防尘薄膜组件用粘着剂以及使用其的防尘薄膜组件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及半导体装置，印刷基板，液晶面板等的制造时的防尘器使用的防尘薄 膜组件用粘着剂以及使用其的防尘薄膜组件。
【背景技术】
[0002] LSI，超LSI等的半导体制造或液晶显示板等的制造中，要对导体晶片或液晶用原 板进行光照射以制造图案，此时用的光掩模或中间掩模（以下，统称「光掩模」）上如有灰尘 附着，就会具有尖端模糊，或基底变黑等，使尺寸，品质，外观等受损。
[0003] 为此，这些作业通常在无尘室中进行，即使如此，也难以解决经常保持光掩模清洁 的问题，要在光掩模表面上贴附作为除尘器的防尘薄膜组件后进行曝光。此场合，异物不在 光掩模的表面上直接附着，而是在防尘薄膜组件上附着，光刻时，只要将焦点对准光掩模的 图案上，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关了。
[0004] 这样的防尘薄膜组件中，为一般将由可良好透过的硝酸纤维素，醋酸纤维素或氟 树脂等构成的透明的防尘薄膜在由铝，不锈钢，聚乙烯等构成的防尘薄膜组件框架的上端 面上涂布防尘薄膜的良溶媒后，风干接着（专利文献1参照），或用烯酸树脂以及环氧树脂 等的接着剂进行接着（专利文献2参照）。另外，在防尘薄膜组件框架的下端中，为了在光 掩模接着，形成聚丁烯树脂，聚醋酸乙烯基酯树脂，丙烯酸树脂，硅树脂等粘着层，以及形成 以保护粘着层为目的的离型层（分离层）。
[0005] 接着，此防尘薄膜组件，为了防止异物附着在玻璃基板上的图案上，虽然通过粘着 剂贴附在玻璃基板上，如粘着剂不能在全周进行确实地贴附在玻璃基板上，就会从没有贴 附的间隙的部分有异物向防尘薄膜组件内的侵入，有将玻璃基板上的图案污染的可能。
[0006] 作为将防尘薄膜组件粘着剂确实地在玻璃基板上贴附的方法，有提高贴附压力， 或使时间加长的方法。近年，在将防尘薄膜组件贴附于玻璃基板上时，为了不使玻璃基板的 图案歪斜，多以低的压力进行贴附，另外，为了提高制造速度，贴附时间也有缩短的倾向。例 如，专利文献3中，记载了在将粘着剂层平坦化的同时，将粘着力压低为lN/m~lOON/m的 范围，以防止光掩模的歪斜。
[0007] 先行抟术f献
[0008] 专利f献
[0009] 【专利文献1】日本特开昭58 - 219023号公报 [0010]【专利文献2】日本特公昭63 - 27707号公报
[0011] 【专利文献3】日本特开2012 - 108277号
[0012] 但是，以往的任何一个场合，即使粘着剂表面的微小的凹凸以及粘着剂宽的不同， 都会有由于组件贴附时的防尘薄膜组件和玻璃基板的角度，造成粘着剂不能确实地贴附， 出现间隙。
[0013] 作为对这样的粘着剂的贴附状况以及间隙的有无等进行确认的方法，在玻璃基板 透明的场合，可以在防尘薄膜组件贴附后从玻璃基板的里侧对防尘薄膜组件粘着剂的贴附 状况进行确认，但是，在表面为金属蒸镀的玻璃基板的场合，不能从玻璃基板的里侧进行确 认。
[0014] 另外，在从里侧不能确认的场合，虽然开对粘着剂的贴附状况从侧面进行确认，但 是，粘着剂的厚度Imm以下，用集光灯进行确认的场合，从粘着剂的反射光以及折射光，进 而从金属蒸镀的玻璃基板的反射光，难以对贴附状况进行正确地确认。
[0015] 因此，鉴于上述的原因，本发明的目的，为提供一种可以对粘着剂和玻璃基板的贴 附状况进行简单且正确地确认的防尘薄膜组件用粘着剂以及用其的防尘薄膜组件。
【发明内容】
[0016] 本发明人对上述课题进行了深入地研宄，结果发现，如向粘着剂添加荧光材料，进 行紫外线照射，粘着剂部分就会发出银白的荧光，由此就可以对粘着剂和玻璃基板的贴附 状况进行正确地确认，从而完成了本发明。
[0017] 即，本发明，是为了将至少由防尘薄膜和该防尘薄膜被贴附在其上的防尘薄膜组 件框架构成的防尘薄膜组件贴附在玻璃基板上的防尘薄膜组件用粘着剂，其特征在于，该 粘着剂含有荧光材料。
[0018] 另外，本发明的荧光材料，优选其浓度为0. 01质量％以上I. 0质量％未满，作为所 述材料，优选在紫外线的下发出荧光，更优选例如噁唑类的材料。进而，作为本发明的粘着 剂，优选有机硅类粘着剂或丙烯酸类粘着剂。
[0019] 发明的效果
[0020] 根据本发明，可以对防尘薄膜组件粘着剂和玻璃基板的贴附状况进行简单、正确 地确认。
【附图说明】
