油墨组合物及使用所述油墨组合物形成图案的方法

文档序号:3807132阅读:175来源:国知局

专利名称::油墨组合物及使用所述油墨组合物形成图案的方法
技术领域
:io本文件涉及油墨组合物和使用所述油墨组合物形成图案的方法。
背景技术
:通常,应用于信息存储、小型传感器、光学晶体和光学元件、微电子机械装置、显示装置、显示器和半导体等中的形成精细图案的方法都15是通过使用光来形成精细图案的光刻法。在相关技术的光刻法中,电路线宽或图案线宽取决于曝光过程中所使用的光的波长。鉴于目前的技术水平,由于光的干涉,通过使用光刻法很难在基板上形成小于或等于70nm的精细图案。此外,随着图案的超精细化,会需要诸如曝光装置等昂贵的装置,这将导致初始投资成本20的上升和高分辨率掩模的价格飙涨,从而降低效率。被迫使用高价装置的问题最终将成为成本上升的另一因素。此外,每当形成图案时,由于应当进行曝光、曝光后烘烤、显影、显影后烘烤、蚀刻、清洗等步骤,因而需要漫长的处理时间。此外,光学处理需要重复多次,因此降低了生产率。25作为解决这些问题的方法,己经提出了压印光刻法和辊印(roll-printing)技术。压印光刻法由美国普林斯顿大学的StephenChou等人发明,是一种通过在具有相对较高强度的有机材料或聚合物的表面上制造必要形状然后将所述材料压印到用于形成图案的另一材料上的形成精细图案的方法。6更具体而言,压印光刻法是一种通过下述方式形成图案的技术制备其上形成有所需的图案的无机或聚合物模具,使所述模具面向涂布在金属膜或有机膜上的固化性组合物,并且热固化或光固化所述模具和所述固化性组合物。与相关技术的光刻法相比,这种压印光刻法在处理简5化和精细图案形成方面具有优势。关于辊印技术,韩国专利申请2006-0005482号(公开专利10-2007-76292号公报)详细披露了辊印装置和通过使用所述装置制造显示装置的方法。传统上,所述专利指出辊印法适用于FED(场致发射显示器)、有机EL(电致发光)装置和PDP(等离子显示面板)并且制造io过程得到简化,还披露了即使重复印刷后也可以保证图案的精度。在辊印技术中,通过使用垫板(blanket)和底板(clich。,而非相关技术的光刻中用于形成图案的高分辨率掩模,将图案直接转印到要在其上形成精细图案的基板上。所述辊印技术通过使用作为印刷模板(stamp)的垫板的队列(alignment)而使模具改善了可变形性,并通过15利用热固化处理提高了生产率和工作效率。此外,该技术还被建议作为一种替代方法,以充分减少通过诸如光刻曝光、显影等多种步骤进行的复杂工艺,以及减少因工艺的复杂性而导致的附带工艺支出。然而,如果在采用相关技术的压印技术和辊印技术来形成精细图案时使用具有高流动性和蒸发率的油墨组合物,则所述油墨组合物将被吸20入垫板中,从而导致垫板的污染。这将导致处理空闲时间变长,和垫板在使用时的使用次数降低。此外,当为了除去因垫板的污染而产生的油墨组合物上的杂质而通过物理接触进行清洗操作时,表面容易因摩擦而损坏。此外,当在垫板上的油墨组合物未被除掉的情况下进行压印或辊印处理时,油墨组合物25的精细图案将会错误地形成在要形成的基板侧,或将出现过多的质量缺陷。因此,精细图案的连续转印存在限制,精细图案的精度也难以提高。
发明内容本文件的一个方面是提供油墨组合物,所述油墨组合物包含a)5重量份45重量份聚合物树脂;b)5重量份45重量份胶粘剂;和c)50重量份90重量份有机溶剂。本文件的另一个方面是提供一种油墨组合物,所述油墨组合物用于通过使油墨组合物与其上形成有图案的垫板接触而将图案转印在基板上5的压印光刻法和辊印法,其中所述油墨组合物包含聚酯树脂、胶粘剂和有机溶剂,垫板在24小时后相对于所述油墨组合物的溶胀比为05%。附图有助于进一步理解本发明,将其结合于此构成本说明书的一部io分,它们说明了本发明的实施方式,并与说明一起用于解释本发明的原理。图1和图2是通过使用根据本发明的一个实施方式制造的油墨组合物形成的精细图案的表面的扫描电子显微镜照片;图3和图4是通过使用根据比较例制造的油墨组合物形成的精细图15案的表面的扫描电子显微镜照片;图5和图6是通过使用根据本发明的另一个实施方式制造的油墨组合物形成的精细图案的表面的扫描电子显微镜照片;和图7和图8是通过使用根据比较例制造的油墨组合物形成的精细图案的表面的扫描电子显微镜照片。