3说明本发明的刻划装置的细节。
[0038]另外，本发明的刻划装置只要是对成为加工对象的基板两面同时进行加工则并无特别地限定，但此处以贴合有玻璃基板的大面积的液晶显示面板用母基板为例进行说明。以下，将该液晶显示面板用贴合母基板简称为“母基板M”。
[0039]刻划装置A，具备有用于载置母基板M并于图1的Y方向进行搬送的一对前部输送带Ia及后部输送带lb。前部输送带Ia及后部输送带lb，以隔着配置下述的刀轮2a、2b及空气喷出构件8a、8b的间隙P的方式在同一水平面上且在Y方向串联地配置。前部输送带Ia及后部输送带lb，可为皮带在轮体间进行旋动的输送带。
[0040]在前部输送带Ia与后部输送带Ib之间，配置有用于对母基板M的表背两面加工X方向及Y方向的刻划线S1、S2(参照图7)的上部刀轮2a及下部刀轮2b。所述上部刀轮2a及下部刀轮2b，分别通过保持具3a、3b而呈可上下移动地安装于上下的刻划头4a、4b。此外，刻划头4a、4b，安装成可沿形成于门型桥架5的水平的梁(横梁)6a、6b的导引件7而在X方向往复移动。例如，一旦使刻划头4a、4b沿梁6a、6b在X方向移动，则可加工X方向的刻划线，此外，一旦使母基板M藉由前部输送带Ia与后部输送带Ib而在相对于梁6a、6b垂直方向(Y方向)移动，则可加工Y方向的刻划线。进一步地，在将母基板M配置成相对于梁6a、6b倾斜的情形，藉由组合刻划头4a、4b的沿梁6a、6b的方向的移动、与母基板M的相对于梁6a、6b的垂直方向的移动，而可加工X方向及Y方向的刻划线。
[0041]进一步地在本发明中，在前部输送带Ia与后部输送带Ib的间隙P内，在上部刀轮2a及下部刀轮2b的两侧旁部分设置有上部空气喷出构件8a及下部喷出构件Sb。
[0042]所述的空气喷出构件8a、8b，在上下的刀轮2a、2b的行进方向、亦即沿间隙P在X方向延伸设置，且固定于刻划装置A的左右的构架9。此外，形成为以朝向成为加工对象的母基板M的方式设置空气喷出孔10，来自压缩机等的空气供给源(省略图示)的高压空气从空气喷出孔10喷出。
[0043]另外，将来自上下的空气喷出构件8a、8b的空气喷出孔10的空气，以成为相对于成为加工对象的母基板M上下均等的喷出压的方式设定，藉此能够不接触且水平地支持位于前后的输送带la、Ib间的母基板Μ。
[0044]在上述的构成中，在进行加工时，将母基板M载置于前部输送带Ia及后部输送带Ib上，使上部刀轮2a及下部刀轮2b在已按压于母基板M的表背两面的状态下在X方向滚动，藉此加工X方向的刻划线SI。一旦完成所有的X方向的刻划线SI的加工，则使母基板M进行90度旋转并再次载置于输送带la、Ib上，与上述同样地，藉由使上下的刀轮2a、2b —边按压于母基板M的表背两面一边滚动，以加工Y方向的刻划线S2。另外，亦可为:不使母基板M旋转，使刀轮2a、2b的朝向进行90度旋转，藉由使母基板M往Y方向移动而使刀轮2a、2b滚动。
[0045]在该刻划线S1、S2的加工时，将母基板M以藉由来自上下的空气喷出构件8a、8b的喷出空气而夹持的方式不接触且水平地支持，因此即便母基板是例如厚度为0.1mm的薄板，亦能够不垂下地保持水平姿势而可精度佳地进行刻划。此外，不会受到相邻接的输送带IaUb的加工精度的影响。进一步地，基板本身由于不以夹器夹持而为自由的状态，亦不会受到局部的应力的影响。
[0046]图4及图5是表示本发明的其他实施例的刻划装置的图式，图4是要部剖面图，图5是俯视图。
