金属掩模片供给系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种金属掩模片供给系统，能够自动供给金属掩模片而不使其损伤。该金属掩模片供给系统具备：配置部（10），配置片盒，其中，金属掩模片（4）和保护所述金属掩模片的保护片交替层叠地收纳于所述片盒；分离装置（12），通过在隔着所述配置部的位置沿所述配置部的延伸方向所设置的至少一对磁浮子，使配置于所述配置部的所述片盒所收纳的所述金属掩模片一张张地分离；及搬运装置，保持由所述分离装置分离的所述金属掩模片中位于最上部的所述金属掩模片并搬运给其他装置。
【专利说明】金属掩模片供给系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种金属掩模片供给系统，将重叠地收纳于片盒中的金属掩模片一张张地分离，并搬运给其他装置。
【背景技术】
[0002]以往，已知有在有机EL元件的制造工序中进行真空蒸镀时使用的金属掩模的制造方法(例如参照专利文献I)。
[0003]专利文献1:日本特开2004 - 218034号公报
【发明内容】
[0004]发明所要解决的课题
[0005]然而，一般而言，在金属掩模的制造线上，通过手动作业来进行金属掩模片的供给处理。但是，金属掩模片是非常薄而容易损伤的部件，所以在通过手动作业进行金属掩模片的供给的情况下，在供给时有可能会因人为作业失误而导致金属掩模片损伤。
[0006]本发明的目的在于提供一种能够自动供给金属掩模片而不使其损伤的金属掩模片供给系统。
[0007]用于解决课题的方法
[0008]本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，具备:配置部，配置片盒，其中，金属掩模片和保护所述金属掩模片的保护片交替层叠地收纳于所述片盒；分离装置，通过在隔着所述配置部的位置沿所述配置部的延伸方向所设置的至少一对磁浮子，使配置于所述配置部的所述片盒所收纳的所述金属掩模片一张张地分离；以及搬运装置，保持由所述分离装置分离的所述金属掩模片中位于最上部的所述金属掩模片并搬运给其他装置。
[0009]另外，本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，具备废弃装置，该废弃装置在位于最上部的所述金属掩模片被搬运之后使所述保护片中位于最上部的保护片移动到规定的废弃场所。
[0010]另外，本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，所述搬运装置具备通过电磁力或真空吸附来保持所述金属掩模片的保持部。
[0011]另外，本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，具备移动装置，该移动装置在所述分离装置使所述金属掩模片一张张地分离时使所述磁浮子接近所述片盒。
[0012]另外，本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，使用所述金属掩模片制造的金属掩模用于有机EL元件、半导体元件、印刷基板以及液晶显示元件的任一个的制造工序中。
[0013]发明效果
[0014]根据本发明的金属掩模片供给系统，能够自动供给金属掩模片而不使其损伤。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是从上侧观察实施方式的金属掩模片供给系统的图。
[0016]图2是表示实施方式的片盒中所收纳的金属掩模片以及保护片的立体图。
[0017]图3是表示实施方式的分离装置以及使用分离装置而分离的金属掩模片的立体图。
[0018]图4是表示实施方式的分离装置以及使用分离装置而分离的金属掩模片的图。
[0019]图5是表示由实施方式的金属掩模的制造线所制造的金属掩模的图。