20具体实施例方式现在将以本发明的详细实施方式作为参考,附图对其实施例作出了说明。下面将参考附图描述根据本发明的具体实施方式。25—个实施方式根据本发明的油墨组合物包含a)5重量份45重量份聚合物树脂;b)5重量份45重量份胶粘剂;和c)50重量份90重量份有机溶剂。所述油墨组合物具有优异的图案形成性能,并且可以通过加入用于提高粘度并有助于保持胶粘性的胶粘剂起到图案支持物的作用,还可以通过提高图案的转印率而改善处理的产率和效率。在本发明的油墨组合物中,a)聚合物树脂可以是油墨组合物中所使用的酚醛清漆树脂或丙烯酸树脂等。酚醛清漆树脂可以是通过将包括间甲酚、对甲酚、2,3,5-三甲基苯酚、2,3-二甲苯和3,5-二甲苯的芳香醇与甲5醛或多聚甲醛反应合成的聚合物。丙烯酸树脂则通过聚合不饱和羧酸、芳香族单体、丙烯酸单体等而获得。聚合物树脂的分子量优选为2,00040,000,更优选为2,00015,000。相对于总共100重量份的组合物,聚合物树脂优选为5重量份io45重量份,更优选为7重量份12.5重量份。在上述范围内,可以提供图案支持物的作用,并可通过提高图案的转印率改善处理的产率和效率。此外,在本发明的油墨组合物中,b)胶粘剂会增加油墨组合物的粘度,有助于保持胶粘性,并可以增加压印和辊印的可变形性。此外,还可以提供图案支持物的作用,并可通过提高图案的转印率提高处理的产15率和效率。作为胶粘剂的具体实例,可以使用丁基化羟基苯甲基醚、2,6-二叔丁基-4-羟甲基苯酚、丁基化羟基甲苯、没食子酸丙酯、没食子酸月桂酯、没食子酸辛酯、2,4,5-三羟基丙基苯基甲酮、叔丁基氢醌、诸如3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、4-甲氧基苯酚、2,3,5-三甲氧基苯酚、2,4-二甲基苯酚、20聚(4-乙烯基苯酚)、4-溴苯酚等酚类、诸如乙基乙烯基醚、聚(甲基乙烯基醚)、聚(异丁基乙烯基醚)等醚类、聚(对羟基)苯乙烯、1,1-二(4-羟基苯基)癸烷、4,4-[1-[4-[1-(1,4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙蜀双酚、[4,4-[2-羟基苯基]亚甲基]二[2,6-二甲基苯酚]、平均分子量为1001,500的聚氨酯丙烯酸酯、和聚氨酯低聚物,可以单独使用这些化合物,也可以使用25它们中的两种或多于两种的混合物。在本发明的油墨组合物中,胶粘剂的含量优选为5重量份45重量份,更优选为7重量份12.5重量份。在上述范围内,油墨组合物的胶粘性和压印、辊印的可变形性都得到提高,并可以提供图案支持物的作用,以及可以通过提高图案的转印9率来改善处理的产率和效率。此外,在本发明的油墨组合物中,C)有机溶剂优选是能够容易地溶解所述聚合物树脂、所述胶粘剂和需要时附加使用的诸如可见化合物等添加剂的有机溶剂。5具体而言,作为有机溶剂,可以使用诸如甲醇、乙醇、乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、丙二醇、二乙二醇、丁二醇、苯甲醇、己醇等醇类;诸如碳酸丙二酯、四氢呋喃、茴香醚、1,4-二氧六环、l-甲氧基-2-丙醇、茴香醚、二丁基醚、二苯醚等醚类;诸如乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、丙酸乙酯、乙基酯、丁基酯、2-羟基异丁酸甲酯、2-甲氧基-l-甲基乙10基酯、2-甲氧基乙基乙酸酯、2-乙氧基乙基乙酸酯等酯类;诸如乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯等乙二醇垸基醚乙酸酯;诸如乙二醇乙基醚丙酸酯等乙二醇垸基醚丙酸酯;诸如乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚等乙二醇单烷基醚;诸如二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚等二乙二醇垸基醚;诸如丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二15醇丙基醚乙酸酯等丙二醇垸基醚乙酸酯;诸如丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯等丙二醇垸基醚丙酸酯;诸如丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚等丙二醇单烷基醚;诸如二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚等二丙二醇烷基醚;诸如丁二醇单甲基醚、丁二醇单乙基醚等丁二醇单垸基醚;和诸如20二丁二醇二甲基醚、二丁二醇二乙基醚等二丁二醇垸基醚,可以单独使用这些溶剂,也可以使用它们中的两种或多于两种的混合物。