铁氧体烧结板和铁氧体烧结片的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明提供铁氧体烧结板和在该铁氧体烧结板的表面设置有粘接层和/或保护 层的铁氧体烧结片。更详细而言，提供在便携终端的数字转换器系统的检测器背面配置的 屏蔽板。
【背景技术】
[0002] 在智能手机、平板、个人电脑等便携终端，搭载有触控笔等由坐标指示器检测液晶 画面上的位置信息作为数字信息的数字转换器系统。该系统使用100kHz~1MHz左右的交 流磁场，利用坐标指示器与检测器之间的磁耦合检测位置信息。这样，为了提高读取灵敏度 和位置精度，在检测器的背面配置屏蔽板，抑制来自外部的不需要磁场的影响。
[0003] 为了实现读取灵敏度、位置精度的提高、轻质化、薄型化这样的市场需求，作为该 屏蔽板，公开了使用铁氧体板或将铁氧体颗粒分散于橡胶或塑料得到的片状部件的技术 (专利文献1);使用由坡莫合金、非晶态金属构成的磁性薄板的技术（专利文献2);使用铁 氧体、铁氧体含有体、羰基铁压粉体、坡莫合金压粉体、铁硅铝磁性合金压粉体的技术（专 利文献3)。
[0004] 现有技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1 :日本特开平6-149450号公报
[0007] 专利文献2 :日本特开平6-309085号公报
[0008] 专利文献3 :日本特开平8-221176号公报
【发明内容】
[0009] 发明所要解决的课题
[0010] 为了提高便携终端的读取灵敏度、位置精度，需要增大屏蔽材料的电阻率，抑制涡 电流的发生，增大屏蔽板的磁导率的实部（μ^ )。另外，为了形成有效的系统，需要减小磁 导率的虚部（μ")，减小检测电路的损耗。
[0011] 另外，为了便携终端的轻质化、薄型化，需要使屏蔽材料的厚度为数十ym程度。
[0012] 这样使屏蔽材料的厚度变薄时，需要考虑μ'与厚度的关系。磁场的检测中使用 的环形天线的电感依赖于和屏蔽板的厚度，μ'越大，另外屏蔽板的厚度越厚，则电感 越大。即，和厚度的积越大，位置信息的读取灵敏度、位置精度越高。因此，在将屏蔽材 料薄膜化时，不仅是μ'和厚度，还需要将μ'和厚度的积设定在适当的范围。
[0013] 在专利文献1中，公开了作为配置于检测器背面的屏蔽板使用铁氧体板的技术， 但是没有考虑将铁氧体控制得较薄。另外，也公开了使用使铁氧体颗粒分散于橡胶或塑料 得到的片状部件的技术。铁氧体在块体的状态下具有高的μ'，将其形成为颗粒并分散于 树脂等得到的片材的，由于在颗粒间存在非磁性的树脂，所以上限为20左右。因此，为 了提高读取灵敏度、位置精度，需要更高的。
[0014] 专利文献2中，公开了作为该屏蔽板使用由坡莫合金、非晶态金属构成的磁性薄 板的技术。参照其实施例，该磁性薄板的有效磁导率在频率提高时减少，因此，可知由涡电 流引起的磁损耗（μ")变大。因此，检测电路整体的损耗也变大，难以说是有效的系统。
[0015] 专利文献3中，公开了作为该屏蔽板使用羰基铁压粉体、坡莫合金压粉体、铁硅铝 磁性合金压粉体的技术，由于在磁性颗粒间存在间隙，所以压粉体的的上限为50左 右。因此，为了提高读取灵敏度、位置精度，需要更高的。
[0016] 为此，为了在数字转换器系统中实现充分的读取灵敏度、位置精度，本发明的技术 课题在于提供一种电阻率高、磁导率中的实部大、虚部μ"小的铁氧体烧结板和铁氧 体烧结片。
[0017] 用于解决课题的方法
[0018] 上述技术课题能够通过如下所述的本发明来完成。
[0019] 即，本发明为一种铁氧体烧结板，其特征在于，具有以氧化物换算包括47~ 50mol% 的Fe203、7. 0 ~26mol% 的Ni0、13 ~36mol% 的Ζη0、7· 0 ~12mol% 的Cu0、0 ~ 1. 5mol%的C〇0的组成，体积电阻率为IX10s~1X10 12Ωcm，厚度为10~60μm(本发明 1)〇
[0020] 另外，本发明为本发明1所述的铁氧体烧结板，其中，500kHz的磁导率的实部为 160~1200,磁导率的虚部为0~90 (本发明2)。
[0021] 另外，本发明为本发明1或2所述的铁氧体烧结板，其中，铁氧体烧结板的500kHz 的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为7500~72000(本发明3)。
[0022] 另外，本发明为本发明1~3中任一项所述的铁氧体烧结板，其中，在至少一个表 面形成有至少一个槽（本发明4)。
