一种基板取放装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种基板取放装置，涉及基板搬运装置技术领域，为解决将基板从基板盒内取出时，因基板与基板盒之间发生碰撞或剐蹭而导致基板产生破损、划伤等现象的问题。所述基板取放装置包括支撑台、机械臂和机械手，其中，所述机械臂安装在所述支撑台上，所述机械臂可相对所述支撑台升降移动，且所述机械臂可伸长和缩短；所述机械手与所述机械臂可转动连接，所述机械手转动，带动基板盒内发生偏转的待取出的基板转动，使待取出的基板回归正常状态后，所述机械手取出待取出的基板，所述正常状态为待取出的基板未发生偏转时的状态。本实用新型提供的基板取放装置用于取放基板。
【专利说明】
一种基板取放装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及基板搬运装置技术领域，尤其涉及一种基板取放装置。
【背景技术】
[0002] 基板通常水平放置在基板盒中，以方便将基板运输到目的地。将基板运输到目的 地之后，通常需要将基板从基板盒内取出，以对基板进行后处理工序。
[0003] 目前，通常利用基板取放装置将基板从基板盒内取出，基板取放装置包括机械手， 当将基板从基板盒内取出时，先将机械手的基板叉齿伸到待取出的基板的下方，并使基板 叉齿承载待取出的基板，然后使机械手上升，基板叉齿带动待取出的基板上升，使待取出的 基板与基板盒内的支撑块分离，然后使基板叉齿移动，带动待取出的基板退出基板盒，实现 将待取出的基板从基板盒内取出。
[0004] 然而，将基板装载在基板盒内或者运输基板时，基板在基板盒内可能会发生水平 偏转，当采用上述基板取放装置将偏转的基板从基板盒取出时，偏转的基板与基板盒之间 会发生碰撞或剐蹭，导致基板产生破损、划伤等现象。 【实用新型内容】
[0005] 本实用新型的目的在于提供一种基板取放装置，用于解决将基板从基板盒内取出 时，因基板与基板盒之间发生碰撞或剐蹭而导致基板产生破损、划伤等现象的技术问题。
[0006] 为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
[0007] -种基板取放装置，包括支撑台、机械臂和机械手，其中，所述机械臂安装在所述 支撑台上，所述机械臂可相对所述支撑台升降移动，且所述机械臂可伸长和缩短;所述机械 手与所述机械臂可转动连接。
[0008] 当采用本实用新型提供的基板取放装置从基板盒内取出基板时，如果基板盒内的 待取出的基板在发生偏转，通过调整机械手，先使机械手朝向待取出的基板的偏转方向转 动，然后使机械手承载待取出的基板，然后使机械手逆向待取出的基板的偏转方向转动，带 动待取出的基板转动，使待取出的基板在基板盒内回归正常状态，即，使待取出的基板在基 板盒内回归至未发生偏转的状态，然后将基板从基板盒内取出，因此，可以防止将基板从基 板盒内取出时基板与基板盒发生碰撞或剐蹭，从而防止基板产生破损、划伤等现象。
【附图说明】
[0009] 此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部 分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的 不当限定。在附图中：
[0010] 图1为本实用新型实施例提供的基板取放装置的结构示意图；
[0011] 图2为本实用新型实施例提供的基板盒的结构示意图；
[0012]图3为机械手与待取出的基板的位置关系图一；
[0013] 图4为机械手与待取出的基板的位置关系图二；
[0014] 图5为机械手与待取出的基板的位置关系图三；
[0015] 图6为机械手与待取出的基板的位置关系图四。
[0016] 附图标记：
[0017] 100-基板取放装置， 10-支撑台，
[0018] 11-第一转轴， 20-机械臂，
[0019] 21-第一机械臂， 22-第二机械臂，
[0020] 23-第二转轴， 24-第三转轴，
[0021] 30-机械手， 31-支撑梁，
