防尘薄膜组件收纳容器的制造方法
【专利摘要】本发明的目的是提供一种在虽随时间的经过而发生的尺寸变化小，即使长期使用其内部的清洁度也不降低的，适宜于收纳至少一个的边长超过1000mm的大型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。本发明为的防尘薄膜组件收纳容器10，由载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体11和由用JIS K7209，A法，材料厚3mm，24小时的方法测定的吸水率为0.2％以下的树脂材料来构成盖体12来构成。本发明优选使用JIS K7209，A法，材料厚3mm的方法测定的30日经过后的吸水率为0.5％以下的树脂材料，防尘薄膜组件收纳容器本体11用金属材料来代替树脂材料。
【专利说明】
防尘薄膜组件收纳容器
技术领域
[0001] 本发明涉及一种收纳在半导体装置，1C封装，印刷基板，液晶面板或者有机EL面板 等的制造中作为防尘器使用的防尘薄膜组件的的收纳容器，其最适合至少一个边长超过 1000mm的大型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。
【背景技术】
[0002] LSI，超LSI等的半导体或液晶面板等的制造中，要向半导体晶片或液晶用玻璃板 照射紫外光来进行图案制作，如此时使用的光掩模上有灰尘附着，所述灰尘就会将紫外光 遮挡，反射，从而就会发生转印密封图案的形变，短路等，使品质受损。
[0003] 因此，这些的作业为通常无尘室中进行，但是即使如此，要保持光掩模的经常清洁 也是困难的。因此，要在光掩模表面贴附作为防尘器的防尘薄膜组件后再进行曝光。在所述 场合，异物不在光掩模的表面上直接附着，而是附着在防尘薄膜组件上，由此光刻时只要将 焦点对准光掩模的图案上，就可以了。
[0004] 所述防尘薄膜组件，一般说来，是使透光良好的硝酸纤维素，醋酸纤维素或氟树脂 等构成的透明的防尘膜，在铝，不锈钢，工程塑料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面上接 着而成。再者，在防尘薄膜组件框架的下端面，设有将防尘薄膜组件安装在光掩模上的由聚 丁烯树脂，聚醋酸乙烯基树脂，丙烯酸树脂，有机硅树脂等构成的粘着层，以及对所述粘着 层进行保护的离型层(分离片）。
[0005] 另一方面，将这样的防尘薄膜组件，特别是边长超过1000mm的大型的防尘薄膜组 件进行收纳的防尘薄膜组件收纳容器，由对防尘薄膜组件进行载置的防尘薄膜组件收纳容 器本体在其周缘部嵌合而密封的盖体部件构成。这些部件材料，为将厚度2~8mm程度的树 脂板进行真空成形或者压空成形而制作的，该制法，即使大型也可以整体成形而制作，所以 具有内部发尘根源少，并且生率高且成本低的优点。
[0006] 防尘薄膜组件收纳容器本体，为了对附着的异物进行确认，黑色为好，再者盖体为 了对内部收纳密封的防尘薄膜组件进行确认，以透明或有色半透明为好(专利文献1参照）。 从这样的观点，几乎所有的场合，作为收纳容器本体的材料以ABS树脂为好，再者作为盖体 的材料，以ABS树脂或者丙烯酸树脂为好。
[0007] 然后，近年来，伴随着面板的大型化，防尘薄膜组件的尺寸也变得大型化，其边长 为超过1000mm的场合也变得多起了，另一方面，伴随着防尘薄膜组件的大型化，防尘薄膜组 件收纳容器，随着防尘薄膜组件的尺寸的变化，其尺寸随着时间经过而发生变化也就成了 问题。因此，例如，专利文献2中，作为其对策，提出了将树脂制的容器本体和补强体进行组 合建议。
[0008] 但是，防尘薄膜组件收纳容器的随时间的经过其尺寸的变化，是由于成形前的材 料本身的吸湿，成形时发生的内部应力的减小，再者温度等的使用环境条件等各种各样的 因素夹杂在一起而造成的，所以对其解决是困难的。
[0009] 现有技术文献
[0010] 【专利文献1】日本特开2001-100394
[0011] 【专利文献2】日本特开2013-205690
