用于制造显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的芳香族聚酰胺溶液的制作方法_4

文档序号:9692597阅读:来源:国知局
一个或多 个实施方式中用实施例中记载的方法测定。应予说明,所谓上述翘曲量的值为正,表示层叠 复合材料的周边部的高度比中央部的高度高,上述翘曲量的值为负表示层叠复合材料的周 边部的高度比中央部的高度低。
[0143] 就本公开的聚酰胺溶液而言,在一个或多个实施方式中,在实施例中记载的条件 下用位移测量仪测定的上述层叠复合材料的翘曲量优选为-100~100μπι,更优选为-90~90 ym,进一步优选为-85~85μηι。如果为该范围,则能够抑制对制造层叠复合材料时或制造显 示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件时的成品率带来的不良影响。
[0144]层叠复合材料的制造方法在工序(b)后可以包括使聚酰胺膜固化的固化处理工序 (C)。固化处理的温度依赖于加热装置的能力,在一个或多个实施方式中为220~420°C、280 ~400°C、330~370°C、340°C以上或者340~370°C。另外,固化处理的时间在一个或多个实 施方式中为5~300分钟或者30~240分钟。
[0145][显示器用元件、光学用元件或者照明用元件的制造方法]
[0146]本公开在一个方式中涉及包括在本公开涉及的层叠复合材料的有机树脂层的与 玻璃板对置的面的相反面上形成显示器用元件、光学用元件或者照明用元件的工序的显示 器用元件、光学用元件或者照明用元件的制造方法。该制造方法在一个或多个实施方式中 进一步包括将形成的显示器用元件、光学用元件或者照明用元件从玻璃板剥离的工序。 [0147][显示器用元件、光学用元件或者照明用元件]
[0148]本公开中,"显示器用元件、光学用元件或者照明用元件"是指构成显示体(显示装 置)、光学装置或者照明装置的元件,例如是指有机EL元件、液晶元件、有机EL照明等。另外, 还包括构成它们的一部分的薄膜晶体管(TFT)元件、滤色器元件等。本公开涉及的显示器用 元件、光学用元件或者照明用元件在一个或多个实施方式中可包括使用本公开涉及的聚酰 胺溶液制造的元件,使用本公开涉及的聚酰胺膜作为显示器用元件、光学用元件或者照明 用元件的基板的元件。
[0149] <有机EL元件的没有限定的一个实施方式>
[0150] 以下利用图对作为本公开涉及的显示器用元件的一个实施方式的有机EL元件的 一个实施方式进行说明。
[0151 ]图4是表示一个实施方式涉及的有机EL元件1的截面示意图。有机EL元件1具备在 基板A上形成的薄膜晶体管B和有机EL层C。应予说明,有机EL元件1整体被密封部件400覆 盖。有机EL元件1可以从支撑材料500剥离,也可以包括支撑材料500。以下,对各构成进行详 细说明。
[0152] 1.基板 A
[0153] 基板A具备透明树脂基板100和在透明树脂基板100的上面形成的气体阻隔层101。 这里,透明树脂基板100是本公开涉及的聚酰胺膜。
[0154] 应予说明,可以利用热对透明树脂基板100进行退火处理。由此,有能够消除形变、 或者能够增强尺寸相对于环境变化的稳定化等效果。
[0155]气体阻隔层101是由Si0x、SiNx等构成的薄膜,可以利用溅射法、CVD法、真空蒸镀 法等真空成膜法形成。作为气体阻隔层101的厚度,通常为l〇nm~100nm左右,但不限定于该 厚度。这里,气体阻隔层101可以在图4的与气体阻隔层101对置的面形成,也可以在两面形 成。
[0156] 2.薄膜晶体管