[0022] 32-基板叉齿， 33-距离传感器，
[0023] 34-真空吸附孔， 200-基板盒，
[0024] 210-基板隔腔， 220-支撑块。
【具体实施方式】
[0025] 为了进一步说明本实用新型实施例提供的基板取放装置，下面结合说明书附图进 行详细描述。
[0026]请参阅图1，本实用新型实施例提供的基板取放装置100包括支撑台10、机械臂20 和机械手30，其中，机械臂20安装在支撑台10上，机械臂20可相对支撑台10升降移动，且机 械臂20可伸长和缩短;机械手30与机械臂20可转动连接，机械手30转动，带动基板盒200内 发生偏转的待取出的基板转动，使待取出的基板回归正常状态后，机械手30取出待取出的 基板，正常状态为待取出的基板未发生偏转时的状态。
[0027] 具体实施时，本实用新型实施例提供的基板取放装置100包括支撑台10、机械臂20 和机械手30，机械臂20安装在支撑台10上，机械手30安装在机械臂20上;机械臂20可相对支 撑台10升降移动，即机械臂20可相对支撑台10沿图1中上下方向移动，机械臂20相对支撑台 10升降移动时，带动机械手30相对支撑台10升降移动;机械臂20可在水平面内伸长和缩短， 例如机械臂20可在水平面内沿图1中左右方向伸长和缩短，机械臂20在水平面内沿图1中左 右方向伸长和缩短时，带动机械手30沿图1中左右方向移动;机械手30与机械臂20可转动连 接，机械手30可相对机械臂20转动；如图2所示，基板盒200内具有贯通腔，贯通腔的相对的 两个腔壁上分别设置有一一对应的多对支撑块220,多对支撑块220将贯通腔分割为层叠设 置的多个基板隔腔210,每个基板隔腔210内可放置一个基板，支撑块220用于支撑基板，当 采用上述基板取放装置100从基板盒200内取出待取出的基板时，机械手30承载待取出的基 板，并带动待取出的基板退出基板盒200的基板隔腔210。
[0028] 当采用上述实施例提供的基板取放装置从基板盒200内取出待取出的基板时，可 以先调节机械臂20,使机械臂20带动机械手30相对支撑台10上升或下降，机械手30移动至 基板盒200与待取出的基板对应的基板隔腔210处，机械手30与基板隔腔210的开口相对，即 机械手30与待取出的基板朝向基板隔腔210的侧面相对，例如机械手30与图2中待取出的基 板的右侧面相对;然后根据待取出的基板在对应的基板隔腔210内发生水平偏转时的偏转 角度和偏转方向，调节机械手30,使机械手30相对机械臂20沿待取出的基板的偏转方向转 动，机械手30沿待取出的基板的偏振方向转动的角度与待取出的基板的偏转角度相同；然 后调节机械臂20,使机械臂20在水平面内伸长，使机械手30伸到待取出的基板的下方，并使 机械手30承载待取出的基板;然后调节机械臂20,使机械臂20带动机械手30相对支撑台10 上升，待取出的基板被机械手30抬起，并与基板盒200内的对应的支撑块220分离;然后调节 机械手30，使机械手30相对机械臂20沿待取出的基板的偏转方向的反方向转动，机械手30 沿待取出的基板的偏转方向的反方向转动的角度与待取出的基板的偏转角度相同，机械手 30带动待取出的基板回归正常状态，即待取出的基板呈未发生水平偏转的状态;然后调节 机械臂20,使机械臂20在水平面内缩短，机械臂20带动机械手30退出基板盒200的基板隔腔 210,从而将待取出的基板从基板盒200内取出。
[0029] 举例来说，当采用上述实施例提供的基板取放装置从基板盒200内取出待取出的 基板时，机械手30移动至基板盒200与待取出的基板对应的基板隔腔210处后，如图2所示， 建立三维直角坐标系，三维直角坐标系的X轴平行于图2中基板盒200的贯通腔的贯通方向， 三维直角坐标系的Y轴平行于图2中基板盒200的基板隔腔210的开口的长度方向，三维直角 坐标系的Z轴垂直于图2中基板盒200的基板隔腔210的开口的长度方向，也就是说，三维直 角坐标系的X轴和Y轴构成的XY平面平行于水平面;如图3所示，在三维直角坐标系中，待取 出的基板在XY平面内绕Z轴沿顺时针方向偏转，即待取出的基板的偏转方向为图3中顺时针 方向，待取出的基板的偏转角度为a;根据待取出的基板的偏转方向和偏转角度，调节机械 手30，使机械手30相对机械臂20沿待取出的基板的偏转方向转动，机械手30沿待取出的基 板的偏转方向转动的角度与待取出的基板的偏转角度相同，即机械手30沿图3中顺时针方 向转动，机械手30转动的角度为a，此时，机械手30与待取出的基板之间的位置关系如图4所 不。
