，吸水辊排列于该位置输送辊61的上方，吸水辊吸干硅片上的水洗液。
[0031]如图6所示，喷淋碱制绒工位包括:碱制绒槽301、设于碱制绒槽301上方的喷淋碱液盒302、用于将碱制绒液栗入喷淋碱液盒302的碱制绒栗303、用于收集碱制绒槽301内碱制绒液的碱制绒副槽304。碱制绒液栗至硅片7上方的喷淋碱液盒302再淋到硅片7上表面进行化学处理，喷淋碱制绒的作用是对硅片7进行碱制绒。当单晶硅片制取绒面时，需要高温处理，采用加热装置5加热药液，由栗供给喷淋碱液盒302，喷淋在硅片7上表面有效提高硅片表面处理质量，溢流出的碱制绒液收集到碱制绒副槽304，再由碱制绒栗303供给碱制绒槽301循环使用。
[0032]第二喷淋水洗工位设于喷淋碱制绒工位和浸泡减处理工位之间，设备主体I上位于第二喷淋水洗工位和浸泡碱处理工位之间的位置设有吸水辊，吸水辊排列于该位置输送辊61的上方，吸水辊吸干硅片7上的水洗液。
[0033]浸泡碱处理工位包括:碱处理槽、将碱处理槽分隔成多个工作液腔室的多对隔板、用于将碱处理液栗入工作液腔室的碱处理栗、用于收集碱处理槽内碱处理液的碱处理副槽，每对隔板的两板之间设有间距形成用于溢流循环的缓冲腔室，该缓冲腔室底部设有与碱处理副槽连接的输出口。浸泡碱处理工位的作用是去前段工艺有机物、多孔硅及酸碱中和，其结构和浸泡酸制绒工位的结构相同，工位的工作过程也相似，在此不做赘述。
[0034]第三喷淋水洗工位设于浸泡碱处理工位和酸处理工位之间，设备主体上位于第三喷淋水洗工位和酸处理工位之间的位置设有吸水辊，吸水辊排列于该位置输送辊的上方，吸水棍吸干娃片上的水洗液。
[0035]酸处理工位的作用是去除硅片正面的磷硅玻璃及金属离子，为下道工序做准备。其可行的结构有两种，第一种是浸泡处理，酸处理工位包括:酸处理槽、将酸处理槽分隔成多个工作液腔室的多对隔板、用于将酸处理液栗入工作液腔室的酸处理栗、用于收集酸处理槽内碱处理液的酸处理副槽，每对隔板的两板之间设有间距形成用于溢流循环的缓冲腔室，该缓冲腔室底部设有与酸处理副槽连接的输出口。这种浸泡处理的结构与浸泡酸制绒工位相同，工位的工作过程也相似，在此不做赘述。
[0036]第二种是喷淋处理，酸处理工位包括:酸处理槽、设于酸处理槽上方的喷淋酸液盒、用于将酸液栗入喷淋酸液盒的酸处理栗、用于收集酸处理槽内碱处理液的酸处理副槽。这种喷淋处理的结构与喷淋碱制绒工位相同，工位的工作过程也相似，在此不做赘述。
[0037]第四喷淋水洗工位、第二烘干工位依次设于酸处理工位后端，设备主体上位于第四喷淋水洗工位和第二烘干工位之间的位置设有吸水辊，吸水辊排列于该位置输送辊的上方，吸水辊吸干硅片上的水洗液。
[0038]以上为各个工位的基本组成结构。
[0039]在本实施例中，喷淋碱制绒工位中的加热装置5包括:加热装置包括:安装在碱制绒副槽304内或循环管路中的加热器和温度检测仪，加热器和温度检测仪均与控制系统连接。
