一种掩模板搬运设备及曝光机组系统的制作方法
【专利摘要】本发明涉及显示装置制作技术领域，公开了一种掩模板搬运设备及曝光机组系统，以提高掩模板的搬运效率，减少掩模板在搬运过程中的损坏或污染。掩模板搬运设备包括：掩模板存储装置、运输装置、第一取放装置和第二取放装置；运输装置包括轨道和滑动装配在轨道上的掩模板运载装置；第一取放装置用于在掩模板存储装置与掩模板运载装置之间取放掩模板；对应掩模板曝光机组系统每一个曝光机所分别设置的第二取放装置用于在掩模板运载装置与曝光机的掩模板缓存装置之间取放掩模板。
【专利说明】
一种掩模板搬运设备及曝光机组系统
技术领域
[0001]本发明涉及显示装置制作技术领域，特别涉及一种掩模板搬运设备及曝光机组系统。
【背景技术】
[0002]在薄膜晶体管液晶显示器及有机发光二极管显示器的制造过程中，使用掩模板进行掩模曝光是非常重要的核心工艺，它既是决定产品品质的重要环节，也是影响产品良率的关键部分。
[0003]现有技术中，掩模板存放于掩模板存储区，当需要使用掩模板时，人工将掩模板搬运至曝光机的掩模板缓存区。目前，曝光机的掩模板缓存区只能缓存五张掩模板。
[0004]现有技术存在的缺陷在于，当生产量较大、产品型号较多，或者需要进行生产管理调控时，需要耗费大量的人力来搬运掩模板，劳动力成本较高;此外，人工搬运掩模板也难以保障掩模板的完整度和清洁度。
【发明内容】
[0005]本发明提供了一种掩模板搬运设备及曝光机组系统，以提高掩模板的搬运效率，减少掩模板在搬运过程中的损坏或污染。
[0006]为达到上述目的，本发明提供以下技术方案:
[0007]—种掩模板搬运设备，包括:
[0008]掩模板存储装置；
[0009]运输装置，包括轨道和滑动装配在所述轨道上的掩模板运载装置；
[0010]第一取放装置，用于在掩模板存储装置与掩模板运载装置之间取放掩模板；
[0011 ]对应掩模板曝光机组系统每一个曝光机所分别设置的第二取放装置，用于在掩模板运载装置与曝光机的掩模板缓存装置之间取放掩模板。
[0012]本发明提供的掩模板搬运设备中，第一取放装置从掩模板存储装置中取出所需的掩模板，放置在掩模板运载装置上并沿轨道运载到目标曝光机对应的第二取放装置处，该第二取放装置从掩模板运载装置中取出所需掩模板并放置到所述目标曝光机中，完成整个掩模板的搬运过程。本发明提供的掩模板搬运设备有效地节约了人力成本，提高掩模板的搬运效率，并且减少掩模板在搬运过程中的损坏或污染。
[0013]优选地，该掩模板搬运设备还包括与掩模板运载装置、第一取放装置和第二取放装置分别连接的控制器，用于控制掩模板运载装置在所述轨道上滑动，及控制第一取放装置和第二取放装置的取放工作状态。
[0014]优选地，所述掩模板存储装置包括多个掩模板存储腔以及用于检测所述多个掩模板存储腔的掩模板存储信息的第一检测装置;每个曝光机的掩模板缓存装置包括至少一个掩模板缓存腔以及用于检测所述至少一个掩模板缓存腔的掩模板存储信息的第二检测装置;所述控制器，还与第一检测装置和第二检测装置连接，用于根据所述多个掩模板存储腔的掩模板存储信息和所述至少一个掩模板缓存腔的掩模板存储信息，控制第一取放装置和第二取放装置取放掩模板;其中，所述掩模板存储信息包括掩模板型号信号和/或存储位置?目息O
[0015]优选地，所述第一检测装置包括与所述多个掩模板存储腔对应设置的多个第一检测单元，所述第二检测装置包括与所述至少一个掩模板缓存腔对应设置的多个第一检测单
J L ο
[0016]优选地，所述第一检测单元包括红外摄像头、扫描仪或压力传感器;所述第二检测单元包括红外摄像头、扫描仪或压力传感器。
[0017]优选地，所述轨道为磁悬浮轨道。
[0018]优选地，所述轨道包括上层轨道和下层轨道，所述上层轨道和下层轨道上分别滑动装配有掩模板运载装置。
[0019]优选地，所述第一取放装置为机械手臂，所述第二取放装置为机械手臂。
[0020]优选地，该掩模板搬运设备还包括包覆于所述运输装置外的壳体，所述壳体在所述第一取放装置和所述第二取放装置处对应设置有活动门。
[0021]本发明还提供了一种掩模板曝光机组系统，该掩模板曝光机组系统包括至少一台曝光机，以及如上所述的掩模板搬运设备。
[0022]本发明提供的掩模板曝光机组系统包括至少一台曝光机，以及如上所述的掩模板搬运设备，该曝光机组系统可以在显示装置制作的光刻工艺中，不依赖人工实时自动完成掩模板的搬运、调度和更换，保证显示装置的制作过程方便快捷地进行。
【附图说明】
[0023]图1为本发明一种实施例提供的掩模板搬运设备的结构示意图；
[0024]图2为本发明设置有壳体的运输装置结构示意图；