[0030] 机械手30沿待取出的基板的偏转方向转动完成后，然后通过机械臂20带动机械手 30,使机械手30伸到待取出的基板的下方，机械手30承载待取出的基板;然后通过机械臂20 带动机械手30,机械手30上移，使待取出的基板与对应的支撑块220分离，此时，机械手30与 待取出的基板之间的位置关系如图5所示;然后调节机械手30,使机械手30相对机械臂20沿 待取出的基板的偏转方向的反方向转动，机械手30沿待取出的基板的偏转方向的反方向转 动的角度与待取出的基板的偏转角度相同，即机械手30沿图3中逆时针方向转动，机械手30 转动的角度为a，此时，机械手30与待取出的基板之间的位置关系如图6所示;然后通过机械 臂20带动机械手30退出基板盒200的基板隔腔210,待取出的基板随机械手30退出基板盒 200的基板隔腔210,从而将待取出的基板从基板盒200内取出。
[0031] 由上述可知，当采用本实用新型实施例提供的基板取放装置100从基板盒200内取 出基板时，可以先移动机械臂20,通过机械臂20带动机械手30,机械手30与基板盒200内的 待取出的基板相对;然后根据待取出的基板发生水平偏转的偏转角度和偏转方向，调节机 械手30，使机械手30相对机械臂20朝向待取出的基板的偏转方向转动，机械手30朝向待取 出的基板的偏转方向转动的角度与待取出的基板的偏转角度相同；然后调节机械臂20,机 械臂20带动机械手30水平移动，机械手30伸到待取出的基板的下方，机械手30承载待取出 的基板;然后调节机械臂20，机械臂20带动机械手30上升，待取出的基板在机械手30的带动 下与基板盒200的支撑块220分离;然后使机械手30相对机械臂20逆向待取出的基板的偏转 方向转动，机械手30逆向待取出的基板的偏转方向转动的角度与待取出的基板的偏转角度 相同；然后调节机械臂20,机械臂20带动机械手30水平移动，机械手30带动待取出的基板退 出基板盒200，完成将待取出的基板从基板盒200内取出。由上述可知，当采用本实用新型实 施例提供的基板取放装置100从基板盒200内取出基板时，通过调整机械手30,使机械手30 朝向待取出的基板的偏转方向转动和逆向待取出的基板的偏转方向转动，使待取出的基板 在基板盒200内恢复至正常状态，即待取出的基板在基板盒200内处于不发生水平偏转的状 态，然后将基板从基板盒200内取出，因此，可以防止将基板从基板盒200内取出时基板与基 板盒200发生碰撞或剐蹭，从而防止基板产生破损、划伤等现象。
[0032]值得一提的是，上述实施例提供的基板取放装置100可以取放水平放置在基板盒 200内的基板，在实际应用中，上述实施例提供的基板取放装置100也可以取放竖直放置在 基板盒200内的基板，此时，机械臂20朝向支撑台10水平移动和远离支撑台10水平移动，机 械臂20可以在竖直平面内伸长和缩短，机械手30与机械臂20可转动连接，取放竖直放置在 基板盒200内的基板的过程与上述取放水平放置在基板盒200内的基板的过程类似，在此不 再赘述。需要说明的是，上述实施例中，基板可以为衬底基板、液晶显示基板、光学基板等。 [0033]值得指出的是，上述实施例提供的基板取放装置100还可以用于将基板装载在基 板盒200内，当采用上述基板取放装置100将基板装载在基板盒200内时，可以先通过机械手 30承载基板;然后调节机械臂20,通过机械臂20带动机械手30上升或下降，使机械手30带动 基板移动至基板盒200内对应的基板隔腔210的开口处;然后调节机械手30,使机械手30相 对机械臂20转动，以调苄基板的摆放方位，使基板处于相对基板盒200未发生水平偏转的状 态;然后调节机械臂20,通过机械臂20带动机械手30,使机械手30伸到基板隔腔210内；然后 调节机械臂20,通过机械臂20带动机械手30下降，基板与基板盒200内的支撑块220接触，支 撑块220承载基板，基板与机械手30分离;然后调节机械臂20,通过机械臂20带动机械手30， 使机械手30退出基板隔腔210,实现将基板装载在基板盒200内。