[0021] 附图为使用含有荧光材料的粘着剂的本发明的防尘薄膜组件的纵截面图。
【具体实施方式】
[0022] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明，但是本发明并不限于这些具 体实施方式。
[0023] 附图为使用添加了荧光材料的粘着剂的本发明的防尘薄膜组件的一实施方式发 的纵截面图。附图的防尘薄膜组件1，有与贴附了防尘薄膜组件1的玻璃基板（光掩模或其 玻璃基板部分）的形状相对应的通常为四角框状（长方形框状或正方形框状）的防尘薄膜 组件框架12,在其上端面，防尘薄膜11被绷紧设置，在防尘薄膜组件框架12的下端面，形成 有用于将防尘薄膜组件1贴附于玻璃基板的粘着剂13。另外，在粘着剂13的下端面，贴附 有保护粘着剂13的可以剥离的离型层（分离层）14。
[0024] 防尘薄膜11以及防尘薄膜组件框架12的材质没有特别的制限，可以使用公知物， 但是，从刚性，加工性来看，防尘薄膜组件框架12的材质优选金属制的之物。另外，防尘薄 膜11，可以用公知的方法将其贴附于防尘薄膜组件框架12。
[0025] 本发明的粘着剂13,在防尘薄膜组件框架12的下端面以规定的宽（通常，与防尘 薄膜组件框架12的框架宽相同或其以下）设置，在防尘薄膜组件框架12的下端面的周方 向的全周上进行设置，以将防尘薄膜组件框架12贴附于玻璃基板上。
[0026] 作为本发明的粘着剂的材料，可以使用公知物，但是以有机硅类的粘着剂以及丙 烯酸类的粘着剂为好。作为有机硅类的粘着剂，有例如，信越化学工业株式会社销售的有机 硅粘着剂（例如，X - 40 - 3122, KR - 3700, X - 40 - 3103, X - 40 - 3264 等）。其中， 粘着强度强，可以减少低分子硅氧烷的X - 40 - 3122为佳。
[0027] 另外，作为丙烯酸类的粘着剂，可以使用例如，综研化学株式会社的市在市场上销 售的丙烯酸粘着剂（SK - DYNE系列等），但是，从粘着力以及作业性来看，SK - 1425为佳。
[0028] 本发明的粘着剂中，含有荧光材料，作为该荧光材料，只要可以发出荧光就没有特 别的限制。作为天然的荧光材料，有方解石，硅酸锌矿，苯甲酸钠，荧石，金刚石等。另外，也 可以使用将长波长的紫外线以青色光反射，使物质看起来更白的人工荧光材料。
[0029] 作为荧光材料的典型材料，可以使用二磺酸酯类，四磺酸酯类，六磺酸酯类，芪类， 咪唑类，噻唑类，噁唑类，三唑类，噁二唑类，噻二唑类，香豆素类，萘二甲酰亚胺类，吡唑啉 类，芘类，咪唑啉酮类，联苯胺类，二氨基咔唑类，噁青色素类，次甲级化合物类，吡啶类，蒽 哒嗪类，联苯乙烯类，甲基联苯乙烯类，联苯类等。另外，这些的荧光材料，可以1种以上混 合使用，但是优选使用噁唑类。
[0030] 作为焚光材料的具体例，可以例举Ciba - Geigy Corporation公司的U vitex - OB，Uvitex - EBF，Uvitex - ERN - P，Uvitex - EHF，Uvitex - EMT，Uvitex - EM - V (以 上，噁挫类），Uvitex - ERT，Uvitex - WGS(以上，香豆素类），Uvitex - AT，Uvitex - BAC (以上，咪挫类），Uvitex - WG (吡挫啉类），Uvitex - 2B，Uv itex - BHT，Uvitex - MST，Uvitex - CF(以上，芪类），Uvitex - NFW(联苯类）等。
[0031] 另外，还有新日曹化工株式会社制的Kayacall - BScon c，Kayacall - BIconc， Kayacall - BIL，K ayacall - BRA, Kayacall - BRAL，Kayaca 11 - BRBLconc, KayacalI - BUL， Kayacal I - BXconc， Kayacall - BXNL, Kayacall - BZconc， Kayacall - BZH/C， Kayacall - B ZL，Kayacall - CAconc，Kayacall - CPL, Kayacall - KTL, Kayacall - PAN, Kayaca 11 - PKconc，Kayacall - RG，Kayacall - R P, Kayacall - SR, Kayacall - WG，Kayaca 11 - WS，Kayacall - WSL - 100, Kayacall