特别地,为改善在垫板上的涂布性能,使用两种或多于两种溶剂的混合物作为有机溶剂,比使用一种溶剂作为有机溶剂,对于图案转印更为有利。在所述油墨组合物中,有机溶剂的含量优选为50重量份90重量25份,更优选为70重量份80重量份。在上述范围内,可以同时获得溶解性和处理效率。根据本发明的由上述组分构成的用于压印光刻和辊印的油墨组合物可以进一步包含表面活性剂或添加剂。表面活性剂起到防止在垫板中形成油墨污迹或孔痕的作用和获得优良的涂布性能的作用。表面活性剂可以包括硅基表面活性剂或硼基表面活性剂,例如全氟垸基低聚物,相对于总共100重量份所述油墨组合物,其含量为0.01重量份3重量份,优选为0.1重量份1.5重量份。5所述添加剂可以包括粘性敏化剂或可见化合物。粘性敏化剂用于增加对下层的粘性。作为粘性敏化剂,可以使用常用的三聚氰胺基交联剂。三聚氰胺基交联剂可以包括脲和甲醛的縮合产物、三聚氰胺和甲醛的縮合产物,和由醇获得的羟甲基脲垸基醚或羟甲基三聚氰胺烷基醚等。io具体而言,作为脲和甲醛的縮合产物,可以使用单羟甲基脲、二羟甲基脲等。作为三聚氰胺和甲醛的縮合产物,可以使用六羟甲基三聚氰胺。此外,也可以使用三聚氰胺和甲醛的部分縮合产物。此外,羟甲基脲烷基醚通过将脲和甲醛的縮合产物的部分或全部羟甲基与醇反应而获得,其具体实例包括单甲基脲甲基醚、二甲基脲甲基醚等。羟甲基三聚15氰胺烷基醚通过将三聚氰胺和甲醛的縮合产物的部分或全部羟甲基与醇反应而获得,其具体实例包括六羟甲基三聚氰胺六甲基醚、六羟甲基三聚氰胺六丁基醚等。此外,还可以使用具有三聚氰胺的氨基的氢原子被羟基甲基和甲氧基甲基置换的结构的化合物、具有三聚氰胺的氨基的氢原子被丁氧基甲基和甲氧基甲基置换的结构的化合物、等等。特别地,20优选使用羟甲基三聚氰胺烷基醚。如果使用粘性敏化剂作为添加剂,则相对于总共100重量份的所述组合物,有利的是其含量是0.01重量份5重量份,优选0.5重量份2.5重量份。在上述范围内,本发明的油墨组合物对于下方的基板具有优异的粘合性,并可以在后续的蚀刻处理中起到保护图案下面的金属层的25作用。可见化合物通过使用染料、颜料或光敏化合物而使油墨组合物获得可见性,通过用聚合物树脂溶解而实现优异的图案转印性能,并可以更加容易地获得对需要的基板的粘合力。作为可见化合物,可以使用二叠氮化合物,例如通过使用2-重氮基-1-萘酚-5-磺酸酯化三羟基二苯甲酮而制备的2,3,4-三羟基二苯甲酮1,2-萘醌二叠氮基-5-磺酸酯、通过使用2-重氮基-l-萘酚-5-磺酸酯化四羟基二苯甲酮而制备的2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮1,2-萘醌二叠氮基-5-磺酸酯等,可以单独使用这些化合物,也可以使用这些化合物中的两种或多于两种5的混合物。如果使用可见化合物作为添加剂,则相对于总共100重量份本发明的油墨组合物,有利的是其含量是0.1重量份3重量份,优选0.5重量份2.0重量份。含有前述组分的本发明的油墨组合物可以釆用广为人知的常规压印io法(例如韩国专利10-2005-0019557号公报)和辊印法(例如韩国专利10-2007-0076292号公报)应用于图案的形成,从而在基板上形成图案。在具体实施例中,通过诸如旋涂、辊涂和狭缝涂布等适当的方法将油墨组合物以0.5^im10pm的厚度涂布。然后,在压印处理中,在使油墨组合物与具有所需形状的图案的垫板印刷模板接触后,将图案转印到15诸如硅基板、陶瓷基板、金属层、聚合物层等基板上。另一方面,在辊印处理中,在通过使用具有所需形状的图案的底板使油墨组合物与垫板接触后,将图案转印到诸如硅基板、陶瓷基板、金属层、聚合物层等基板上。接下来,可以通过使用紫外线进行光固化处理,或者在90。C20(TC20的温度下进行用于热处理的热固化处理,或者同时进行光固化处理和热固化处理。