[0157]薄膜晶体管B具备栅电极200、栅极绝缘层201、源电极202、活性层203和漏电极 204。薄膜晶体管B形成在气体阻隔层101上。
[0158] 栅电极200、源电极202和漏电极204是由氧化铟锡(ΙΤ0)、氧化铟锌(ΙΖ0)、氧化锌 (ZnO)等构成的透明薄膜。作为形成透明薄膜的方法,可举出溅射法、真空蒸镀法、离子镀法 等。这些电极的膜厚通常为50nm~200nm左右,但不限定于该厚度。
[0159] 栅极绝缘膜201是由S i 02、A1203等构成的透明绝缘薄膜,利用溅射法、CVD法、真空 蒸镀法、离子镀法等形成。栅极绝缘膜201的膜厚通常为10nm~Ιμπι左右,但不限定于该厚 度。
[0160] 活性层203例如为单晶硅、低温多晶硅、非晶硅、氧化物半导体等,适时使用最恰当 的物质。活性层利用溅射法等形成。
[0161] 3.有机 EL 层
[0162] 有机EL层C具备导电性的连接部300、绝缘性的平坦层301、作为有机EL元件1的阳 极的下部电极302、空穴输送层303、发光层304、电子输送层305和作为有机EL元件1的阴极 的上部电极306。有机EL层C至少形成在气体阻隔层101上或者薄膜晶体管B上,下部电极302 和薄膜晶体管B的漏电极204介由连接部300电连接。应予说明,也可以代替它而将下部电极 302和薄膜晶体管B的源电极202介由连接部300连接。
[0163] 下部电极302是有机EL元件1的阳极,是氧化铟锡(ΙΤ0)、氧化铟锌(ΙΖ0)、氧化锌 (ZnO)等透明薄膜。应予说明,由于可得到高透明性、高电导性等,优选ΙΤ0。
[0164]作为空穴输送层303、发光层304和电子输送层305,可以直接使用以往公知的有机 EL元件用材料。
[0165] 上部电极306例如由将氟化锂(LiF)和铝(A1)分别成膜为5nm~20nm、50nm~200nm 膜厚而得的膜形成。作为形成膜的方法,例如可举出真空蒸镀法。
[0166]另外,制作底部发射型的有机EL元件时,有机EL元件1的上部电极306可以制成光 反射性的电极。由此,在有机EL元件1产生而向显示侧的相反方向的上部侧前进的光被上部 电极306反射到显示侧方向。因此,反射光也被用于显示,能够提高有机EL元件的发光的利 用效率。
[0167][显示器用元件、光学用元件或者照明用元件的制造方法]
[0168] 本公开在另一方式中涉及一种显示器用元件、光学用元件或者照明用元件的制造 方法。本公开涉及的制造方法在一个或多个实施方式中是制造本公开涉及的显示器用元 件、光学用元件或者照明用元件的方法。另外,本公开涉及的制造方法在一个或多个实施方 式中是包括将本公开涉及的聚酰胺树脂溶液涂布到支撑材料的工序、在上述涂布工序后形 成聚酰胺膜的工序和在上述聚酰胺膜的不与上述支撑材料接触的面形成显示器用元件、光 学用元件或者照明用元件的工序的制造方法。本公开涉及的制造方法进一步包括将形成在 上述支撑材料上的显示器用元件、光学用元件或者照明用元件从上述支撑材料剥离的工 序。
[0169] <有机EL元件的制作方法的没有限定的一个实施方式>
[0170] 接下来,以下利用图对作为本公开涉及的显示器用元件的制造方法的一个实施方 式的有机EL元件的制造方法的一个实施方式进行说明。
[0171] 图4的有机EL元件1的制作方法具备固定工序、气体阻隔层制作工序、薄膜晶体管 制作工序、有机EL层制作工序、密封工序和剥离工序。以下,对各工序进行详细说明。
[0172] 1.固定工序