[0023] 另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在本发明1~4中任一项所述的铁氧体烧结 板的至少一个表面设置有粘接层或保护层（本发明5)。
[0024] 另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在本发明1~4中任一项所述的铁氧体烧结 板的一个表面设置有粘接层，在相反侧的表面设置有保护层（本发明6)。
[0025] 另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在本发明1~4中任一项所述的铁氧体烧结 板的两个面设置有粘接层（本发明7)。
[0026] 另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在本发明1~4中任一项所述的铁氧体烧结 板的两个面设置有保护层（本发明8)。
[0027] 另外，本发明为本发明5~8中任一项所述的铁氧体烧结片，其中，铁氧体烧结板 分割为小片状（本发明9)。
[0028] 另外，本发明为本发明9所述的铁氧体烧结片，其中，500kHz的磁导率的实部为 120~800,磁导率的虚部为0~30, 500kHz的磁导率的实部与铁氧体烧结板的厚度的积为 5000 ~48000(本发明 10)。
[0029] 另外，本发明为一种铁氧体烧结板，其体积电阻率为IX10s~1X10 12Ωcm，厚度 为10~60ym，500kHz的磁导率的实部为160~1200,磁导率的虚部为0~90(本发明 11)〇
[0030] 另外，本发明为一种铁氧体烧结片，其在体积电阻率为IX10s~1X10 12Ωcm的 铁氧体烧结板的至少一个表面设置有粘接层或保护层，上述铁氧体烧结板分割为小片状， 该铁氧体烧结片的500kHz的磁导率的实部为120~800,磁导率的虚部为0~30 (本发明12)〇
[0031] 另外，本发明为一种数字转换器系统，其特征在于，包括检测器和与检测器相邻配 置的屏蔽板，屏蔽板由本发明1~4、11中任一项所述的铁氧体烧结板构成（本发明13)。
[0032] 另外，本发明为一种数字转换器系统，其特征在于，包括检测器和与检测器相邻配 置的屏蔽板，屏蔽板由本发明5~10、12中任一项所述的铁氧体烧结片构成（本发明14)。
[0033] 发明的效果
[0034] 本发明的铁氧体烧结板和铁氧体烧结片由于电阻率高、μ'大、μ〃小，适于作为 提高数字转换器系统的读取灵敏度、位置精度的屏蔽板。
【具体实施方式】
[0035] 更详细地说明本发明的构成，如下所述。
[0036] 本发明的铁氧体烧结板的体积电阻率为1X10s~1X10 12Ωcm。体积电阻率低于 1X10sΩcm时，发生涡电流，数字转换器系统的损耗变大。体积电阻率的上限作为本发明的 材料本来的特性，为1X1〇12Ωcm。更优选的体积电阻率为2X10s~1X10 12Ωcm。
[0037] 本发明的铁氧体烧结板的组成，以氧化物换算计，为47~50mol%的Fe203、 7 ~26mol% 的NiO、13 ~36mol% 的ZnO、7 ~12mol% 的Cu0、0 ~1. 5mol% 的CoO,合计 lOOmol%。其中，也可以含有从原料、制造工序不可避免混入的微量的杂质。
[0038] 本发明的铁氧体烧结板中的Fe203的组成低于47mol%时，μ^变小。超过50mol% 时，无法进行低温的烧结。更优选的Fe203的组成为47~49. 5mol%。
[0039] 本发明的铁氧体烧结板中的NiO的组成低于7mol%时，μ〃变大。超过26mol% 时，μ'变小。更优选的NiO的组成为7.5~26.0mol%。
[0040] 本发明的铁氧体烧结板中的ZnO的组成低于13mol%时，μ^变小。超过36mol% 时，μ〃变大。更优选的ZnO的组成为14. 0~35. 5mol%。
[0041] 本发明的铁氧体烧结板中的CuO的组成低于7mol%时，无法进行烧结。超过 12mol%时，μ^变小，并且体积电阻率变得低于lX10sQcm，由此涡流损耗变大，因此，位 置信息的读取灵敏度、位置精度劣化，检测电路整体的损耗也变大。更优选的CuO的组成为 7. 5 ~ 11. 5mol%〇
[0042] 本发明的铁氧体烧结板中的C〇0在需要使μ〃进一步减小时含有。其组成超过 1.5mol%时，μ'的温度变化变大，故而不优选。
[0043] 本发明的铁氧体烧结板的厚度为10~60μm。厚度低于10μm的铁氧体烧结板在 工业上难以生产。超过60μm时不符合薄膜化的要求，另外，重量变重，因此，也不符合轻质 化的要求。