进行热处理工序的目的是在不热解油墨组合物的固体组分的条件下蒸发溶剂。通常,优选通过热处理工序降低溶剂的浓度,优选将热处理工序进行至留在基板上的油墨膜的厚度小于或等于10pm为止。上述工序增加了油墨膜与基板之间的粘合性和耐化学性。使用腐蚀溶液25或气体等离子体处理其上完成了上述工序的基板,以处理暴露的基板区域。此时,基板的未暴露区域由油墨膜保护。在以此方式处理基板后,通过利用适当的剥离器除掉油墨膜,可以在基板上形成精细的电路图案。通过在室温下对如下表1所示的组分和组合物均匀混合超过24小时,制备实施方式1和2以及比较例1和2和油墨组合物。表1中的单位是重量份。在表1中,实施方式1和2中所使用的聚合物树脂是酚醛清漆树脂,有机溶剂是甲醇,表面活性剂是硅表面活性剂,添加剂是六羟甲基三聚氰胺六甲基醚。类别实施方式1实施方式2比较例1比较例2聚合物树脂10101020胶粘剂10丁基化羟基苯甲基醚10聚(对羟基)苯乙烯10聚氨酯丙烯酸酯有机溶剂80808080表面活性剂1111添加剂333-另一方面,聚合物树脂是丙烯酸树脂,有机溶剂是1,4-二氧六环,表面活性剂是硼表面活性剂,添加剂是单甲基脲甲基醚,并且还可以为聚合物树脂是酚醛清漆树脂和丙烯酸树脂的混合物,有机溶剂是2-甲氧基乙基乙酸酯,表面活性剂是硼表面活性剂,添加剂是六羟甲基三聚氰io胺六丁基醚。通过下述方法评价表1中制备的实施方式1和2以及比较例1和2的油墨组合物的物理性质。A.精细图案转印率将实施方式1和2以及比较例1和2的油墨组合物涂布在没有图案15的垫板上。自然干燥20秒后,随着垫板经过底板,精细图案被转印在要形成的基板上,图案的转印率如下表2中所示。根据图案在100个尺寸为1mmXlmm的格子中的形成情况,可以明显看出,图案的转印率为0100%。<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>如表2中所示,可以发现使用根据本发明的胶粘剂的实施方式1和2的油墨组合物显示出了大于或等于95%的优异的图案转印率。B.图案形成精度将实施方式1和2以及比较例1和2的油墨组合物涂布在没有图案的垫板上。自然干燥预定时间后,随着垫板经过底板,精细图案被转印在要形成的基板上。接下来,在高温下将其上转印有精细图案的基板热处理预定时间,然后浸入4(TC的铝蚀刻溶液中预定时间并干燥。然后,5使用扫描电子显微镜分析精细图案的表面,其结果分别显示在表1至表4中。此外,测量精细图案部分和下方的基板之间的粘合力并显示在表3中。精细图案部分和下方的基板之间的粘合力根据程度被证明为0100%。如表1至表4所示,可以发现根据本发明的实施方式1(图1)和实io施方式2(图2)的油墨组合物表现出了优异的图案形成精度,因为它们都形成了均匀的图案。另一方面,在比较例1和比较例2中,可以发现图案形成没有精确地显现出来。<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>如表3所示,可以发现根据本发明的实施方式1(图1)和实施方式is2(图2)的油墨组合物与比较例1和比较例2的油墨组合物相比,表现出了极其优异的粘合力。另一个实施方式本发明还涉及形成图案的方法,所述方法是通过将油墨组合物与形成有图案的垫板接触在基板上转印图案的压印光刻法和辊印法。其中所20述油墨组合物包含聚合物树脂、胶粘剂和有机溶剂,24小时后垫板相对于油墨组合物的溶胀比为05%。24小时后垫板相对于油墨组合物的溶胀比为05%。优选地,所述油墨组合物包含a)5重量份45重量份聚合物树脂;b)5重量份45重量份胶粘剂;和c)50重量份90重量份有机溶剂。2524小时后垫板相对于油墨组合物的溶胀比是指垫板的初始重量与将垫板浸入油墨组合物24小时后将其取出并用甲醇清洁后测量的重量之差与垫板的初始重量之比{溶胀比(%)=[(清洁后的垫板的重量(g)-垫板的初始重量(g))/垫板的初始重量(g)]X100}。24小时后垫板相对于本发明05%。优选地,24小时后的溶胀比为04%。在本发明的油墨组合物中,a)聚合物树脂可以是典型的油墨组合物中所使用的酚醛清漆树脂、丙烯酸树脂等。酚醛清漆树脂可以是通过将包括间甲酚、对甲酚、2,3,5-三甲基苯酚、2,3-二甲苯和3,5-二甲苯的芳香5醇与甲醛或多聚甲醛反应合成的聚合物。