[0034]因此，当采用上述基板取放装置100将基板装载在基板盒200内时，机械手30带动 基板移动至基板盒200内对应的基板隔腔210的开口处之后，可以通过调节机械手30,使机 械手30相对机械臂20转动，以调苄基板的摆放方位，使基板处于相对基板盒200未发生水平 偏转的状态，然后将基板装载在对应的基板隔腔210内，以防止基板在装载时与基板盒200 发生碰撞或剐蹭，从而防止基板产生破损、划伤等现象。
[0035] 请继续参阅图1，在本实用新型实施例提供的基板取放装置中，机械手30包括支撑 梁31和平行设置在支撑梁31上的多个基板叉齿32,支撑梁31与机械臂20可转动连接，多个 基板叉齿32远离支撑梁31的端部平齐;多个基板叉齿32中，至少两个基板叉齿32上分别设 置有距离传感器33,基板叉齿32远离支撑梁31的端部与基板盒200内待取出的基板相对时， 距离传感器33检测对应的基板叉齿32远离支撑梁31的端部与待取出的基板朝向机械手30 的侧面之间的距离。
[0036] 具体实施时，机械手30包括支撑梁31和多个基板叉齿32,其中，支撑梁31与机械臂 20可转动连接，多个基板叉齿32平行设置在支撑梁31上，基板叉齿32的数量为多个，在实际 应用中，基板叉齿32的数量可以为两个或两个以上;支撑梁31相对机械臂20转动时，多个基 板叉齿32也相对机械臂20转动；多个基板叉齿32中，至少两个基板叉齿32上分别设置有距 离传感器33，例如，基板叉齿32的数量为两个时，在两个基板叉齿32上分别设置距离传感器 33,基板叉齿32的数量为三个时，可以选取其中两个基板叉齿32,并在选取的两个基板叉齿 32上分别设置距离传感器33,也可以在三个基板叉齿32上分别设置距离传感器33,基板叉 齿32的数量为三个以上时，可以选取其中两个基板叉齿32,并在选取的两个基板叉齿32上 分别设置距离传感器33,也可以选取两个以上的基板叉齿32,并在选取的两个以上基板叉 齿32上分别设置距离传感器33，也可以在每个基板叉齿32上分别设置距离传感器33;当将 机械手30移动至基板盒200与待取出的基板对应的基板隔腔210处，基板叉齿32远离支撑梁 31的端部与基板盒200内待取出的基板相对时，距离传感器33检测对应的基板叉齿32远离 支撑梁31的端部与待取出的基板朝向机械手30的侧面之间的距离。
[0037]下面以在支撑梁31上平行设置两个基板叉齿32为例进行说明，请参阅图1，机械手 30包括支撑梁31和平行设置在支撑梁31上的两个基板叉齿32,两个基板叉齿32上分别设置 有距离传感器33。如图2所示，当将机械手30移动至基板盒200与待取出的基板对应的基板 隔腔210处，基板叉齿32远离支撑梁31的端部与基板盒200内待取出的基板相对时，距离传 感器33检测对应的基板叉齿32远离支撑梁31的端部与待取出的基板朝向机械手30的侧面 之间的距离，如图3所示，根据图3中左侧的基板叉齿32上的距离传感器33的检测结构和右 侧的基板叉齿32上的距离传感器33的检测结果，获取图3中左侧的基板叉齿32的上端部与 待取出的基板的下侧面之间的距离为匕，图3中右侧的基板叉齿32的上端部与待取出的基 板的下侧面之间的距离为h 2,图3中左侧的基板叉齿32与右侧的基板叉齿32之间的距离为 1，假设待取出的基板的下表面与三维直角坐标系的Y轴之间的夹角为a，即待取出的基板发 生水平偏转的偏转角度为a，则可以得到偏转角度a与距离hi、距离h 2之间的关系：
(1 )
[0039] 对式（1)进行处理后，即可获得：
(2)
