路等，作为照明装置，可举出TFT-LCD、 0EL照明等，但不限定于这些。
[0188][传感器元件的制造方法]
[0189] 本公开在另一方式中涉及包括下述工序(A)和(B)的传感器元件的制造方法。
[0190] (A)将本公开的聚酰胺溶液涂布到支撑材料而在上述支撑材料上形成聚酰胺膜的 工序。
[0191] (B)在上述聚酰胺膜的表面上形成传感器元件的工序。
[0192] 作为上述支撑材料，可以使用上述的支撑体。
[0193] 在本方式的制造方法的工序(A)中，可形成层叠复合材料。本方式的制造方法的工 序(A)在一个或多个实施方式中包括下述工序(i)和(ii)。
[0194] (i)将上述的聚酰胺溶液涂布在支撑材料上的工序(参照图1的工序A)。
[0195] (ii)在工序（i)后，将被涂布的聚酰胺溶液加热而形成聚酰胺膜的工序(参照图1 的工序B)。
[0196] 工序（i )中的涂布和工序（ii)的加热温度可以与上述同样地设定。本方式的制造 方法在工序（ii)后可以包括使聚酰胺膜固化的固化处理工序（iii)。固化处理的温度和时 间可以与上述同样地设定。
[0197]本方式的制造方法的工序(B)中的传感器元件的形成没有特别限定，可以配合制 造以往或今后要制造的元件的传感器元件而适当地形成。
[0198]本方式的制造方法在一个或多个实施方式中在工序(B)后，包括将形成的传感器 元件从玻璃板剥离的工序作为工序(C)。剥离工序(C)中制作的传感器元件被从支撑材料剥 离。作为实现剥离工序的方法，与上述同样地进行。
[0199][传感器元件]
[0200] 本公开中，"传感器元件"是可在输入设备中使用的传感器元件。作为本公开中的 "传感器元件"，在没有限定的一个或多个实施方式中，是具备由本公开的聚酰胺溶液形成 的聚酰胺膜的传感器元件。另外，在其它的一个或多个实施方式中，本公开的"传感器元件" 是在形成于支撑材料上的聚酰胺膜上形成的传感器元件，此外，在其它的一个或多个实施 方式中，是根据需要而从上述支撑材料剥离的传感器元件。作为该传感器元件，在一个或多 个实施方式中，可举出能够接收电磁波的传感器元件、能够检测磁场的传感器元件、能够检 测电容的变化的传感器元件或者能够检测压力的变化的元件。该传感器元件在一个或多个 实施方式中，可举出摄像元件、放射线传感器元件、光传感器元件、磁传感器元件、电容传感 器元件、触控传感器元件或者压力传感器元件等。作为上述放射线传感器元件，在一个或多 个实施方式中，可举出X射线传感器元件。本公开中的传感器元件在一个或多个实施方式中 包括使用本公开的聚酰胺溶液制造的传感器元件和/或使用本公开的层叠复合材料制造的 传感器元件和/或利用本公开的元件的制造方法制造的传感器元件。另外，本公开中的传感 器元件的形成在一个或多个实施方式中包括形成光电转换元件及其驱动元件。
[0201] [输入设备]
[0202] 本公开中，作为使用"传感器元件"的输入设备，在一个或多个实施方式中，可举出 光学、摄像、磁性、电容或者压力的输入设备。作为该输入设备，在没有限定的一个或多个实 施方式中，可举出放射线的摄像装置、可见光的摄像装置、磁传感器设备、触控面板、指纹验 证面板、使用压电元件的发光体等。作为上述放射线的摄像装置，在一个或多个实施方式 中，可举出X射线的摄像装置。另外，本公开中的输入设备在没有限定的一个或多个实施方 式中可以具有显示器功能等作为输出设备的功能。因此，本公开在其方式中涉及使用了利 用本方式的制造方法制造的传感器元件的输入设备，另外，涉及它们的制造方法。
[0203] <传感器元件的没有限定的一个实施方式>
[0204]以下利用图5对用本方式的制造方法能够制造的传感器元件的一个实施方式进行 说明。
[0205]图5是表示一个实施方式涉及的传感器元件10的截面示意图。传感器元件10具有 多个像素。该传感器元件10是在基板2的表面形成像素电路而成的，该像素电路包括多个光 电二极管11A(光电转换元件)和作为该光电二极管11A的驱动元件的薄膜晶体管(TFT:Thin Film Transistor)11B。该基板2是利用本方式的制造方法的工序(A)在支撑材料(未图示） 上形成的聚酰胺膜。然后，在本方式的制造方法的工序(B)中，形成光电二极管11A(光电转 换元件)和作为该光电二极管11A的驱动元件的薄膜晶体管11B。
[0206]栅极绝缘膜21设置在基板2上，例如由用氧化硅(Si02)膜、氮氧化硅(SiON)膜和氮 化硅膜(SiN)中的1种形成的单层膜或者用它们中的2种以上形成的层叠膜构成。第1层间绝 缘膜12A设置在栅极绝缘膜21上，例如由氧化硅膜或者氮化硅膜等绝缘膜构成。另外，该第1 层间绝缘膜12A还作为覆盖后述的薄膜晶体管11B上的保护膜(钝化膜)发挥功能。
[0207] (光电二极管11A)
[0208] 光电二极管11A介由栅极绝缘膜21和第1层间绝缘膜12A配设在基板2上的有选择 的区域。具体而言，光电二极管11A是下部电极24、n型半导体层25N、i型半导体层25I、p型半 导体层25P和上部电极26依次层叠在第1层间绝缘膜12A上而成的。上部电极26例如是用于 将光电转换时的基准电位(偏置电位）向上述的光电转换层供给的电极，与作为基准电位供 给用的电源配线的配线层27连接。该上部电极26例如由IT0(Indium Tin Oxide:氧化铟锡） 等透明导电膜构成。