丙烯酸树脂则通过聚合不饱和羧酸、芳香族单体、丙烯酸单体等而获得。聚合物树脂的分子量优选为2,000100,000,更优选为2,00045,000。相对于总共100重量份的组合物,聚合物树脂优选为5重量份io45重量份,更优选为7重量份12.5重量份。在上述范围内,可以提供图案支持物的作用,并可通过提高图案的转印率改善处理的产率和效率。此外,在本发明的油墨组合物中,b)胶粘剂会增加油墨组合物的粘度,有助于保持胶粘性,并可以增加压印和辊印的可变形性。此外,还可以提供图案支持物的作用,并可通过提高图案的转印率提高处理的产15率和效率。作为胶粘剂的具体实例,可以使用丁基化羟基苯甲基醚、2,6-二叔丁基-4-羟甲基苯酚、丁基化羟基甲苯、没食子酸丙酯、没食子酸月桂酯、没食子酸辛酯、2,4,5-三羟基丙基苯基甲酮、叔丁基氢醌、诸如3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、4-甲氧基苯酚、2,3,5-三甲氧基苯酚、2,4-二甲基苯酚、202,6-二甲基苯酚、聚(4-乙烯基苯酚)、4-溴苯酚等酚类、诸如乙基乙烯基醚、聚(甲基乙烯基醚)、聚(异丁基乙烯基醚)等醚类、聚(对羟基)苯乙烯、U-二(4-羟基苯基)癸烷、4,4-[1-[4-[1-(1,4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚、[4,4-[2-羟基苯基]亚甲基]二[2,6-二甲基苯酚]、四(亚甲基-(3,5-二叔丁基-4-羟基氢化肉桂酸酯))甲烷、1,3,5-三甲基-2,4,6-三-(3,5-二叔丁25基-4-羟基苯甲基)苯、三-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯甲基)异氰脲酸酯、3-(3',5'-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸十八烷基酯、2,5-二(1,1-二甲基丙基)-1,4-苯二酚、1,1,3-三(2-甲基)-4-羟基-5-叔丁基苯基丁烷、三乙二醇-二-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酸酯、2,2-亚甲基二(4-甲基-6-(1-甲基环己基)苯酚)和三(2,4-二-叔丁基苯基)磷酸酯,可以单独使用这些化合物,也可以使用它15们中的两种或多于两种的混合物。另外,还可以选择和使用广为人知的松香基树脂,包括诸如脂松香、木松香和浮油松香等未改性的松香、诸如聚合的松香歧化松香、稳定化的松香、完全氢化的松香、部分氢化的松香等改性的松香,和通过未改性的松香的聚合、歧化、氢化等改性的5其它化学改性的松香,以及各种松香衍生物等。作为松香衍生物,可以使用不饱和脂肪酸改性的松香基树脂、不饱和脂肪酸改性的松香酯基树月旨、松香醇基树脂,和松香基树脂的金属盐。另外,还可以使用平均分子量为1,0005,000的聚氨酯低聚物,可以单独使用一种,也可以使用两种或多于两种的混合物。io在本发明的油墨组合物中,胶粘剂的含量优选为5重量份45重量份,更优选为7重量份12.5重量份。在上述范围内,油墨组合物的胶粘性和压印、辊印的可变形性都得到调整,并可以提供图案支持物的作用,以及可以通过提高图案的转印率来改善处理的产率和效率。此外,在本发明的油墨组合物中,c)有机溶剂优选是能够容易地溶15解所述聚合物树脂、所述胶粘剂和需要时附加使用的诸如可见化合物等添加剂的有机溶剂。24小时后垫板相对于有机溶剂的溶胀比为05%。优选地,作为有机溶剂,可以使用乙腈、甘油、二甲亚砜、硝基甲烷、二甲基甲酰胺、苯酚、N-甲基吡咯烷酮、吡啶全氟三丁基胺、全氟萘垸、2-丁酮、诸如甲醇、乙醇、乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、丙二醇、20二乙二醇、丁二醇、苯甲醇、己醇等醇类、诸如碳酸丙二酯、四氢呋喃、茴香醚、1,4-二氧六环、l-甲氧基-2-丙醇、茴香醚、二丁基醚、二苯醚等醚类、诸如乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚等乙二醇单垸基醚、诸如二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚等二乙二醇烷基醚、诸如丙二醇甲基醚、丙二醇丁基醚等丙二醇25单烷基醚、诸如二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚等二丙二醇烷基醚、诸如丁二醇单甲基醚、丁二醇单乙基醚等丁二醇单烷基醚、和诸如二丁二醇二甲基醚、二丁二醇二乙基醚等二丁二醇烷基醚,可以单独使用这些溶剂,也可以使用它们中的两种或多于两种的混合物。