[0025]图3为本发明一种优选实施例提供的掩模板搬运设备的结构示意图；
[0026]图4为本发明一种实施例提供的掩模板曝光机组系统的结构示意图。
[0027]附图标记:
[0028]1-掩模板存储装置
[0029]2-运输装置
[0030]201-轨道
[0031]2011-上层轨道
[0032]2012-下层轨道
[0033]202-掩模板运载装置
[0034]203-壳体
[0035]301-第一取放装置
[0036]302-第二取放装置
[0037]4-控制器
[0038]5-掩模板缓存装置
[0039]601-第一检测装置
[0040]602-第二检测装置[0041 ] 7-曝光机
【具体实施方式】
[0042]为提高掩模板的搬运效率，减少掩模板在搬运过程中的损坏或污染。本发明实施例提供了一种掩模板搬运设备和曝光机组系统。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。
[0043]参考图1，本发明一种实施例提供的掩模板搬运设备，包括:
[0044]掩模板存储装置I；
[0045]运输装置2，包括轨道201和滑动装配在轨道201上的掩模板运载装置202;
[0046]第一取放装置301，用于在掩模板存储装置I与掩模板运载装置202之间取放掩模板；
[0047]对应掩模板曝光机组系统每一个曝光机所分别设置的第二取放装置302，用于在掩模板运载装置202与曝光机的掩模板缓存装置5之间取放掩模板。
[0048]本发明提供的掩模板搬运设备中，第一取放装置301从掩模板存储装置I中取出所需的掩模板，放置在掩模板运载装置202上并沿轨道201运载到目标曝光机对应的第二取放装置302，该第二取放装置302从掩模板运载装置202中取出所需掩模板并放置到目标曝光机的掩模板缓存装置5中，完成整个掩模板的搬运过程。本发明提供的掩模板搬运设备有效地节约了人力成本，提高掩模板的搬运效率，并且减少掩模板在搬运过程中的损坏或污染。
[0049]优选地，轨道201采用磁悬浮轨道，磁悬浮轨道可以减少摩擦，同时运输掩模板也更为平稳。如图2所示，轨道201优选包括上层轨道2011和下层轨道2012。上下双层的轨道设置可以同时进行多块掩模板的搬运，并且可以实现掩膜板的交换运输。掩模板运载装置202的宽度与轨道201宽度相匹配，且在掩模板运载装置202的边缘设置用于放置掩模板滑动的销柱或挡件。更优选地该掩模板搬运设备还包括包覆于运输装置2外的壳体203，壳体203在第一取放装置301和第二取放装置302处对应设置有活动门。包覆式设置的壳体203可以有效避免外界灰尘等污染掩模板，活动门在第一取放装置301或第二取放装置302工作时打开，平时处于关闭状态。
[0050]取放装置包括机械手臂、活动托盘和货叉等，本发明对第一取放装置301和第二取放装置302不做具体限定，只要能够实现取放和移动掩模板即可，本发明的第一取放装置301和第二取放装置302优选采用机械手臂，目前的机械手臂功能十分完善，可以很好地胜任掩模板的取放工作。
[0051]在本发明掩模板搬运设备的一个优选地实施例中，如图3所示，该掩模板搬运设备还包括与掩模板运载装置202、第一取放装置301和第二取放装置302分别连接的控制器4，该控制器4用于控制掩模板运载装置202在轨道201上滑动，及控制第一取放装置301和第二取放装置302的取放工作状态。控制器4的设置用于实现掩膜板搬运过程中的自动化控制，当掩模板搬运开始时，控制器4控制第一取放装置301将掩模板从掩模板存储装置I中搬运到掩模板运载装置202中，然后控制器4再控制掩模板运载装置202在轨道201上滑动到目标曝光机的位置，最后控制器4控制目标曝光机对应的第二取放装置302将掩模板从掩模板运载装置202中搬运至目标曝光机的掩模板缓存装置5中。当然，控制器4也可以控制实现以下过程:将掩模板从曝光机的掩模板缓存装置5中搬运至掩模板运载装置202中，然后运载放置至掩模板存储装置I或另一曝光机的掩模板缓存装置5中。
