一种尾气处理监控方法及系统与流程

本发明涉及尾气处理
技术领域：
，尤其涉及一种尾气处理监控方法及系统。
背景技术：
：tft-lcd制造行业干法刻蚀设备及化学气相沉积设备等设备因其在制程工艺中会使用到特殊气体，诸如cf4/sf6/cl2/nf3/n2o等，这些气体若直接排放至大气环境中会造成环境污染，按照行业通用做法，会在这两种主设备系统上增加辅机，即尾气处理设备，对有害气体进行分解除害，尾气处理目前多采用燃烧加水洗的方案，在实际运用中需使用天然气及水等资源，针对资源节约，现行的节能方案如下：当尾气处理设备接收到cf4/sf6/cl2/nf3/n2o信号时，会启动“高火模式”(额外加入氧气及天然气)，其他状况下启用“普通模式”，即使用较少天然气，不使用氧气。针对资源节约，现行的节能方案如下：干法刻蚀设备配套尾气处理设备代号atlas，目前节能模式启用状况如下：当atlas接收到cf4/sf6/cl2信号时，atlas会启动“高火模式”(额外加入氧气及天然气)，其他状况下启用“普通模式”，即使用较少天然气，不使用氧气，用于处理尾气的物料用量具体如表1所示：表1模式天然气氧气水高火模式120slm150slm10slm普通模式22slm0slm10slm化学气相沉积设备配套尾气处理设备代号neptune，目前节能模式启用状况如下：当neptune接收到nf3/n2o信号时，neptune会启动“高火模式”(额外加入天然气)，其他状况下启用“普通模式”即不使用额外天然气，用于处理尾气的物料用量具体如表2所示：表2模式天然气水高火模式125slm20slm普通模式89slm20slm上述是现有技术中干法刻蚀设备用的atlas或化学气相沉积设备用的neptune尾气处理设备，在现行的节能模式下，只能根据特气有无使用进行对天然气及氧气的有限节能，当主设备处于待料不生产状态时，尾气处理设备无法做到进一步的节能，尾气处理设备用的去离子水将会持续消耗。技术实现要素：为解决上述技术问题，本发明提供一种尾气处理监控方法及系统，根据主设备的不同设备状态实现节能处理模式和普通处理模式的切换，来实现更好的控制和节约资源的目的。本发明提供的技术方案如下：本发明公开了一种尾气处理监控方法，包括步骤：主设备检测其当前的设备状态，并根据当前设备状态生成对应的状态信号，并发送所述状态信号至尾气处理设备；尾气处理设备接收所述状态信号，并根据所述状态信号启动相对应的处理模式；尾气处理设备根据对应的所述处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为对应的预设值；尾气处理设备根据用量为所述预设值的物料对尾气进行处理。进一步地，所述设备状态包括第一状态和第二状态；所述状态信号包括第一状态信号和第二状态信号；所述处理模式包括节能处理模式和普通处理模式；所述预设值包括第一预设值和第二预设值；所述第二预设值大于所述第一预设值；所述第一状态、所述第一状态信号、所述节能处理模式以及所述第一预设值分别对应；所述第二状态、所述第二状态信号、所述普通处理模式以及所述第二预设值分别对应。进一步地，所述步骤“主设备检测其当前的状态，并根据当前状态生成对应的状态信号至尾气处理设备”进一步包括步骤：主设备检测其当前的状态为第一状态时，根据所述第一状态生成对应的第一状态信号，并发送所述第一状态信号至尾气处理设备；或，主设备检测其当前的状态为第二状态时，根据所述第二状态生成对应的第二状态信号，并发送所述第二状态信号至尾气处理设备。进一步地，所述步骤“尾气处理设备接收所述状态信号，并根据所述状态信号启动相对应的处理模式”进一步包括步骤：尾气处理设备接收所述第一状态信号，并根据所述第一状态信号启动相对应的节能处理模式；或，尾气处理设备接收所述第二状态信号，并根据所述第二状态信号启动相对应的普通处理模式。进一步地，所述步骤“尾气处理设备根据对应的所述处理模式调整用于处理尾气的物料的用量至对应的预设值”进一步包括步骤：当启动节能处理模式时，所述预设值为所述第一预设值，尾气处理设备根据节能处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为第一预设值；或，当启动普通处理模式时，尾气处理设备根据普通处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为第二预设值。进一步地，所述步骤“尾气处理设备接收所述状态信号，根据所述状态信号启动相对应的处理模式”之后还包括步骤：尾气处理设备判断是否完成当前的处理模式启动；若是，尾气处理设备向主设备发送与当前的处理模式相对应的启动完成信号。进一步地，还包括步骤：主设备判断自发出状态信号之后的预设时间内是否接收到尾气处理设备发出的与所述状态信号对应的启动完成信号；若未接收到，主设备发出与状态信号相对应的启动错误报警信号。本发明还公开了一种尾气处理监控系统，采用上述尾气处理监控方法，包括：主设备和尾气处理设备；所述主设备包括：第一检测模块，用于检测其当前的设备状态；状态信号生成模块，用于根据当前设备状态生成对应的状态信号；第一发送模块，用于发送所述状态信号至尾气处理设备；所述尾气处理设备包括：第二接收模块，用于接收所述主设备发送的所述状态信号；启动模块，用于根据所述状态信号启动相对应的处理模式；调整模块，用于根据对应的所述处理模式调整用于处理尾气的物料的用量至对应的预设值；处理模块，用于根据用量为所述预设值的物料对尾气进行处理。