本发明涉及一种硅烷废气焚烧系统，具体的说是一种用于电池、微电子、光电子工业的硅烷废气处理净化系统。
背景技术：
硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现，包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。
技术实现要素：
发明目的：本发明的目的是提供一种硅烷废气焚烧净化系统，结构设计合理，安全可靠，硅烷废气处理效率高，无二次污染，既经济又环保。
技术方案：为了实现以上目的，本发明采用如下技术方案：
一种硅烷废气焚烧净化系统，它包括焚烧炉、多管除尘器、布袋除尘器、风机和烟囱。
作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉尾部与多管除尘器进气口相连，多管除尘器出气口与布袋除尘器进气口相连，布袋除尘器出气口与风机进风口相连，风机出风口与烟囱相连。
作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉前端中心轴线上水平安装燃烧器，所述的燃烧器上设有硅烷气入口，助燃煤气入口，助燃风入口和惰性气入口；突发状况下用惰性气进行吹扫，更安全可靠。
作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉为卧式双炉壳结构，由内炉壳和外炉壳嵌套构成内炉壳内部的燃烧室、外炉壳后端部的混合室和内炉壳和外炉壳之间的夹套层。所述的外炉壳前端设有冷却风入口。夹套层及夹套层内的冷却风同时冷却内炉壳和外炉壳，取代耐火材料和保温材料，降低成本。另外，没有耐火材料，启炉停炉的时候无需温度保护，可急停急启，便于应对突发状况，增加操作灵活度。燃烧室可保证硅烷废气焚烧完全，焚烧产生的烟气进入混合室进行冷却，降低到适宜进入多管除尘器的温度。
作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的内炉壳和外炉壳前端面板重合且同中心轴。内炉壳和外炉壳的长度和半径可根据硅烷废气量、助燃煤气量和停留时间计算。
作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的内炉壳和外炉壳之间设有若干旋流片，旋流片位于内炉壳尾部，圆周均布。旋流片不仅起到支撑内炉壳和外炉壳的作用，也使冷却风以某一角度旋转进入混合室，增强混合效果，提高冷却效率，有效降低焚烧后烟气的温度。
本发明提供的的硅烷废气焚烧净化系统，实际操作原理为：
硅烷企业生产过程中产生的硅烷废气引入燃烧器，以厂区自有煤气助燃，进入焚烧炉内的燃烧室进行焚烧。助燃煤气量确保硅烷废气完全燃烧。焚烧产生的热烟气进入混合室，同时以常温空气为冷却风经夹套层和旋流片进入混合室。冷却风同时冷却内炉壳和外炉壳，代替耐火材料和保温材料，节省成本，增加操作灵活度。旋流片使冷却风和燃烧室出来的热烟气在混合室内呈旋流状混合，增强混合效果。整个焚烧炉保持微负压状态，保证气体无泄漏，安全可靠。冷却后的烟气进入多管除尘器，除去大粒径颗粒，再进入布袋除尘器除去剩余固体颗粒，降低对下游设备的磨损的同时提高除尘效率。经两级除尘处理后的达标烟气最终进入烟囱排放。若遇到突发状况，可紧急停炉并用惰性气进行吹扫。
有益效果：本发明提供的硅烷废气焚烧净化系统和现有技术相比存在以下优点：
(1)本发明提供的硅烷废气焚烧及净化系统，对硅烷气浓度波动适应范围广，采用多管除尘器和布袋除尘器两级除尘，除尘效率高，设备寿命长且运行成本低。
(2)本发明提供的硅烷废气焚烧净化系统，工艺简单合理，安全可靠，硅烷废气处理效率高，无二次污染，既经济又环保。
附图说明
图1为本发明提供的硅烷废气焚烧净化系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于
本技术：
所附权利要求所限定的范围。
如图1所示，一种硅烷废气焚烧净化系统，它包括焚烧炉2、多管除尘器3、布袋除尘器4、风机5和烟囱6。
焚烧炉2尾部与多管除尘器3进气口相连，多管除尘器3出气口与布袋除尘器4进气口相连，布袋除尘器4出气口与风机5进风口相连，风机5出风口与烟囱6相连。
所述的焚烧炉2前端中心轴线上水平安装有燃烧器1，所述的燃烧器1设有硅烷气入口1-1，助燃煤气入口1-2，助燃风入口1-3和惰性气入口1-4。
所述的焚烧炉2为卧式双炉壳结构，由内炉壳2-1和外炉壳2-2嵌套构成燃烧室2-4、混合室2-5和夹套层2-6。
所述的外炉壳2-2前端设有冷却风入口2-7。
所述的内炉壳2-1和外炉壳2-2前端面板重合，且内炉壳2-1和外炉壳2-2同中心轴。
所述的内炉壳2-1和外炉壳2-2之间设有若干旋流片2-3，旋流片2-3位于内炉壳2-1尾部，呈圆周均布。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。