[0012] 再者，所述随时间的经过防尘薄膜收纳容器的尺寸的变化，会造成防尘薄膜组件 收纳容器本体和盖体的嵌合时，它们的间隙变大，这不但会从外部向防尘薄膜组件收纳容 器内进入异物，而且会有由于划擦而发尘的可能。再者，防尘薄膜组件被固定在防尘薄膜收 纳容器内部的场合，固定位置决定装置，会由于尺寸变化而发生位置不能对准，从而变为不 能收纳防尘薄膜组件的状态，这是不能与进入异物相比的大问题。
[0013] 因此，本发明，就是鉴于上述问题而成的，本发明的目的为，提供一种随时间的经 过尺寸变化小，长期使用内部的清洁度也不降低的收纳至少一个的边长为超过1000mm的大 型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。
【发明内容】
[0014] 本发明的发明人，为了达成上述的目，进行了深入的研究，得知，在造成随时间的 经过的尺寸的变化的各种各样的因素中，防尘薄膜组件收纳容器中用的材料的吸水率的影 响特别大。因此，进一步对材料的吸水率进行了研究后，得知，在使用吸水率0.2%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的树脂材料的场合，随时间的经过的尺寸变化可以被抑制到极 小，从而完成了本发明。
[0015] 即，本发明为，收纳至少一个的边长为超过1000mm的矩形的防尘薄膜组件的防尘 薄膜组件收纳容器，其特征为将防尘薄膜组件载置的防尘薄膜组件收纳容器本体和盖体为 由吸水率〇. 2 %以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的树脂材料构成的。
[0016] 再者，在本发明的防尘薄膜组件收纳容器中，其盖体由吸水率0.2%以下（JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的树脂材料构成，其本体可以也可不用树脂材料，而用金属材 料。再者，本发明中使用的树脂材料，优选其吸水率在经过30日后为0.5%以下(JIS K7209， A法，材料厚3mm)。
[0017] 根据本发明，防尘薄膜组件收纳容器的随时间的经过的尺寸变化极小，在适宜地 保持防尘薄膜组件收纳容器本体和盖体的良好嵌合的同时，由于薄膜组件收纳容器内中设 置的防尘薄膜组件固定部品的位置不会变化，所以防尘薄膜组件的清洁度可以长期得以保 持。
【附图说明】
[0018] 图1为表示本发明的防尘薄膜组件收纳容器的概要的平面图。
[0019] 图2为表示本发明的防尘薄膜组件收纳容器的概要的沿图1的AA线的截面图。
[0020] 图3为表示本发明的防尘薄膜组件收纳容器的概要的图1的BB线的截面图。
[0021] 图4为表示本发明的防尘薄膜组件收纳容器的盖体撤掉后的平面图。
[0022] 图5为表示本发明的防尘薄膜组件收纳容器的斜视图。
【具体实施方式】
[0023] 以下，对本发明的一实施方式参照附图进行详细说明，但是本发明并不限于此。
[0024] 本发明，适用于所有的具有随时间的经过而发生的尺寸变化，从而内部的清洁度 降低的问题的防尘薄膜组件收纳容器，特别是，最适用于收纳边长为超过1000mm的极大型 的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。
[0025]本发明的防尘薄膜组件收纳容器10,由防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12构 成。防尘薄膜组件收纳容器本体11，对防尘薄膜组件20进行载置，盖体12,与防尘薄膜组件 收纳容器本体11在周缘部嵌合，密闭，使防尘薄膜组件20不受外部的灰尘侵害。再者，在防 尘薄膜组件收纳容器本体11上被载置的防尘薄膜组件20,通过由插入在框架侧面设置的非 贯通的孔(未图示）中的针13和支持所述针的针支持装置14构成的固定装置，被在防尘薄膜 组件收纳容器本体11上固定。
