，成为加工对象的液晶显示面板用母基板，为了低电力、高效能、精巧化，而被要求例如为厚度为0.1mm?0.15mm的薄板，从而使该问题的解决成为课题。
[0012]有鉴于上述现有的刻划装置存在的问题，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研宄创新，以期创设一种新的脆性材料基板的刻划装置，能够改进一般现有的刻划装置，使其更具有实用性。经过不断的研宄、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
【发明内容】
[0013]因此本发明的目的，在于提供一种即使是例如厚度为0.1mm左右的薄板的母基板，亦能够不产生如上述的垂落或高低起伏地以上下的刀轮精度佳地进行刻划的刻划装置。
[0014]本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。为了解决上述课题而完成的本发明的刻划装置，具备有以下的构件:前部输送带及后部输送带，是在同一水平面上隔有既定的间隔且串联地配置，以载置成为加工对象的脆性材料基板并进行搬送；上部刀轮及下部刀轮，是配置于所述前部输送带与后部输送带之间；以及上部空气喷出构件及下部空气喷出构件，是配置于该前部输送带及后部输送带之间、该上部刀轮及下部刀轮的各个的侧旁部分，以朝向该脆性材料基板的上下两面喷出空气。
[0015]本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0016]由上下的空气喷出构件所产生的空气喷出压，较佳为:以成为加工对象的脆性材料基板在浮起的状态下稳定的方式，将由该下部空气喷出构件所产生的空气喷出压，设定成较由该上部空气喷出构件所产生的空气喷出压强出相当于对抗基板本身重的压力量，而能够不接触且水平地保持脆性材料基板。
[0017]根据本发明，能够在藉由上下的刀轮加工刻划线时，将位于前后的输送带间的母基板，以藉由来自上下的空气喷出构件的喷出空气夹持的方式不接触且水平地支持，因此即便是母基板因本身重而垂下的薄板者，亦能够保持水平姿势且精度佳地进行刻划。此外，能够缓和因相邻接的前后的输送带的加工或调整的精度而受到的不良影响。进一步地，不以夹器(clamp)夹持基板而使基板浮起，藉此不会有在夹器附近产生不均匀的应力的情况，能够进行精度高的加工。
[0018]在上述发明中，上下的空气喷出构件，可为沿前部输送带与后部输送带间的间隙形成，且固定于刻划装置的构架，或者亦可为设定成在该刀轮的周边喷出的长度，且安装于保持刀轮的刻划头，以与该刀轮一起移动的构成。尤其是在后者的情形，亦具有能够朝向难以进行位置调整的大面积基板，抑制空气消费量的效果。
[0019]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【附图说明】
[0020]图1是表示本发明的刻划装置的一例的立体图。
[0021]图2是图1所示的刻划装置的主视图。
[0022]图3是图1所示的刻划装置的俯视图。
[0023]图4是表示本发明的刻划装置的其他实施例的要部剖面主视图。
[0024]图5是图4所示的刻划装置的俯视图。
[0025]图6是表示现有习知的刻划装置的一例的主视图。
[0026]图7是对脆性材料基板(母基板)加工刻划线的顺序的俯视图。
[0027]【主要元件符号说明】
[0028]A:刻划装置M:母基板(脆性材料基板)
[0029]S1:X方向的刻划线S2:Y方向的刻划线
[0030]P:前后的输送带的间隙Ia:前部输送带
[0031]Ib:后部输送带2a:上部刀轮
[0032]2b:下部刀轮3a、3b:保持具
[0033]4a,4b:刻划头8a:上部空气喷出构件
[0034]8b:下部空气喷出构件9:构架
[0035]10:空气喷出孔lla、llb:支持臂
【具体实施方式】
[0036]为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的脆性材料基板的刻划装置其【具体实施方式】、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。
[0037]以下，根据图1?图