[0209](薄膜晶体管11B)
[0210] 薄膜晶体管11B例如由场效应晶体管(FET:Field Effect Transistor)构成。该薄 膜晶体管11B中，在基板2上形成由例如钛(11)^1、1〇、钨(1)、铬(0)等构成的栅电极20，在 该栅电极20上形成有上述的栅极绝缘膜21。另外，在栅极绝缘膜21上形成有半导体层22，该 半导体层22具有通道区域。在该半导体层22上形成有源电极23S和漏电极23D。具体而言，这 里，漏电极23D与光电二极管11A的下部电极24连接，源电极23S与中继电极28连接。
[0211] 在传感器元件1中，另外，在这样的光电二极管11A和薄膜晶体管11B的上层依次设 有第2层间绝缘膜12B、第1平坦膜13A、保护膜14和第2平坦膜13B。在该第1平坦膜13A上，另 外，与光电二极管11A的形成区域附近对应地形成有开口部3。
[0212] 通过在传感器元件1上形成例如波长转换部件，能够制作放射线摄像装置。
[0213] 本公开在其它方式中涉及下述内容。
[0214] <1>-种聚酰胺溶液，含有芳香族聚酰胺和溶剂，
[0215]上述芳香族聚酰胺至少由两种结构单元构成，
[0216] 将上述聚酰胺溶液流延到玻璃板上而制作的流延膜的线膨胀系数(CTE)与将上述 流延膜在200°C~450°C进行热处理后的该流延膜的CTE的变化率（=热处理后CTE/热处理 前CTE)为1.3以下。
[0217] <2>根据<1>所述的聚酰胺溶液，其中，将上述聚酰胺溶液流延到玻璃板上而 制作的流延膜的全光线透过率为80%以上。
[0218] <3>根据<1>或<2>所述的聚酰胺溶液，其中，将上述芳香族聚酰胺溶液流延 到玻璃板上而制作的流延膜的玻璃化转变温度(Tg)为365°C以上。
[0219] <4>根据<1>~<3>中任1项所述的聚酰胺溶液，其中，将上述芳香族聚酰胺 溶液流延到玻璃板上而制作的流延膜的CTE为20ppm/°C以上。
[0220] <5>根据<1>~<4>中任1项所述的聚酰胺溶液，其中，相对于构成上述芳香 族聚酰胺的结构单元整体，属于刚性成分的结构单元超过35.0摩尔％。
[0221] <6>根据<1>~<5>中任1项所述的聚酰胺溶液，其中，相对于上述芳香族聚 酰胺的合成中使用的单体整体，属于刚性成分的单体超过35.0摩尔％。
[0222] <7>根据<5>或<6>所述的聚酰胺溶液，其中，属于上述刚性成分的芳香族单 体选自9，9-双(4-氨基苯基)芴(FDA)、对苯二甲酰氯(TPC)和它们的组合。
[0223] <8>根据<1>~<7>中任1项所述的聚酰胺溶液，其中，构成上述芳香族聚酰 胺的结构单元中的至少1个具有游离的羧基。
[0224] <9>根据<1>~<8>中任1项所述的聚酰胺溶液，用于显示器用元件、光学用 元件、照明用元件或传感器元件的制造方法，包括如下工序：
[0225] a)将聚酰胺溶液涂布到支撑材料上的工序，
[0226] b)在上述涂布工序(a)后，在上述支撑材料上形成聚酰胺膜的工序，和
[0227] c)在上述聚酰胺膜的表面上形成显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感 器元件的工序。
[0228] <10>-种层叠复合材料，包括玻璃板和聚酰胺树脂层，
[0229] 在玻璃板的一面上层叠有聚酰胺树脂层，
[0230] 上述聚酰胺树脂是将<1>~<9>中任1项所述的聚酰胺溶液流延到上述玻璃板 而形成的聚酰胺树脂。
[0231] <11>-种显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的制造方法，包 括如下工序:a)将< 1 >~<9 >中任1项所述的聚酰胺溶液涂布到支撑材料上的工序，b)在 上述涂布工序(a)后，在上述支撑材料上形成聚酰胺膜的工序，和c)在上述聚酰胺膜的表面 上形成显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件的工序。
[0232] <12>-种显示器用元件、光学用元件、照明用元件或传感器元件，是利用<11> 所述的制造方法制造的。
[0233] 实施例
[0234][聚酰胺溶液的制备]
[0235] 使用表1和下述所示的成分制备聚酰胺溶液(溶液1~3)。另外，制备的聚酰胺的数 均分子量(Μη)和重均分子量(Mw)以及使用该聚酰胺溶液而形成的膜的玻璃化转变温度 (Tg)、弹性模量、线膨胀系数(CTE)如下测定。
[0236] [芳香族二胺]
[0237 ] PFMB: 4，4 ' -二氨基-2，2 ' -双三氟甲基联苯胺；
[0238]
[0239] DAB: 3，5_ 二氨基苯甲酸；
[0240]
[0241] FDA: 9，9_ 双(4-氨基苯基)芴；
[0242]
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