用于形成硅氧层的组成物、制造硅氧层的方法及电子装置与流程

文档序号:14704405发布日期:2018-06-15 23:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于形成硅氧层的组成物,其特征在于,包括含硅聚合物和溶剂,

其中所述含硅聚合物的重量平均分子量在2,000到100,000范围内,并.且

由方程式1计算的所述含硅聚合物的分支比在0.25到0.50范围内:

方程式1:

η=k×Ma

其中,在方程式1中,

η是含硅聚合物的固有粘度,

M是含硅聚合物的绝对分子量,

a是分支比,且

k是固有常数。

2.根据权利要求1所述的用于形成硅氧层的组成物,其中所述含硅聚合物的固有粘度在3mg/L到15mg/L范围内。

3.根据权利要求1所述的用于形成硅氧层的组成物,其中所述含硅聚合物的绝对分子量在2,000g/mol到300,000g/mol范围内。

4.根据权利要求1所述的用于形成硅氧层的组成物,其中所述含硅聚合物包含聚硅氮烷、聚硅氧烷或其组合。

5.根据权利要求1所述的用于形成硅氧层的组成物,其中所述溶剂包含由苯、甲苯、二甲苯、乙苯、二乙苯、三甲苯、三乙苯、环己烷、环己烯、十氢萘、二戊烯、戊烷、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、乙基环己烷、甲基环己烷、环己烷、环己烯、对甲烷、二丙醚、二丁醚、茴香醚、乙酸丁酯、乙酸戊酯、甲基异丁酮以及其组合中选出的至少一种。

6.根据权利要求1所述的用于形成硅氧层的组成物,其中所述含硅聚合物以按所述用于形成硅氧层的组成物的总量计0.1重量%到30重量%的量被包含在内。

7.一种制造硅氧层的方法,其特征在于,包括:

在衬底上涂布根据权利要求1所述的用于形成硅氧层的组成物;

干燥涂布有所述用于形成硅氧层的组成物的所述衬底;以及

使所述用于形成硅氧层的组成物在250℃到1,000℃下固化。

8.一种电子装置,其特征在于,包括根据权利要求7所述的硅氧层。

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