[0026]本发明的防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12的材料为，在JISK7209(A法， 24h，材料厚3mm)的测定方法中，吸水率0.2%以下的树脂材料。吸水为树脂材料的分子的网 目有水分侵入现象，吸水率超过〇. 2 %会特别使尺寸变化，不好。作为满足所述的吸水率的 条件的树脂材料，有硬质PVC，PE，PP，PC等。再者，即使ABS等吸水率的大的材料，可以通过将 填料混入的方法使其吸水率降低。
[0027] 再者，所述材料，由于其吸水率要长期保持在低水平，由此更优选在JISK7209(A 法，材料厚3mm)的测定方法中，30日经过后其吸水率为0.5%以下的树脂材料。防尘薄膜组 件收纳容器，由于会在湿度高的环境下被使用，因此不管使用吸水性多么低的材料，吸水本 身是不可避免的。所以防尘薄膜组件收纳容器制造之后，随时间的经过，吸水也在同时进 行，所以尘薄膜组件收纳容器，会在水分量为几乎为饱和的状态下被使用。所述饱和状态的 吸水率低，且与初期的吸水率的差越小，尺寸安定性越高。一般，以30日经过后，具有0.5 % 以下的吸水率为好。作为满足这一条件的树脂材料，与上述同样，可以例举硬质PVC，PE，PP， PC等。
[0028] 使用所述材料的防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12为将厚度2~8mm的树 脂板进行真空成形或者压空成形而制作的，这从品质以及成本点来看良好。
[0029] 作为防尘薄膜组件收纳容器10的随时间的经过而发生的尺寸变化的原因，有各种 各样，其中，防尘薄膜组件收纳容器10中用的材料的吸水率随时间的经过而发生的尺寸变 化的影响为大，如果使用满足本发明的条件的树脂材料的话，随时间的经过而发生的尺寸 变化就可以大幅度地减少。其结果，在长期维持以防尘薄膜组件收纳容器的嵌合状态以及 防尘薄膜组件的固定状态不发生变化同时，可以保持防尘薄膜组件收纳容器内的清洁度， 在实用上可以没有问题地作为防尘薄膜组件收纳容器，来使收纳的防尘薄膜组件的品质优 良。
[0030] 作为本发明的树脂材料，除了其吸水率在上述范围内，为了减少异物附着，还优选 在树脂中混炼进带电防止成分，或在其表面进行防带电涂装等，由此使其具有带电防止性 能。还优选加入卤素化合物等的难燃剂使其具有难燃性，或者使用本事具有难燃性的树脂。
[0031] 如本发明，在至少一个边长为超过1000mm的本发明的防尘薄膜组件收纳容器的场 合，可燃物的容积以及重量大，所以材料具有难燃性在安全上是一大优点。作为满足这些的 条件的良好的树脂，可以例举PC，无机填料混入的PVC以及ABS等。
[0032] 再者，在防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12中，根据需要，也可以设置肋筋 等的补强构造，也可以设置金属或者树脂制的补强装置，以及处理把手，以及对盖体进行固 定的扣环等。
[0033] 进一步，在防尘薄膜组件边长为超过1500mm的极大型的场合，防尘薄膜组件收纳 容器特别要求具有刚性，因此特别优选仅盖体12用树脂制成，防尘薄膜组件收纳容器本体 11用金属制成。防尘薄膜组件收纳容器本体11为金属制的场合，可使用铝合金，镁合金等的 轻量材料，但是也可以使用钢，不锈钢等的高刚性材料。
[0034] 作为所述场合的成形加工方法，可以在使用薄板弯曲加工，压缩成模，溶接等的造 形的方法之外，也可以使用铸造。其表面，为了防锈，防止发生灰尘，优选进行涂装，特别是， 赋予带电防止性能，此外，为了提高附着异物的可认识性，以黑色为优选。
[0035]作为在防尘薄膜组件收纳容器本体11中将防尘薄膜组件20固定的的固定装置，可 以使用公知的各种各样的方法。在图4所示的实施方式中，防尘薄膜组件收纳容器本体11上 设置针支持装置14,进而将其支持的针13插入防尘薄膜组件框架侧面中设置的非贯通的孔 (未图示），由此将防尘薄膜组件20固定，也可以使用他的公知的方法。
[0036] 再者，在图4所示的实施方式中，防尘薄膜组件框架21的下端面上设置有掩模粘着 层22,在其下安装保护掩模粘着层22的分离片23,为了不使掩模粘着层22与防尘薄膜组件 收纳容器本体11接触，也可以将防尘薄膜组件框架21的支持装置等单独设置，将分离片省 略。