【具体实施方式】
[0020]以下，参照附图，以将金属掩模片提供给检查装置的情况为例来说明本发明的实施方式的金属掩模片供给系统。
[0021]图1是从上侧观察实施方式的金属掩模片供给系统的图。如图1所示，金属掩模片供给系统2具备:具有矩形形状的平面的盒口 8 ;及将金属掩模片4搬运给检查装置的未图示的搬运机器人。
[0022]盒口 8具备:沿盒口 8的一边延伸的矩形形状的片盒载置空间10 ;利用磁力使金属掩模片4 一张张地分离的分离装置12 ;将保护片20 (参照图2)废弃的片废弃机器人14 ；及载置收纳被废弃的保护片20的保护片废弃盒16的废弃空间18。
[0023]在此，金属掩模片4由一方向较长的带状的金属薄板构成，沿长度方向具有多个矩形形状的开口部4a。另外，金属掩模片4的厚度为30?70 μ m左右。另外，片盒6如图2 (a)所示具备长方体形状的框体6a，在框体6a的内部，如图2 (b)所示，金属掩模片4和防止金属掩模片4的损伤的保护片20交替地层叠。在此，保护片20形成为其长边方向的长度和短边方向的宽度分别比金属掩模片4大Imm左右，以使金属掩模片4彼此不直接接触。另外，保护片20由无通气性的薄膜等部件构成。
[0024]另外，分离装置12具备隔着片盒载置空间10而彼此相向地配置的磁浮子12a、12b，这些磁浮子12a、12b沿片盒载置空间10的延伸方向配置有多个。
[0025]另外，搬运机器人具备利用电磁力来吸附保持金属掩模片4的、一方向较长的带状的电磁铁垫(未图示)。另外，废弃机器人14具备利用空气吸附力来吸附保持保护片20的、一方向较长的带状的气垫14a。
[0026]图3是表示分离装置12以及使用分离装置12来分离的金属掩模片4的立体图。另外，在图3中，片盒6的图示省略。如图3所示，磁浮子12a在金属掩模片4所在的一侧的面上具备多个沿铅垂方向延伸的带状的磁体21。同样地，磁浮子12b在金属掩模片4所在的一侧的面上具备多个沿铅垂方向延伸的带状的磁体(未图示)。因此，金属掩模片4通过从磁浮子12a所具有的磁体21以及磁浮子12b所具有的磁体作用的磁力而被一张张地分离。另外，关于具体地如何分离金属掩模片4在后面论述。
[0027]接着，参照附图，说明使用实施方式的金属掩模片供给系统2将金属掩模片4自动提供给检查装置的处理。
[0028]首先，如图1所示，所搬入的片盒6被载置于片盒载置空间10中。此时，磁浮子12a以及磁浮子12b如图4 (a)所示，退避到磁体的磁力波及不到的退避位置。接着，金属掩模片供给系统2的未图示的控制部如图4 (b)所示，通过未图示的移动装置，使磁浮子12a以及磁浮子12b分别向片盒6所在的方向移动，使磁浮子12a、12b接近片盒6。
[0029]若磁浮子12a、12b接近片盒6，则通过磁浮子12a所具有的磁体21以及磁浮子12b所具有的磁体，对重叠地收纳于片盒6中的金属掩模片4作用磁力，使金属掩模片4磁化。并且，通过磁化作用，金属掩模片4彼此间磁排斥而分离(参照图3)，如图4 (b)所示，一张张地剥离而向铅垂方向浮起。
[0030]接着，搬运机器人通过未图示的搬运臂使电磁铁垫移动到最上部的金属掩模片4b之上后(参照图4(b)),对电磁铁垫通规定的电流而产生电磁力，使金属掩模片4b吸附于电磁铁垫上。接着，搬运机器人通过搬运臂14b而使吸附于电磁铁垫上的金属掩模片4移动到检查装置。金属掩模片4在从电磁铁垫被释放而置于检查装置后，接受规定的检查。
[0031]接着，废弃机器人14通过臂14b (参照图1)，使气垫14a移动到片盒6的内部所残留的最上部的保护片20之上。接着，使保护片20真空吸附并保持于气垫14a上，并废弃于废弃盒16中。另外，保护片20由无通气性的部件构成，所以真空吸附时保护片20下侧的金属掩模片不会被吸附。