[0040]较优的，浸泡酸制绒工位、喷淋碱制绒工位、浸泡碱处理工位、酸处理工位均连接有自动补液系统8。如图7所示，该自动补液系统8包括:依次连接的进液管81、补液桶82、补液管83，补液管83伸入一副槽9中。进液管81和补液管83上分别设置有与控制系统连接的控制阀，其中，与补液管83连接的控制阀为一对相并联的精补阀84和粗补阀85 ο补液桶82内设有高精度液位检测仪86，其一端从补液桶82内伸出并与控制系统连接。高精度液位检测仪可采用超声波液位仪，其大幅度提高了药液添加的精度，保证添加的药液与实际配方高度的一致性，并能大大降低温度变化、气压不稳、阀门延时等因素对系统造成的影响。提尚了设备的稳定性。
[0041 ] 进一步的，依次设置的酸制绒槽、喷淋水洗槽、碱制绒槽、喷淋水洗槽、碱处理槽、喷淋水洗槽、酸处理槽、喷淋水洗槽为主槽槽组。较优的，其结构如图8所示，该主槽槽组中的槽均采用双层槽结构，当然实际使用时也可以使用单层槽。双层槽结构包括固定安装在设备主体I上的下槽401、由下槽401槽底向上伸出并高出其顶端的上槽402，该上槽402的侧壁向下伸出一支架403，该支架与下槽的槽底固定，并且上槽402的长、宽均小于下槽401的长、宽。
[0042]该主槽槽组中的槽还设有挡水组件，如图9、10所示，挡水组件包括:固定于主槽底板上的固定板501、安装在固定板501上的可上下滑动的挡水板502、及固定在主槽侧板上的边板503。固定板501与边板503、挡水板502贴合安装，边板503的侧边与固定板501、挡水板502之间设有间隙。如图11所示，挡水组件还包括安装在挡水板502外侧的高度调节装置504，该装置上端横向伸出一卡件505，顶部设有一手柄506，挡水板502上设有与卡件505配合的调节孔507，边板503为一直角弯折板，其上一弯折面与固定板501贴合，固定板501顶端设有凹槽508，凹槽508的长度小于挡水板502的长度。
[0043]该主槽槽组中相邻的槽之间均设有密封结构，如图12、13所示，密封结构包括:设于主槽604两侧壁顶部的封板601、设于相邻两封板601上的盖板602，封板601向槽体604外侧倾斜，盖板602为倒V字形，盖板602与封板601之间还设有密封条603，盖板602、密封条603和封板601通过螺钉605形成紧密连接。
[0044]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种单多晶制绒设备，包括:设备主体、设于设备主体上的各个工位、传动装置和控制系统，其特征在于，所述各个工位分别为依次设置的浸泡酸制绒工位、喷淋水洗工位、烘干工位、喷淋碱制绒工位、喷淋水洗工位、浸泡碱处理工位、喷淋水洗工位、酸处理工位、喷淋水洗工位、烘干工位； 所述传动装置用于将硅片依次传送至各个工位，所述控制系统控制各个工位的工作开关状态。2.如权利要求1所述的单多晶制绒设备，其特征在于，所述喷淋碱制绒工位还连接有加热装置，所述加热装置由控制系统控制工作状态。3.如权利要求1所述的单多晶制绒设备，其特征在于，所述浸泡酸制绒工位包括:酸制绒槽、将酸制绒槽分隔成多个工作液腔室的多对隔板、用于将酸制绒液栗入工作液腔室的酸制绒栗、用于收集酸制绒槽内酸制绒液的酸制绒副槽，每对隔板的两板之间设有间距形成用于溢流循环的缓冲腔室，该缓冲腔室底部设有与酸制绒副槽连接的输出口 ； 喷淋水洗工位包括:喷淋水洗槽、设于喷淋水洗槽上方的喷淋水管、用于将水洗液栗入喷淋水管的水栗； 烘干工位包括:用于提供风源的热风机、用于过滤风源的过滤器； 