[0037] 实施例
[0038] 以下，对本发明的实施例进行详细说明。
[0039] 实施例中，首先，将防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12用厚度5mm的PC(聚碳 酸脂)板，真空成形制造，在该真空成形之前，从所述聚碳酸脂板切出60x60mm的样板，将片 面切削使厚度为3mm，按照JIS K7209(A法，24h)，对24h后的吸水率进行测定，其值为 0.15 %。再者，进一步，对30日后的吸水率进行测定，其值为0.34 %。
[0040] 真空成形后的防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12,其周围用数控机床进行切 削加工来完成，其表面进行带电防止涂料(商品名：塞部路吉大（七一夕'')，信越聚合 物株式会社制）的涂布，使其硬化。再者，在防尘薄膜组件收纳容器本体11上，将针支持装置 13从外面用螺栓固定（未图示）。如此制作的防尘薄膜组件收纳容器10的尺寸为，外尺寸 1100xl280x高度120mm。另外，防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12的嵌合部，调整为各 边间隙都为0.3~0.5mm。
[0041] 另一方面，本发明的防尘薄膜组件收纳容器10中收纳的防尘薄膜组件20为如下的 规格。即，防尘薄膜组件框架21为，将A5052铝合金进行机械切削加工而成，其尺寸为外尺寸 910x1130mm，内尺寸890x1110mm，高度5.8mm，其表面进行黑色氧化膜处理。再者，各长边的 中央附近，设置直径1.5mm的通气孔4处(未图示），各边的角部附近，设置直径2.5mm的非贯 通的夹具孔(未图示）。
[0042] 然后，所述防尘薄膜组件框架21的下面，作为掩模粘着层22,用有机硅粘着剂(商 品名；KR - 3700,信越化学工业株式会社)形成厚度1.3mm，其表面，涂布离型剂形成PET薄 膜，从而构成分离片23。再者，防尘薄膜组件框架21侧面的通气孔具有PTFE多孔质膜制的过 滤器，将其用丙烯酸粘着剂贴附（未图示）。进一步，防尘薄膜组件框架21的上端面，作为防 尘膜接着层24，涂布有机硅粘着剂(商品名;KR-3700，信越化学工业株式会社），其上，将氟 树脂(商品名;CYT0P，旭硝子株式会社)构成的厚度4.5wii的防尘膜25绷紧设置。
[0043]对如此制作防尘薄膜组件20进行异物检查，用针13和针支持装置14将其在防尘薄 膜组件收纳容器本体11固定，将盖体12盖上密闭。其后，嵌合部周围用PVC制粘着胶带密封， 在带电防止聚乙烯制的袋中捆包。另外，将防尘薄膜组件20收纳时，将防尘薄膜组件收纳容 器10在10级无尘室内中用表面活性剂和纯水进行良好洗净，干燥。
[0044] 最后，将如此的收纳有防尘薄膜组件20的防尘薄膜组件收纳容器10搬入室温22~ 28 °C，湿度30~55 %的范围的空调室内，静置保管1年。
[0045] 然后，1年后，将所述防尘薄膜组件收纳容器10搬入10级的无尘室，开捆对内部的 状况进行确认，防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12的嵌合状态没有特别问题，可以顺 利的开闭。再者，将嵌合部周边用卤素灯照射，进行目视观察，没有发现特别厉害的划擦的 痕迹。进一步，在对收纳密封防尘薄膜组件20的异物进行检查，完全没有发现附着异物以及 损伤，保持在正常的状态。
[0046] 比较例
[0047] 比较例中，首先，与实施例完全同样，进行防尘薄膜组件收纳容器的制造。该比较 例，在防尘薄膜组件收纳容器本体的材料为厚度5mm的ABS树脂，盖体为厚度5mm的PMMA树脂 的点上与实施例不同。另外，成形使用的模具，根据各材料的热膨胀率进行尺寸的微调整， 使防尘薄膜组件收纳容器本体和盖体的间隙为各边〇. 3~0.5_。