[0052]进一步地，如图4所示，掩模板存储装置I包括多个掩模板存储腔以及用于检测所述多个掩模板存储腔的掩模板存储信息的第一检测装置601;每个曝光机的掩模板缓存装置5包括至少一个掩模板缓存腔以及用于检测至少一个掩模板缓存腔的掩模板存储信息的第二检测装置602;控制器4还与第一检测装置601和第二检测装置602连接，用于根据多个掩模板存储腔的掩模板存储信息和至少一个掩模板缓存腔的掩模板存储信息，控制第一取放装置和第二取放装置取放掩模板;其中，掩模板存储信息包括掩模板型号信号和存储位置信息中的一种或多种，优选掩模板存储信息包括掩模板型号信号和存储位置信息。即第一检测装置601可以检测搜集掩模板存储装置I中每一个掩模板存储腔中是否放置有掩模板以及所放置的掩模板型号信息，并将这些信息发送给控制器4;第二检测装置602可以检测搜集对应的掩模板缓存装置5中每一个掩模板存储腔中是否放置有掩模板以及所放置的掩模板型号信息，并将这些信息发送给控制器4;第一检测装置601和第二检测装置602的设置用于实现控制器4对掩模板的精确搬运。优选地第一检测装置601包括与多个掩模板存储腔对应设置的多个第一检测单元，第二检测装置602包括与至少一个掩模板缓存腔对应设置的多个第一检测单元。检测单元与掩模板存储腔或掩模板缓存腔的一一对应设置能够更精确地实现所需掩模板的搬运。能够实现对掩模板的位置和型号信息监测的检测单元包括红外摄像头、扫描仪或压力传感器等;本发明的第一检测单元和第二检测单元优选采用扫描仪。
[0053]本发明还公开了如图4所示的一种掩模板曝光机组系统的实施例，该掩模板曝光机组系统包括至少一台曝光机7，以及如上所述的掩模板搬运设备。曝光机7取用与的掩模板缓存装置5中的掩模板进行曝光工艺，当所需型号的掩模板在掩模板缓存装置5没有时，掩模板搬运设备开始运作从另外的掩模板缓存装置5或掩模板存储装置I中搬运所需型号的掩模板。该曝光机组系统可以在显示装置制作的光刻工艺中，不依赖人工实时自动完成掩模板的搬运、调度和更换，保证显示装置的制作过程方便快捷地进行。
[0054]显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种掩模板搬运设备，其特征在于，包括: 掩模板存储装置； 运输装置，包括轨道和滑动装配在所述轨道上的掩模板运载装置； 第一取放装置，用于在掩模板存储装置与掩模板运载装置之间取放掩模板； 对应掩模板曝光机组系统每一个曝光机所分别设置的第二取放装置，用于在掩模板运载装置与曝光机的掩模板缓存装置之间取放掩模板。2.根据权利要求1所述的掩模板搬运设备，其特征在于，还包括与掩模板运载装置、第一取放装置和第二取放装置分别连接的控制器，用于控制掩模板运载装置在所述轨道上滑动，及控制第一取放装置和第二取放装置的取放工作状态。3.根据权利要求2所述的掩模板搬运设备，其特征在于， 所述掩模板存储装置包括多个掩模板存储腔以及用于检测所述多个掩模板存储腔的掩模板存储信息的第一检测装置； 每个曝光机的掩模板缓存装置包括至少一个掩模板缓存腔以及用于检测所述至少一个掩模板缓存腔的掩模板存储信息的第二检测装置； 所述控制器，还与第一检测装置和第二检测装置连接，用于根据所述多个掩模板存储腔的掩模板存储信息和所述至少一个掩模板缓存腔的掩模板存储信息，控制第一取放装置和第二取放装置取放掩模板； 其中，所述掩模板存储信息包括掩模板型号信号和/或存储位置信息。4.根据权利要求3所述的掩模板搬运设备，其特征在于，所述第一检测装置包括与所述多个掩模板存储腔对应设置的多个第一检测单元，所述第二检测装置包括与所述至少一个掩模板缓存腔对应设置的多个第一检测单元。5.根据权利要求3所述的掩模板搬运设备，其特征在于，所述第一检测单元包括红外摄像头、扫描仪或压力传感器;所述第二检测单元包括红外摄像头、扫描仪或压力传感器。6.根据权利要求1所述的掩模板搬运设备，其特征在于，所述轨道为磁悬浮轨道。7.根据权利要求1所述的掩模板搬运设备，其特征在于，所述轨道包括上层轨道和下层轨道，所述上层轨道和下层轨道上分别滑动装配有掩模板运载装置。8.根据权利要求1所述的掩模板搬运设备，其特征在于，所述第一取放装置为机械手臂，所述第二取放装置为机械手臂。9.根据权利要求1所述的掩模板搬运设备，其特征在于，还包括包覆于所述运输装置外的壳体，所述壳体在所述第一取放装置和所述第二取放装置处对应设置有活动门。10.—种掩模板曝光机组系统，其特征在于，包括至少一台曝光机，以及如权利要求1?9中任一项所述的掩模板搬运设备。
【文档编号】B65G47/90GK106044229SQ201610587069
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年7月22日 公开号201610587069.8, CN 106044229 A, CN 106044229A, CN 201610587069, CN-A-106044229, CN106044229 A, CN106044229A, CN201610587069, CN201610587069.8
【发明人】钱宏伟, 孙增标, 王雷, 赵杰, 冯娜, 张昭强
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司