[0041]根据式(2)，并利用距离传感器33检测到的对应的基板叉齿32远离支撑梁31的端 部与待取出的基板朝向机械手30的侧面之间的距离，即可获取待取出的基板的偏转角度， 待取出的基板的偏转方向则可以根据距离hi和距离h 2的大小确定，例如，如图3所示，距离lu 大于距离112时，则待取出的基板沿图3中顺时针方向偏转，即大取出的基板的偏转方向为图 3中顺时针方向，距离匕小于距离^时，则待取出的基板沿图3中逆时针方向偏转，即大取出 的基板的偏转方向为图3中逆时针方向；根据取待取出的基板的偏转角度和偏转方向，调节 机械手30,使机械手30的支撑梁31沿待取出的基板的偏转方向相对机械臂20转动;机械手 30的基板叉齿32将待取出的基板抬起后，调节机械手30，使机械手30的支撑梁31沿待取出 的基板的偏转方向的反方向相对机械臂20转动;然后使机械手30带动待取出的基板退出基 板盒200，实现将待取出的基板从基板盒200内取出。
[0042]通过距离传感器33检测对应的基板叉齿32远离支撑梁31的端部与待取出的基板 朝向机械手30的侧面之间的距离，进而获取待取出的基板的偏转角度和偏转方向，控制机 械手30的支撑梁31，使支撑梁31带动基板叉齿32沿待取出的基板的偏转方向相对机械臂20 转动相应的角度，并使支撑梁31带动基板叉齿32沿待取出的基板的偏转方向的反方向相对 机械臂20转动相应的角度，从而方便将待取出的基板从基板盒200内取出，防止基板发生破 损、划伤等现象。
[0043]值得指出的是，基板叉齿32的数量为多个，并在三个或三个以上基板叉齿32上分 别设置距离传感器33时，可以分别根据其中两个基板叉齿32远离支撑梁31的端部与待取出 的基板朝向机械手30的侧面之间的距离，获取多个试验角度，然后对多个试验角度取平均 值，多个试验角度的平均值为待取出的基板的偏转角度。如此设计，可以提高待取出的基板 的偏转角度的精确度。
[0044]在本实用新型实施例中，距离传感器33可以为反射式光电传感器，反射式光电传 感器设置在对应的基板叉齿32远离支撑梁31的端部。举例来说，如图3所示，反射式光电传 感器设置在基板叉齿32的上端部。当通过反射式光电传感器检测对应的基板叉齿32远离支 撑梁31的端部与待取出的基板朝向机械手30的侧面之间的距离时，先使反射式光电传感器 的发射端朝向待取出的基板发出光信号，光信号移动至待取出的基板时，被待取出的基板 反射，光信号则返回至反射式光电传感器，反射式光电传感器的接收端接收光信号，根据光 信号的传播速度以及接收端接收光信号和发射端发射光信号之间的时间差，可以获取对应 的基板叉齿32远离支撑梁31的端部与待取出的基板朝向机械手30的侧面之间的距离。
[0045] 上述实施例中，基板叉齿32的长度方向可以与支撑梁31的长度方向平行，例如多 个基板叉齿32设置在支撑梁31远离机械臂20的端部，或者，基板叉齿32的长度方向可以与 支撑梁31的长度方向呈一定夹角，或者，基板叉齿32的长度方向可以与支撑梁31的长度方 向垂直。
[0046] 在本实用新型实施例提供的基板取放装置中，请继续参阅图1，基板叉齿32的长度 方向与支撑梁31的长度方向垂直，多个基板叉齿32沿支撑梁31的长度方向均匀间隔设置。 基板叉齿32的长度方向与支撑梁31的长度方向垂直，与基板叉齿32的长度方向与支撑梁31 的长度方向平行或呈一定夹角相比，可以改善支撑梁31的各个区域的受力均匀性，提高基 板叉齿32承载基板时的稳定性。多个基板叉齿32沿支撑梁31的长度方向均匀间隔设置，可 以进一步改善支撑梁31的各个区域的受力均匀性，提高基板叉齿32承载基板时的稳定性。 [0047]在上述实施例中，机械臂20的结构可以为多种，例如，机械臂20可以为包括多个伸 缩杆节的伸缩杆，或者，机械臂20可以为丝杆。在本实用新型实施例中，请继续参阅图1，机 械臂20包括第一机械臂21和第二机械臂22,第一机械臂21的一端与支撑台10可转动连接， 第二机械臂22的一端与第一机械臂21远离支撑台10的一端可转动连接，第一机械臂21和第 二机械臂22均在同一平面内转动;机械手30与第二机械臂22远离第一机械臂21的一端可转 动连接。具体实施时，图1中第一机械臂21的右端与支撑台10可转动连接，第二机械臂22的 右端与第一机械臂21的左端可转动连接，机械手30的支撑梁31与第二机械臂22的左端可转 动连接，第一机械臂21相对支撑台10转动时的转动平面与第二机械臂22相对第一机械臂21 转动时的转动平面位于同一平面内，当第一机械臂21相对支撑台10转动、第二机械臂22相 对第一机械臂21转动时，可以实现机械臂20伸长和缩短，从而带动机械手30移动。