[0048] 然后，所述比较例的防尘薄膜组件收纳容器，也以与上述实施例相同的方法进行1 年保管试验。即，在防尘薄膜组件收纳容器本体和盖体的成形前，所述材料的吸水率按JIS K7209(A法)进行测定，防尘薄膜组件收纳容器本体使用的ABS树脂，24h后为0.3%，30日后 为0.8%。另一方面，盖体中使用的丙烯酸树脂，24h后为0.3%，30日后为1.6%。
[0049] 然后，对与实施例相同的规格的防尘薄膜组件进行异物检查，将该防尘薄膜组件 用针和针支持装置在防尘薄膜组件收纳容器本体上固定，盖体密闭。然后，将嵌合部周围用 PVC制粘着胶带密封，用带电防止聚乙烯制袋捆包。另外，在防尘薄膜组件20的收纳时，防尘 薄膜组件收纳容器10搬入10级的无尘室内，用表面活性剂和纯水进行良好的洗净，干燥密 封。然后，将所述防尘薄膜组件收纳容器，搬入与实施例相同的室温22~28°C，湿度30~ 55%的范围的空调室中，1年静置保管。
[0050] 然后，1年后，所述捆包体搬入10级的无尘室中，开捆对内部的状况进行确认，得知 盖体和防尘薄膜组件收纳容器本体的嵌合变紧。再者，盖体，其一部变形，周围密封的粘着 胶带有剥离，防尘薄膜组件收纳容器本体有若干翘起。然后，将卸下的密封盖体的尺寸进行 确认，长边方向有约5mm，短边方向有约4mm的伸长。防尘薄膜组件收纳容器本体，长边方向 上有约1.5mm，短边方向上也有约1.5mm的伸长。
[0051 ]再者，对收纳密封防尘薄膜组件20的异物进行检查，膜面中q>3 ~ 5pm的异物多， cplO~20叫1的异物为5个，这是由于防尘薄膜组件收纳容器本体和盖体的嵌合变差，防尘 薄膜组件收纳容器内外通气，从而内部被污染。再者，针插入的防尘薄膜组件框架的夹具孔 周缘部也有多的粉尘附着，这是由于防尘薄膜组件收纳容器本体的尺寸变化，针的嵌合位 置脱略和防尘薄膜组件框架产生划擦而产生的。
[0052]符号的说明
[0053] 10防尘薄膜组件收纳容器
[0054] 11防尘薄膜组件收纳容器本体
[0055] 12 盖体
[0056] 13 针
[0057] 14针支持装置
[0058] 20防尘薄膜组件
[0059] 21防尘薄膜组件框架
[0060] 22掩模粘着层 [0061 ] 23分离片
[0062] 24防尘膜接着层
[0063] 25防尘膜
【主权项】
1. 一种收纳至少一个的边长为超过1000 mm的矩形的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收 纳容器，其特征在于：由载置所述防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在其周缘 部嵌合而密闭的盖体形成，所述防尘薄膜组件收纳容器本体和盖体由吸水率在以JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h的方法测定时为0.2 %以下的树脂材料来构成。2. -种收纳至少一个的边长超过1000 mm的矩形的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳 容器，其特征在于：由载置所述防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在其周缘部 嵌合而密闭的盖体来形成，所述防尘薄膜组件收纳容器本体由金属材料构成，所述盖体由 在JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h的方法测定的吸水率为0.2%以下的树脂材料构成。3. 根据权利1或2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述树脂材料在30日经 过后的用JIS K7209，A法，材料厚3mm的方法测定的吸水率为0.5%以下。
【文档编号】B65D1/00GK105883122SQ201610076428
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年2月3日
【发明人】关原敏, 关原一敏
【申请人】信越化学工业株式会社