。湿法刻蚀采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。
[0032]【具体实施方式】二:本实施方式与【具体实施方式】一不同的是步骤二中将石英烧杯中混合溶液A升温至155?195°C。其它与【具体实施方式】一相同。
[0033]【具体实施方式】三:本实施方式与【具体实施方式】一或二之一不同的是步骤二中将石英烧杯中混合溶液A升温至160?190°C。其它与【具体实施方式】一或二之一相同。
[0034]【具体实施方式】四:本实施方式与【具体实施方式】一至三之一不同的是步骤二中将石英烧杯中混合溶液A升温至165?185°C。其它与【具体实施方式】一至三之一相同。
[0035]【具体实施方式】五:本实施方式与【具体实施方式】一至四之一不同的是步骤二中将石英烧杯中混合溶液A升温至180°C。其它与【具体实施方式】一至四之一相同。
[0036]【具体实施方式】六:本实施方式与【具体实施方式】一至五之一不同的是步骤二中混合溶液A中磷酸与硫酸的体积比为1:3?4。其它与【具体实施方式】一至五之一相同。
[0037]【具体实施方式】七:本实施方式与【具体实施方式】一至六之一不同的是步骤二磷酸与硫酸的体积比为1: 5。其它与【具体实施方式】一至六之一相同。
[0038]【具体实施方式】八:本实施方式与【具体实施方式】一至七之一不同的是步骤二中刻蚀210?330min。其它与【具体实施方式】一至七之一相同。
[0039]【具体实施方式】九:本实施方式与【具体实施方式】一至八之一不同的是步骤二中刻蚀250?300min。其它与【具体实施方式】一至八之一相同。
[0040]【具体实施方式】十:本实施方式与【具体实施方式】一至九之一不同的是步骤二中刻蚀时间为225min。其它与【具体实施方式】一至九之一相同。
[0041 ]进行如下实验，验证本发明的有益效果:
[0042]实验一:对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其是通过以下步骤实现的:
[0043]一、预处理:在室温下，将圆锥形图形化蓝宝石片置于乙醇中浸泡12h，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干；
[0044]二、将经步骤一处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A升温至200°C，其中混合溶液A为磷酸和硫酸混合液，磷酸与硫酸的体积比为1:3，将载有圆锥形图形化蓝宝石片的石英花篮放入石英烧杯中，高温湿法刻蚀250min;
[0045]三、将经步骤二处理后的圆锥形图形化蓝宝石片从石英烧杯中取出，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干；
[0046]实验一步骤二中的浓硫酸和磷酸为市售产品，浓硫酸的质量百分浓度为98%，磷酸为质量百分浓度为85%的市售双氧水。
[0047]实验一的步骤一至步骤三中均采用美国GE石英材料仪器。
[0048]对未经实验一处理的圆锥形图形化蓝宝石片(图1)和经实验一处理后得到的对称六角星形图形化蓝宝石(图2)扫描电子显微镜(SEM)测试，测试得到的SEM谱图分别如图1、图2所示，从图2可见，生成的对称六角星形图形化蓝宝石规则有序，重复性好。
[0049]可见，经实验一生成的对称六角星形图形化蓝宝石规则有序，重复性好，且采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。
【主权项】
1.对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法是通过以下步骤实现的: 一、预处理:在室温下，将圆锥形图形化蓝宝石片置于无水乙醇中浸泡5?12h，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干； 二、将经步骤一处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A升温至150?200°C，其中混合溶液A为磷酸和硫酸的混合液，其中磷酸与硫酸的体积比为1: (2.8?5.2)，将载有圆锥形图形化蓝宝石片的石英花篮放入石英烧杯中，刻蚀200?350min； 三、将经步骤二处理后的圆锥形图形化蓝宝石片从石英烧杯中取出，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干，即得对称六角星形图形化蓝宝石。2.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二中将石英烧杯中混合溶液A升温至155?195°C。3.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二中将石英烧杯中混合溶液A升温至160?190°C。4.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二中将石英烧杯中混合溶液A升温至165?185°C。5.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二中将石英烧杯中混合溶液A升温至180°C。6.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二中混合溶液A中磷酸与硫酸的体积比为1: 3?4。7.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二磷酸与硫酸的体积比为1: 5。8.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二中刻蚀210?330min。9.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二中刻蚀250?300min。10.根据权利要求1所述的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于步骤二中刻蚀时间为225min。
【专利摘要】对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作具备多种晶面的图形化蓝宝石衬底的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干，即得对称六角星形图形化蓝宝石。本发明的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为对称六角星形图形化蓝宝石，且生成的对称六角星形图形化蓝宝石规则有序，重复性好。采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。
【IPC分类】C30B33/10, C30B29/20, H01L33/22
【公开号】CN105420816
【申请号】CN201510990151
【发明人】申健, 张丹, 甘阳
【申请人】哈尔滨工业大学
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年12月24日