[0032]金属掩模片供给系统2反复进行以上的处理，从而依次将片盒6的内部的金属掩模片4搬运到检查装置中。在检查装置中接受规定的检查，检查合格的金属掩模片如图5所示贴附于金属掩模框22上，从而制得金属掩模24。金属掩模24在有机EL元件的制造工序中进行真空蒸镀时使用。
[0033]根据该实施方式的金属掩模片供给系统2，能够防止供给处理中的人为作业失误的发生，所以能够自动供给金属掩模片而不使其损伤或折弯。另外，通过使供给处理自动化，能够实现金属掩模的制造线的全自动化。另外，金属掩模片4在由保护片20保护的状态下被收纳于片盒6中，所以在搬入片盒6时或将片盒6载置于片盒载置空间10中时等不会因冲击等而造成损伤。因此，能够减少因损伤而废弃的金属掩模片4的数量。
[0034]另外，由于将多个分离装置12沿片盒载置空间10的延伸方向配置，所以能够在磁力作用于金属掩模片4而使其浮起时不会造成金属掩模片4扭转。另外，由于利用电磁力来使金属掩模片4吸附于电磁铁垫上，所以即使金属掩模片4具有开口部4a，也能够准确地进行保持。
[0035]另外,在上述的实施方式中，以一个盒口 8具有一个片盒载置空间10的情况为例进行了说明，但是一个盒口 8也可以具有多个片盒载置空间10。由此，在金属掩模的制造线的规模大的情况下，能够将多个片盒6配置于盒口 8中。
[0036]另外，在上述的实施方式中，也可以是，能够根据片盒6的宽度来适当调节磁浮子12a以及磁浮子12b的退避位置、接近位置。
[0037]另外，在上述实施方式中，搬运机器人可以具有气垫来代替电磁铁垫，从而将金属掩模片4真空吸附于气垫上。
[0038]另外，在上述实施方式中，以将金属掩模片4提供给检查装置的情况为例进行了说明，但是金属掩模片4也可以提供给检查装置以外的其他装置。
[0039]另外，在上述实施方式中，以金属掩模24用于有机EL元件的制造工序中的情况为例进行了说明，但是金属掩模24也可以用于半导体元件、印刷基板、液晶显示元件等的制造工序中。
[0040]附图标记说明
[0041]2金属掩模片供给系统
[0042]4金属掩模片
[0043]6 片盒
[0044]8 盒口
[0045]10片盒载置空间
[0046]12分离装置
[0047]12a、12b 磁浮子
[0048]14片废弃机器人
[0049]16保护片废弃盒
[0050]18废弃空间
[0051]20保护片
【权利要求】
1.一种金属掩模片供给系统，其特征在于，具备: 配置部，配置片盒，其中，金属掩模片和保护所述金属掩模片的保护片交替层叠地收纳于所述片盒； 分离装置，通过在隔着所述配置部的位置沿所述配置部的延伸方向所设置的至少一对磁浮子，使配置于所述配置部的所述片盒所收纳的所述金属掩模片一张张地分离；以及 搬运装置，保持由所述分离装置分离的所述金属掩模片中位于最上部的所述金属掩模片并搬运给其他装置。
2.根据权利要求1所述的金属掩模片供给系统，其特征在于， 具备废弃装置，该废弃装置在位于最上部的所述金属掩模片被搬运之后使所述保护片中位于最上部的保护片移动到规定的废弃场所。
3.根据权利要求1或2所述的金属掩模片供给系统，其特征在于， 所述搬运装置具备通过电磁力或真空吸附来保持所述金属掩模片的保持部。
4.根据权利要求1?3中任一项所述的金属掩模片供给系统,其特征在于， 具备移动装置，该移动装置在所述分离装置使所述金属掩模片一张张地分离时使所述磁浮子接近所述片盒。
5.根据权利要求1?4中任一项所述的金属掩模片供给系统,其特征在于， 使用所述金属掩模片制造的金属掩模用于有机EL元件、半导体元件、印刷基板以及液晶显示元件的任一个的制造工序中。
【文档编号】B65H3/16GK104139996SQ201310450189
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2013年9月25日 优先权日:2013年5月8日
【发明者】滨砂智训 申请人:新东超精密有限公司