特别地,为改善在垫板上的涂布性能,使用两种或多于两种溶剂的混合物作为有机溶剂,比使用一种溶剂作为有机溶剂,对于图案转印更为有利。在所述油墨组合物中,有机溶剂的含量优选为50重量份90重量份,更优选为70重量份80重量份。在上述范围内,可以同时获得溶解性和处理效率。根据本发明的由上述组分构成的用于压印光刻和辊印的油墨组合物可以进一步包含表面活性剂或添加剂,如上所述那样。所述垫板由PDMS(聚二甲基硅氧烷)制成。通过在室温下对如下表4所示的组分和组合物均匀混合超过24小时,制备实施方式1和2以及比较例1和2和油墨组合物。表4中的单位是g。表4中使用的聚合物树脂是平均分子量为7,000的酚醛清漆树脂,胶粘剂是丁基化羟基苯甲基醚,表面活性剂是硅表面活性剂,添加剂是六羟甲基三聚氰胺六甲基醚,有机溶剂的混合比是重量比。类别实施方式1实施方式2比较例1比较例2聚合物树脂10101020胶粘剂101010-有机溶剂80乙腈三乙二醇=9:180乙腈80乙酸乙酯乙酸丁酉旨=9:180乙酸乙酯表面活性剂1111添加剂33331520通过下述方法评价表1中制备的实施方式1和2以及比较例1和2的油墨组合物的物理性质。A.垫板和油墨组合物的溶胀比将垫板切割成50X50的尺寸,并将其完全浸入实施方式1和2以及比较例1和2的油墨组合物中24小时,然后使用甲醇清洁。接下来,根据初始重量和最终重量的比率测量溶胀比(%),结果如下表5中所示。溶胀比=[(清洁后的垫板的重量(g)_垫板的初始重量(g))/垫板的初始重量(g)]X100。初始重j清洁后的重量(g)溶胀比(%)<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>如表5中所示,可以发现根据本发明的实施方式1和2的油墨组合物对于垫板表现出了极小的渗透率,而比较例1和2中的垫板则表现出了严重的溶胀现象,其中溶胀比大于或等于1.4。B.精细图案转印率5将实施方式1和2以及比较例1和2的油墨组合物涂布在没有图案的垫板上。自然干燥20秒后,随着垫板经过底板,精细图案被转印在要形成的基板上,图案的转印率如下表6中所示。根据图案在100个尺寸为1mmXlmm的格子中的形成情况,可以明显看出,图案的转印率为0100%。<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>如表6中所示,可以发现根据本发明的实施方式1和2的油墨组合物显示出了大于或等于96%的优异的图案转印率。B.图案形成精度将实施方式1和2以及比较例1和2的油墨组合物涂布在没有图案15的垫板上。自然干燥预定的时间后,随着垫板经过底板,精细图案被转印在要形成的基板上。接下来,热处理其上转印有精细图案的基板,然后将其浸入4(TC的铝蚀刻溶液中预定时间,取出并干燥。然后,使用扫描电子显微镜分析精细图案的表面,其结果分别显示在表5至表8中。如表5至表8所示,可以发现根据本发明的实施方式l(图5)和实20施方式2(图6)的油墨组合物表现出了优异的图案形成精度,因为它们都形成了均匀的图案。另一方面,在比较例l(图7)和比较例2(图8)中,可以发现图案形成没有精确地显现出来。D.油墨组合物的等待时间将实施方式1和2以及比较例1和2的油墨组合物涂布在没有图案25的垫板上。自然干燥后,随着垫板经过底板,精细图案被转印在要形成的基板上。接下来,热处理其上转印有精细图案的基板,然后将其浸入4crc的铝蚀刻溶液中预定时间,取出并干燥。然后,根据形成图案时的转印率测量等待时间,并显示在下表7中。表7中的单位是%。<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>如表7中所示,可以发现当根据本发明的实施方式1和2的油墨组合物的等待时间小于90秒时,其表现出优异的图案转印率。另一方面,可以发现,当根据本发明的比较例1和2的油墨组合物的等待时间小于30秒时,其表现出的图案转印率分别为30%和11%,并且在40秒后未进行转印。