喷淋碱制绒工位包括:碱制绒槽、设于碱制绒槽上方的喷淋碱液盒、用于将碱制绒液栗入喷淋碱液盒的碱制绒栗、用于收集碱制绒槽内碱制绒液的碱制绒副槽； 浸泡碱处理工位包括:碱处理槽、将碱处理槽分隔成多个工作液腔室的多对隔板、用于将碱处理液栗入工作液腔室的碱处理栗、用于收集碱处理槽内碱处理液的碱处理副槽，每对隔板的两板之间设有间距形成用于溢流循环的缓冲腔室，该缓冲腔室底部设有与碱处理副槽连接的输出口； 所述酸制绒栗、水栗、热风机、碱制绒栗及碱处理栗分别与控制系统连接，并由控制系统控制其开关状态。4.如权利要求3所述的单多晶制绒设备，其特征在于，所述酸处理工位包括:酸处理槽、将酸处理槽分隔成多个工作液腔室的多对隔板、用于将酸处理液栗入工作液腔室的酸处理栗、用于收集酸处理槽内碱处理液的酸处理副槽，每对隔板的两板之间设有间距形成用于溢流循环的缓冲腔室，该缓冲腔室底部设有与酸处理副槽连接的输出口 ； 所述酸处理栗与控制系统连接，并由控制系统控制其开关状态。5.如权利要求3所述的单多晶制绒设备，其特征在于，所述酸处理工位包括:酸处理槽、设于酸处理槽上方的喷淋酸液盒、用于将酸处理液栗入喷淋酸液盒的酸处理栗、用于收集酸处理槽内碱处理液的酸处理副槽； 所述酸处理栗与控制系统连接，并由控制系统控制其开关状态。6.如权利要求3或4或5所述的单多晶制绒设备，其特征在于，所述加热装置包括:安装在碱制绒副槽内或循环管路中的加热器和温度检测仪，所述加热器和温度检测仪均与控制系统连接。7.如权利要求4或5所述的单多晶制绒设备，其特征在于，位于浸泡酸制绒工位和烘干工位之间的喷淋水洗工位未设置喷淋水洗副槽，其余喷淋水洗工位均设有用于收集喷淋水洗槽内水洗液的喷淋水洗副槽。8.如权利要求3或4或5所述的单多晶制绒设备，其特征在于，所述浸泡酸制绒工位、喷淋碱制绒工位、浸泡碱处理工位、酸处理工位均连接有自动补液系统。9.如权利要求8所述的单多晶制绒设备，其特征在于，所述自动补液系统包括:依次连接的进液管、补液桶、补液管；进液管和补液管上分别设置有与所述控制系统连接的控制阀，所述补液桶内设有高精度液位检测仪，其一端从补液桶内伸出并与控制系统连接。10.如权利要求4或5所述的单多晶制绒设备，其特征在于，依次设置的酸制绒槽、喷淋水洗槽、碱制绒槽、喷淋水洗槽、碱处理槽、喷淋水洗槽、酸处理槽、喷淋水洗槽为主槽槽组，该主槽槽组中的槽还设有挡水组件，且主槽槽组中相邻的槽之间均设有密封结构。
【专利摘要】本发明公开了一种单多晶制绒设备，包括：设备主体、设于设备主体上的各个工位、传动装置和控制系统，各个工位分别为依次设置的浸泡酸制绒工位、喷淋水洗工位、烘干工位、喷淋碱制绒工位、喷淋水洗工位、浸泡碱处理工位、喷淋水洗工位、酸处理工位、喷淋水洗工位、烘干工位。传动装置用于将硅片依次传送至各个工位，控制系统控制各个工位的工作状态。喷淋碱制绒工位还连接有加热装置，加热装置也由控制系统控制工作状态。本发明工艺运行稳定、高效可靠，可做多晶酸制绒、单晶碱制绒、单晶酸制绒、单晶碱制绒的无缝切换。
【IPC分类】C30B33/10
【公开号】CN105133039
【申请号】CN201510556630
【发明人】左国军
【申请人】常州捷佳创精密机械有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年9月6日