一种硅片分选仪的上料机构的制作方法

文档序号:11599865阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片分选仪的上料机构,包括由多块连接于两根立柱(1)之间的平板(8)组成的插片盒架,相邻的两块平板(8)之间为插片盒槽(10),所述插片盒槽(10)出料口设置有插片盒挡块(9),其特征在于:所述插片盒槽(10)进料口后方设置有推送机构。

2.如权利要求1所述的一种硅片分选仪的上料机构,其特征在于:所述插片盒槽(10)出料口到进料口的距离小于插片盒的深度;所述推送机构包括两根内端分别转动连接于插片盒架顶端和底端的水平的导向臂(3),以及设置插片盒槽(10)进料口后方的纵向的推送杆(5),所述推送杆(5)上下两端分别连接有水平的滑轨,所述导向臂(3)外端分别固定连接有导向块(4),所述导向块(4)上设置有与导向臂(3)平行的导向槽,所述滑轨滑动连接于导向槽。

3.如权利要求2所述的一种硅片分选仪的上料机构,其特征在于:所述推送杆(5)在每个插片盒槽(10)进料口后方分别连接有推板(6)。

4.如权利要求2所述的一种硅片分选仪的上料机构,其特征在于:所述插片盒架顶端和底端分别固定连接有铁磁材料制成的L形的连接架(2),所述导向臂(3)内端转动连接于连接架(2)水平部内壁,所述滑轨前端设置有磁铁(7),当推送杆(5)将插片盒推至前端顶住插片盒挡块(9)时,磁铁(7)吸附连接架(2)竖直部。

5.如权利要求4所述的一种硅片分选仪的上料机构,其特征在于:所述磁铁(7)与连接架(2)竖直部之间留有间隙。

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