[0047]在该实施例中，上下的空气喷出构件8a、8b，设定成仅在刀轮2a、2b的周边喷出的长度，且形成为与该刀轮2a、2b —起移动。具体而言，上下的空气喷出构件8a、8b，通过支持臂IlaUlb而分别安装于上下的刻划头4a、4b。
[0048]藉此，使上下的空气喷出构件8a、8b亦与上下的刀轮2a、2b的移动一起地进行移动，而能够不接触地水平保持母基板M的供刀轮2a、2b按压的部分，能够与上述实施例同样地精度佳地进行刻划。尤其是在本实施例的情形，具有能够抑制空气消费量的效果。此外，若成为大面积基板用的装置，虽在图1?3中所说明的装置中，由于空气喷出构件的长度较长而使调整作业变困难，但若为安装于刻划头般的本实施例，由于可使空气喷出构件为较短，因此适合于大面积用。
[0049]以上，虽已针对本发明的代表性的实施例进行了说明，但本发明并不特定于仅为上述的实施例构造。例如在上述实施例中，空气喷出构件8a、8b虽分别设在上下的刀轮2a、2b的两侧旁部分，但亦可省略某一侧而仅设在单侧旁部分。
[0050]此外，空气喷出构件8a、8b的空气喷出孔10，亦可由具有透气性的多孔质的板材的透气孔形成。
[0051]此外在本发明中，可在达成其目的、不脱离申请专利范围的范围内适当地进行修正、变更。
[0052]本发明，可应用于对玻璃基板、半导体基板、液晶显示面板用贴合基板等的脆性材料基板的表背两面加工刻划线的刻划装置。
[0053]以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种脆性材料基板的刻划装置，其特征在于其具备： 前部输送带及后部输送带，是在同一水平面上隔有既定的间隔且串联地配置，以载置成为加工对象的脆性材料基板并进行搬送； 上部刀轮及下部刀轮，是配置于所述前部输送带及后部输送带之间；以及 上部空气喷出构件及下部空气喷出构件，是配置于该前部输送带与后部输送带之间、该上部刀轮及下部刀轮的各个的侧旁部分，以朝向该脆性材料基板的上下两面喷出空气。
2.根据权利要求I所述的脆性材料基板的刻划装置，其特征在于，其中， 以成为加工对象的脆性材料基板在浮起的状态下稳定的方式，将由该下部空气喷出构件所产生的空气喷出压，设定成较由该上部空气喷出构件所产生的空气喷出压强出相当于对抗基板本身重的压力量。
3.根据权利要求I或2所述的脆性材料基板的刻划装置，其特征在于，其中， 该上下的空气喷出构件，沿前部输送带与后部输送带之间的间隙形成，且固定于刻划装置的构架。
4.根据权利要求I或2所述的脆性材料基板的刻划装置，其特征在于，其中， 该上下的空气喷出构件，设定成在该刀轮的周边喷出的长度，且安装于保持刀轮的刻划头，以与该刀轮一起移动。
【专利摘要】本发明提供一种能够不产生母基板的垂落或高低起伏地以上下的刀轮精度佳地进行刻划的刻划装置。该刻划装置具备有：前部输送带1a及后部输送带1b，是在同一水平面上隔有既定的间隙P且串联地配置，以载置成为加工对象的脆性材料基板M并进行搬送；上部刀轮2a及下部刀轮2b，是配置于所述前部输送带1a与后部输送带1b的间隙P；以及上部空气喷出构件8a及下部空气喷出构件8b，是配置于间隙P内、上部刀轮2a及下部刀轮2b的各个的侧旁部分，以朝向脆性材料基板M的上下两面喷出空气。
【IPC分类】C03B33-02
【公开号】CN104803592
【申请号】CN201410638487
【发明人】冈岛康智
【申请人】三星钻石工业股份有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2014年11月6日