[0173] 固定工序中,在支撑材料500上固定透明树脂基板100。固定的方法没有特别限定, 可举出在支撑材料500与透明基板之间涂布粘结剂的方法,使透明树脂基板100的一部分与 支撑材料500融合的方法等。另外,作为支撑的材料,例如,可使用玻璃、金属、硅或者树脂 等。这些材料可以单独使用,也可以适时组合使用2种以上的材料。可以在支撑材料500上进 一步涂布脱模剂等,并在其上贴附透明树脂基板100并固定。在一个或多个实施方式中,在 支撑材料500上涂布本公开涉及的聚酰胺树脂组成物,通过干燥等而形成聚酰胺膜100。
[0174] 2.气体阻隔层制作工序
[0175] 在气体阻隔层制作工序中,在透明树脂基板100上制作气体阻隔层101。制作的方 法没有特别限定,可以使用公知的方法。
[0176] 3.薄膜晶体管制作工序
[0177] 在薄膜晶体管制作工序中,在气体阻隔层上制作薄膜晶体管B。制作的方法没有特 别限定,可以使用公知的方法。
[0178] 4.有机EL层制作工序
[0179] 有机EL层制作工序具备第1工序和第2工序。在第1工序中,形成平坦层301。作为形 成平坦层301的方法,对于感光性透明树脂,可举出旋涂法、狭缝涂布法、喷墨法等。此时,在 第2工序中需要以能够形成连接部300的方式在平坦层301设置开口部。平坦层的膜厚通常 为100nm~2μηι左右,但并不限定于此。
[0180]第2工序中,首先,同时形成连接部300和下部电极302。作为形成它们的方法,可举 出溅射法、真空蒸镀法、离子镀法等。这些电极的膜厚通常为50nm~200nm左右,但并不限定 于此。其后,形成空穴输送层303、发光层304、电子输送层305和作为有机EL元件1的阴极的 上部电极306。作为形成这些部件的方法,可以使用真空蒸镀法、涂布法等适合所使用的材 料和层叠构成的方法。另外,有机EL元件1的有机层的构成与本实施例的记载无关地,可以 取舍选择其它空穴注入层、电子输送层、空穴阻挡层、电子阻挡层等公知的有机层而构成。
[0181] 5.密封工序
[0182] 在密封工序中,有机EL层C被密封部件400从上部电极306的上方密封。作为密封部 件400,可以由玻璃、树脂、陶瓷、金属、金属化合物或者它们的复合体等形成,可以适时选择 最佳的材料。
[0183] 6.剥离工序
[0184] 在剥离工序中将制作的有机EL元件1从支撑材料500剥离。作为实现剥离工序的方 法,例如,可举出以物理手段从支撑材料500剥离的方法。此时,可以在支撑材料500上设置 剥离层,也可以在支撑材料500与显示元件之间插入线而剥离。另外,作为其它的方法,可举 出如下方法:仅支撑材料500的端部不设置剥离层,在元件制作后从端部切断内侧而取出元 件的方法;在支撑材料500与元件之间设置由硅层等构成的层,通过激光照射进行剥离的方 法;对支撑材料500加热,将支撑材料500和透明基板进行分离的方法;利用溶剂除去支撑材 料500的方法等。这些方法可以单独使用,也可以组合任意的多个方法使用。在一个或多个 实施方式中,聚酰胺膜与支撑材料之间的粘接可以利用硅烷偶联剂控制,由此,有机EL元件 1也可以不采用上述复杂的工序而以物理手段剥离。
[0185] 利用本实施方式涉及的显示器用、光学用或者照明用的元件的制造方法得到的有 机EL元件在一个或多个实施方式中,透明性、耐热性、低线膨胀性、低光学各向异性等优异。 [0186][显示装置、光学装置、照明装置]
[0187]本公开在其方式中涉及使用本公开涉及的显示器用元件、光学用元件或者照明用 元件的显示装置、光学装置或者照明装置,以及它们的制造方法。作为上述显示装置,可举 出摄像元件等,作为光学装置,可举出光/电复合电
当前第4页1 2 3 4 5 6 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1