因此,可以发现本发明的油墨组合物的等待时间得到了显著改io善。前述实施方式和优点仅仅是示例性的,不应理解为限制本发明。本教导可以容易地应用于其它类型的装置。前述实施方式的说明旨在进行解释性说明,它们不对权利要求的范围作出限制。对于本领域技术人员显而易见的是,可以进行多种替代、改进和变化。在权利要求中,方法15和功能项旨在将在此所描述的结构涵盖为对所述功能的执行,其中不仅包括结构等价物,还包括等价的结构。此外,词语"是指"除非被明确地引述在权利要求书的限定中,否则这种限定不应按照35USC112(6)来解释。权利要求1.一种油墨组合物,所述油墨组合物包含a)5重量份~45重量份的聚合物树脂;b)5重量份~45重量份的胶粘剂;和c)50重量份~90重量份的有机溶剂。2.如权利要求1所述的油墨组合物,其中所述聚合物树脂是选自由酚醛清漆树脂、丙烯酸树脂和它们的混合物组成的组的一种或多种聚合物树脂。3.如权利要求1所述的油墨组合物,其中所述胶粘剂是选自以下的组的一种或多种胶粘剂丁基化羟基苯甲基醚、2,6-二-叔丁基-4-羟甲基苯酚、丁基化羟基甲苯、没食子酸丙酯、没食子酸月桂酯、没食子酸辛酉旨、2,4,5-三羟基丙基苯基甲酮、叔丁基氢醌、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、4-甲氧基苯酚、2,3,5-三甲基苯酚、2,4-二甲基苯酚、聚(4-乙烯基苯酚)、154-溴苯酚、乙基乙烯基醚、聚(甲基乙烯基醚)、聚(异丁基乙烯基醚)、聚(对羟基)苯乙烯、1,1-二(4-羟基苯基)癸烷、4,4-[1-[4-[1-(1,4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚、[4,4-[2-羟基苯基]亚甲基]二[2,6-二甲基苯酚]、平均分子量为1001,500的聚氨酯丙烯酸酯、和聚氨酯低聚物。4.如权利要求1所述的油墨组合物,其中所述有机溶剂是选自以下20的组的一种或多种有机溶剂醇类;醚类;酯类;乙二醇烷基醚乙酸酯;乙二醇垸基醚丙酸酯;乙二醇单烷基醚;二乙二醇垸基醚;丙二醇烷基醚乙酸酯;丙二醇垸基醚丙酸酯;丙二醇单烷基醚;二丙二醇垸基醚;丁二醇单烷基醚;和二丁二醇烷基醚。5.如权利要求1所述的油墨组合物,其中所述有机溶剂是选自以下25的组的一种或多种有机溶剂甲醇、乙醇、乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、丙二醇、二乙二醇、丁二醇、苯甲醇、己醇、碳酸丙二酯、四氢呋喃、茴香醚、1,4-二氧六环、l-甲氧基-2-丙醇、茴香醚、二丁基醚、二苯醚、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、丙酸乙酯、乙基酯、丁基酯、2-羟基异丁酸甲酯、2-甲氧基-1-甲基乙基酯、2-甲氧基乙基乙酸酯、2-乙氧基乙基乙酸酯、乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯、乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基5醚丙酸酯、丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚、二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚、丁二醇单甲基醚、丁二醇单乙基醚、二丁二醇二甲基醚、和二丁二醇二乙基醚。6.如权利要求1所述的油墨组合物,所述油墨组合物进一步包含相对于总共100重量份的所述油墨组合物为0.01重量份3重量份的硅基io表面活性剂或硼基表面活性剂。7.如权利要求1所述的油墨组合物,所述油墨组合物进一步包含相对于总共100重量份的所述油墨组合物为0.01重量份5重量份的粘性敏化剂或0.1重量份3重量份的可见化合物。8.—种通过使用如权利要求17任一项所述的油墨组合物形成图15案的方法。9.如权利要求8所述的形成图案的方法,其中所述图案通过使用压印光刻或辊印而形成。10.如权利要求8所述的形成图案的方法,其中所述油墨组合物的涂布厚度为0.5|xm10pm。11.