[0048]另外，第一机械臂21与支撑台10可转动连接，当第一机械臂21相对支撑台10转动 时，机械臂20相对支撑台10转动，因此，当采用上述实施例提供的基板取放装置100从基板 盒200内取出基板时，调整第一机械臂21，使第一机械臂21相对支撑台10转动，不用移动基 板盒200的位置或者支撑台10的位置，即可从放置在基板取放装置100的任何方位的基板盒 200内取出基板，从而提高基板取放装置100的适用性。
[0049] 第一机械臂21与支撑台10可转动连接，可以是在支撑台10上设置可相对支撑台10 转动的转动轴，第一机械臂21与转动轴固定连接，或者，可以在支撑台10上固定设置转动 轴，第一机械臂21与转动轴可转动连接;第二机械臂22与第一机械臂21可转动连接，可以是 在第一机械臂21上设置可相对第一机械臂21转动的转动轴，第二机械臂22与转动轴固定连 接，或者，可以在第一机械臂21上固定设置转动轴，第二机械臂22与转动轴可转动连接;机 械手30与第二机械臂22可转动连接，可以是在第二机械臂22上设置可相对第二机械臂22转 动的转动轴，机械手30与转动轴固定连接，或者，可以在第二机械臂22上固定设置转动轴， 机械手30与转动轴可转动连接。
[0050] 在本实用新型实施例中，请继续参阅图1，支撑台10上设置有第一转轴11，第一转 轴11可相对支撑台10转动，且第一转轴11可相对支撑台10升降移动，第一机械臂21与第一 转轴11固定连接;第一机械臂21上设置有第二转轴23，第二转轴23可相对第一机械臂21转 动，第二机械臂22与第二转轴23固定连接;第二机械臂22上设置有第三转轴24，第三转轴24 可相对第二机械臂22转动，机械手30与第三转轴24固定连接;第一转轴11、第二转轴23和第 三转轴24分别与电机连接。
[00511在本实用新型实施例中，通过电机分别驱动第一转轴11、第二转轴23和第三转轴 24,通过第一转轴11带动第一机械臂21相对支撑台10转动，通过第二转轴23带动第二机械 臂22相对第一机械臂21转动，通过第三转轴24带动机械手30相对第二机械臂22转动，可以 分别改善第一机械臂21相对支撑台10转动、第二机械臂22相对第一机械臂21转动、机械手 30相对第二机械臂22转动时的稳定性。
[0052]请继续参阅图1，在本实用新型实施例提供的基板取放装置100中，机械手30设置 有对待取出的基板进行吸附的真空吸附孔34。具体实施时，机械手30包括支撑梁31和设置 在支撑梁31上的多个基板叉齿32,支撑梁31固定安装在第二机械臂22上的第三转轴24上， 基板叉齿32设置有真空吸附孔34,例如，基板叉齿32的数量为两个，每个基板叉齿32设置有 真空吸附孔34,每个基板叉齿32上的真空吸附孔34的数量可以是一个，也可以是两个或两 个以上。当基板叉齿32移动至待取出的基板的下方时，通过真空吸附孔34将待取出的基板 吸附在基板叉齿32上，待取出的基板与基板叉齿32紧贴，基板叉齿32带动待取出的基板移 动时，可以防止待取出的基板相对基板叉齿32滑动，从而进一步防止待取出的基板发生破 损、划伤等现象。
[0053]为了进一步防止待取出的基板发生破损、划伤等现象，真空吸附孔34的开口处设 置有吸盘，吸盘与真空吸附孔34连通。举例来说，请参阅图1，机械手30的基板叉齿32的数量 为两个，每个基板叉齿32上设置有两个真空吸附孔34,每个真空吸附孔34的开口处还设置 有吸盘，吸盘与对应的真空吸附孔34连通。当吸附待取出的基板时，通过吸盘吸附待取出的 基板，与待取出的基板直接接触的是吸盘，可以防止待取出的基板直接与真空吸附孔34接 触时真空吸附孔34的孔壁划伤待取出的基板，从而进一步防止待取出的基板发生破损、划 伤等现象。
