一种新型的多晶硅锭铸锭炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及化工领域，尤其涉及一种新型的多晶硅锭铸锭炉。
【背景技术】
[0002]目前常规的多晶硅生产工艺中，其中熔化阶段硅液对流主要依靠自然对流，其对流速度通常较慢、对流效果较差，虽然通过延长足够时间可实现硅液充分对流，但从经济性上来讲显然并不可取，所以目前通常熔化结束后直接进入长晶阶段，这将导致整个硅液的内部温度及杂质分布不均匀，从而影响提纯效果及导致后续晶体中局部热应力分布不匀。另外，在长晶阶段，靠近坩祸壁或坩祸底的位置容易长成枝晶，造成多晶硅锭内部品质差异性较大，容易对多晶硅片的电学性能产生一定的影响；虽然目前高效多晶硅通过籽晶形核技术可控制细晶的形成，从而得到高品质的多晶硅锭，但是出材率太低及成本太高。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是为了解决现有技术的不足，提供了一种新型的多晶硅锭铸锭炉。
[0004]本实用新型是通过以下技术方案实现:
[0005]一种新型的多晶硅锭铸锭炉，包括铸锭容器，所述铸锭容器内侧中部设有坩祸护板，所述坩祸护板内部设有坩祸，所述坩祸护板下侧设有石墨块，所述石墨块下侧对称设有支撑轴，所述支撑轴之间设有气动振动器，所述气动振动器下侧设有氩气进出口，所述氩气进出口下侧设有导气管，所述导气管下侧设有油水分离器。
[0006]作为本实用新型优选的技术方案，所述的气动振动器材质为耐高温的钼、钨、或碳化硅材料。
[0007]作为本实用新型优选的技术方案，所述的气动振动器通入的气体为氩气，且充入压力为4Bar?6Bar。
[0008]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0009]本实用新型通过设置气体振动器，使高温熔体中产生强迫对流，从而加速硅液的对流速度，使杂质分布更加均匀并增强后续的排杂效果、减少晶体中热应力的形成，且可以破碎正在生长的树枝状晶体的晶枝，形成更多的结晶核心，有利于减少枝晶的形成并获得更多细小的晶粒，提尚娃徒品质。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图。
[0011]图中:1、坩祸，2、坩祸护板，3、石墨块，4、启动振动器，5、氩气进出口，6、导气管，7、油水分离器，8、支撑轴，9、铸锭容器。
具体实施方案
[0012]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0013]请参阅图1，图1为本实用新型的结构示意图。
[0014]一种新型的多晶硅锭铸锭炉，包括铸锭容器9，所述铸锭容器9内侧中部设有坩祸护板2，所述坩祸护板2内部设有坩祸1，所述坩祸护板2下侧设有石墨块3，所述石墨块3下侧对称设有支撑轴8，所述支撑轴8之间设有气动振动器4，所述气动振动器4材质为耐高温的钼、钨、或碳化硅材料，所述气动振动器4通入的气体为氩气，且充入压力为4Bar?6Bar，所述气动振动器4下侧设有氩气进出口 5，所述氩气进出口 5下侧设有导气管6，所述导气管6下侧设有油水分离器7。
[0015]现场使用时，先在铸锭的熔化阶段打开气动振动器4，通过导气管6通入氩气，振动作用使高温熔体中产生强迫对流，从而加速硅液的对流速度，使杂质分布更加均匀，并增强后续的排杂效果、减少晶体中热应力的形成。在长晶阶段由于振动作用，可以破碎正在生长的树枝状晶体的晶枝，形成更多的结晶核心，有利于减少枝晶的形成并获得更多细小的晶粒，提高硅锭品质，通过油水分离器7来精确控制进气流量及压力，以达到调节振幅及振动频率的作用。
[0016]以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【主权项】
1.一种新型的多晶硅锭铸锭炉，包括铸锭容器(9)，其特征在于:所述铸锭容器(9)内侧中部设有坩祸护板(2)，所述坩祸护板(2)内部设有坩祸(I)，所述坩祸护板(2)下侧设有石墨块(3)，所述石墨块(3)下侧对称设有支撑轴(8)，所述支撑轴(8)之间设有气动振动器(4)，所述气动振动器(4)下侧设有氩气进出口(5)，所述氩气进出口(5)下侧设有导气管(6)，所述导气管(6)下侧设有油水分离器(7)。2.根据权利要求1所述的一种新型的多晶硅锭铸锭炉，其特征在于:所述的气动振动器(4)材质为耐高温的钼、钨、或碳化硅材料。3.根据权利要求1所述的一种新型的多晶硅锭铸锭炉，其特征在于:所述的气动振动器(4)通入的气体为氩气，且充入压力为4Bar?6Bar。
【专利摘要】本实用新型涉及一种新型的多晶硅锭铸锭炉，包括铸锭容器，所述铸锭容器内侧中部设有坩埚护板，所述坩埚护板内部设有坩埚，所述坩埚护板下侧设有石墨块，所述石墨块下侧对称设有支撑轴，所述支撑轴之间设有气动振动器，所述气动振动器下侧设有氩气进出口，所述氩气进出口下侧设有导气管，所述导气管下侧设有油水分离器。本实用新型通过设置气体振动器，使高温熔体中产生强迫对流，从而加速硅液的对流速度，使杂质分布更加均匀并增强后续的排杂效果、减少晶体中热应力的形成，且可以破碎正在生长的树枝状晶体的晶枝，形成更多的结晶核心，有利于减少枝晶的形成并获得更多细小的晶粒，提高硅锭品质。
【IPC分类】C30B29/06, C30B28/06
【公开号】CN204690167
【申请号】CN201520377369
【发明人】周小英
【申请人】新余学院
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年6月3日