—种形成图案的方法,所述方法是通过使油墨组合物与其上形成有图案的垫板接触而在基板上转印图案的压印光刻法或辊印法,其中所述油墨组合物包含聚合物树脂、胶粘剂和有机溶剂,所述垫板在24小时后相对于所述油墨组合物的溶胀比为05%。12.如权利要求ll所述的形成图案的方法,其中所述油墨组合物包25含a)5重量份45重量份的所述聚合物树脂;b)5重量份45重量份的所述胶粘剂;和c)50重量份90重量份的所述有机溶剂。13.如权利要求11所述的形成图案的方法,其中所述聚合物树脂是选自由酚醛清漆树脂、丙烯酸树脂和它们的混合物组成的组的一种或多种聚合物树脂。14.如权利要求ll所述的形成图案的方法,其中所述胶粘剂是选自以下的组的一种或多种胶粘剂酚类、醚类、未改性的松香、通过未改5性的松香的聚合、歧化或氢化改性的改性松香、不饱和脂肪酸改性的松香基树脂、不饱和脂肪酸改性的松香酯基树脂、松香醇基树脂、松香基树脂的金属盐、和平均分子量为1,0005,000的聚氨酯低聚物。15.如权利要求ll所述的形成图案的方法,其中所述胶粘剂是选自以下的组的一种或多种胶粘剂丁基化羟基苯甲基醚、2,6-二叔丁基-4-io羟甲基苯酚、丁基化羟基甲苯、没食子酸丙酯、没食子酸月桂酯、没食子酸辛酯、2,4,5-三羟基丙基苯基甲酮、叔丁基氢醌、3-氨基苯酚、4画氨基苯酚、4-甲氧基苯酚、2,3,5-三甲氧基苯酚、2,4-二甲基苯酚、2,6-二甲基苯酚、聚(4-乙烯基苯酚)、4-溴苯酚、乙基乙烯基醚、聚(甲基乙烯基醚)、聚(异丁基乙烯基醚)、聚(对羟基)苯乙烯、1,1-二(4-羟基苯基)癸垸、154,4-[1-[4-[1-(1,4-羟基苯基)-1-甲基乙蜀苯基]亚乙基]双酚、[4,4-[2-羟基苯基]亚甲萄二[2,6-二甲基苯酚]、四(亚甲基-(3,5-二叔丁基-4-羟基氢化肉桂酸酯))甲烷、1,3,5-三甲基-2,4,6-三-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯甲基)苯、三-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯甲基)异氰脲酸酯、3-(3',5'-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸十八垸基酯、2,5-二(1,1-二甲基丙基)-1,4-苯二酚、1,1,3-三(2-甲基)-4-20羟基-5-叔丁基苯基丁垸、三乙二醇-二-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯甲基)丙酸酯、2,2-亚甲基二(4-甲基-6-(1-甲基环己基)苯酚)、三(2,4-二-叔丁基苯基)磷酸酯、脂松香、木松香、浮油松香、稳定化的松香、完全氢化的松香、和部分氢化的松香。16.如权利要求11所述的形成图案的方法,其中所述有机溶剂是选25自以下的组的一种或多种溶剂乙腈、甲醇、乙醇、碳酸丙二酯、甘油、二甲亚砜、硝基甲烷、二甲基甲酰胺、苯酚、N-甲基吡咯垸酮、吡啶全氟三丁基胺、全氟萘烷、2-丁酮、三乙二醇和四乙二醇。17.如权利要求ll所述的形成图案的方法,其中所述油墨组合物进一步包含相对于总共100重量份的所述油墨组合物为0.01重量份3重量份的硅基表面活性剂或硼基表面活性剂。18.如权利要求11所述的形成图案的方法,其中所述油墨组合物进一步包含相对于总共100重量份的所述油墨组合物为0.01重量份5重量份的粘性敏化剂或0.01重量份3重量份的可见化合物。19.如权利要求ll所述的形成图案的方法,其中所述油墨组合物的涂布厚度为0.5(xm10pm。全文摘要本发明提供了一种油墨组合物及使用所述油墨组合物形成图案的方法,所述油墨组合物用于采用压印光刻和辊印形成图案以起到图案支持物的作用,可以通过减少由油墨组合物所导致的溶胀现象的出现而提高图案形成的精度,还可以通过提高图案的转印率而改善处理的产率和效率,此外,还提供了通过使用所述油墨组合物形成显示器或半导体的图案的方法。文档编号C09D11/02GK101457050SQ20081018710公开日2009年6月17日申请日期2008年12月12日优先权日2007年12月13日发明者宋晙溶,李命洙,李起范,申承协,金炳厚,金珍郁申请人:乐金显示有限公司;东进世美肯株式会社
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