[0054]在本实用新型实施例提供的基板取放装置100中，机械手30上还设置有静电去除 装置。具体实施时，静电去除装置可以设置在机械手30的基板叉齿32上。静电去除装置的设 置，将待取出的基板从基板盒200内取出时，可以去除待取出的基板上的静电，从而防止灰 尘、异物等粘连在待取出的基板上。
[0055] 在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多 个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0056] 以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限 于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化 或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权 利要求的保护范围为准。
【主权项】
1. 一种基板取放装置，其特征在于，包括支撑台、机械臂和机械手，其中，所述机械臂安 装在所述支撑台上，所述机械臂可相对所述支撑台升降移动，且所述机械臂可伸长和缩短； 所述机械手与所述机械臂可转动连接，所述机械手转动，带动基板盒内发生偏转的待取出 的基板转动，使待取出的基板回归正常状态后，所述机械手取出待取出的基板，所述正常状 态为待取出的基板未发生偏转时的状态。2. 根据权利要求1所述的基板取放装置，其特征在于，所述机械手包括支撑梁和平行设 置在所述支撑梁上的多个基板叉齿，所述支撑梁与所述机械臂可转动连接，多个所述基板 叉齿远离所述支撑梁的端部平齐； 多个所述基板叉齿中，至少两个所述基板叉齿上分别设置有距离传感器，所述基板叉 齿远离所述支撑梁的端部与基板盒内的基板相对时，所述距离传感器检测对应的所述基板 叉齿远离所述支撑梁的端部与基板朝向所述机械手的侧面之间的距离。3. 根据权利要求2所述的基板取放装置，其特征在于，所述距离传感器为反射式光电传 感器，所述反射式光电传感器设置在对应的所述基板叉齿远离所述支撑梁的端部。4. 根据权利要求2所述的基板取放装置，其特征在于，所述基板叉齿的长度方向与所述 支撑梁的长度方向垂直，多个所述基板叉齿沿所述支撑梁的长度方向均匀间隔设置。5. 根据权利要求1所述的基板取放装置，其特征在于，所述机械臂包括第一机械臂和第 二机械臂，所述第一机械臂的一端与所述支撑台可转动连接，所述第二机械臂的一端与所 述第一机械臂远离所述支撑台的一端可转动连接，所述第一机械臂和所述第二机械臂均在 同一平面内转动;所述机械手与所述第二机械臂远离所述第一机械臂的一端可转动连接。6. 根据权利要求5所述的基板取放装置，其特征在于，所述支撑台上设置有第一转轴， 所述第一转轴可相对所述支撑台转动，所述第一转轴可相对所述支撑台升降移动，所述第 一机械臂与所述第一转轴固定连接； 所述第一机械臂上设置有第二转轴，所述第二转轴可相对所述第一机械臂转动，所述 第二机械臂与所述第二转轴固定连接； 所述第二机械臂上设置有第三转轴，所述第三转轴可相对所述第二机械臂转动，所述 机械手与所述第三转轴固定连接； 所述第一转轴、所述第二转轴和所述第三转轴分别与电机连接。7. 根据权利要求1-6任一所述的基板取放装置，其特征在于，所述机械手设置有对待取 出的基板进行吸附的真空吸附孔。8. 根据权利要求7所述的基板取放装置，其特征在于，所述真空吸附孔的开口处设置有 吸盘，所述吸盘与所述真空吸附孔连通。9. 根据权利要求1-6任一所述的基板取放装置，其特征在于，所述机械手上还设置有静 电去除装置。
【文档编号】B65G47/90GK205634157SQ201620504639
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月27日
【发明人】张玉兵, 李朝垒, 裴新华, 刘国鹏, 王鹏, 高建强, 闫宇, 张斌, 梁团, 赵双会
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司