进一步地，所述尾气处理设备还包括：第二判断模块，用于判断是否完成当前的处理模式启动；第二发送模块，用于当判断完成当前的处理模式启动时，向主设备发送与当前的处理模式相对应的启动完成信号；所述主设备还包括：第一接收模块，用于接收所述尾气处理设备发送的启动完成信号。进一步地，所述主设备还包括：第一判断模块，用于判断自发出状态信号之后的预设时间内是否接收到尾气处理设备发出的与所述状态信号对应的启动完成信号；所述第一发送模块还用于当判断自发出状态信号之后的预设时间内未接收到尾气处理设备发出的与所述状态信号对应的启动完成信号时，发出与状态信号相对应的启动错误报警信号。与现有技术相比，本发明至少具有以下任意一项有益效果：1、通过根据主设备的设备状态切换不同的处理模式，实现当主设备处于需要节能处理模式的第一状态时，启动节能处理模式，减少用于尾气处理的物料的用量，避免大量资源浪费；2、当主设备的设备状态为需要普通处理模式的第二状态时，主设备自动将“第二状态信号”发送给尾气处理设备，尾气处理设备自动切换为“普通处理模式”，采用切换处理模式的方式使本发明更具有灵活性；3、本发明的设备改造简单、容易实现，对产品工艺不会有任何影响，与现有技术可以很好的匹配，利于大规模量产实现。附图说明下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对本发明予以进一步说明。图1为本发明一种尾气处理监控方法的主要步骤示意图；图2为本发明一种尾气处理监控方法的完整步骤示意图；图3为本发明一种尾气处理监控方法的实施例一的步骤示意图；图4为本发明一种尾气处理监控方法的实施例一的干法刻蚀设备节能处理模式启动流程图；图5为本发明一种尾气处理监控方法的实施例一的化学气相沉积设备节能处理模式启动流程图；图6为本发明一种尾气处理监控方法的实施例二的步骤示意图；图7为本发明一种尾气处理监控方法的实施例二的干法刻蚀设备普通处理模式启动流程图；图8为本发明一种尾气处理监控方法的实施例二的化学气相沉积设备普通处理模式启动流程图；图9为本发明一种尾气处理监控系统的主要组成示意图；图10为本发明一种尾气处理监控系统的完整组成示意图。附图标号说明：100、主设备，110、第一检测模块，120、状态信号生成模块，130、第一发送模块，140、第一判断模块，150、第一接收模块，200、尾气处理设备，210、第二接收模块，220、启动模块，230、调整模块，240、处理模块，250、第二判断模块，260、第二发送模块。具体实施方式为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本发明相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。图1为本发明一种尾气处理监控方法的主要步骤示意图。如图1所示，一种尾气处理监控方法，包括步骤：s100、主设备检测其当前的设备状态，并根据当前设备状态生成对应的状态信号，并发送所述状态信号至尾气处理设备；s200、尾气处理设备接收所述状态信号，并根据所述状态信号启动相对应的处理模式；s300、尾气处理设备根据对应的所述处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为对应的预设值；s400、尾气处理设备根据用量为所述预设值的物料对尾气进行处理。优选的，所述设备状态包括第一状态和第二状态，其中第一状态是指主设备当前需要启动节能处理模式的状态，第二状态是指主设备当前需要启动普通处理模式的状态；所述状态信号包括第一状态信号和第二状态信号；所述处理模式包括节能处理模式和普通处理模式；所述预设值包括第一预设值和第二预设值；所述第二预设值大于所述第一预设值；所述第一状态、所述第一状态信号、所述节能处理模式以及所述第一预设值分别对应；所述第二状态、所述第二状态信号、所述普通处理模式以及所述第二预设值分别对应。具体的，本发明适用于tft-lcd制造行业中，其中主设备包括但不限于干法刻蚀设备及化学气相沉积设备。本发明是根据当主设备的设备状态来选择对应的处理模式进行尾气处理，该设备状态主要包括第一状态和第二状态，以主设备为干法刻蚀设备或化学气相沉积设备为例，说明其第一状态和第二状态的判定，具体如下：1、第一状态对于干法刻蚀设备，判断其第一状态的方式为判断在预设的时间内是否有基板，若在预设的时间内无基板搬入(即未接收到基板搬入信号)，则说明干法刻蚀设备不生产为待料状态，即为需要节能处理模式的第一状态。对于化学气相沉积设备，判断其第一状态的方式为判断在预设的时间内是否有基板或是否有气流，若均无，则说明化学气相沉积设备不生产为待料状态，即为需要节能处理模式的第一状态。2、第二状态对于第二状态的判断具体包括以下三个方面：21、若主设备在预设的时间内接收到有基板搬入(即接收到基板搬入信号)，则说明主设备为来料状态，即为需要普通处理模式的第二状态。22、本发明还增加手动控制方式实现普通处理模式的切换，即当操作人员手动执行普通处理模式切换时，主设备接收到操作人员输入的手动信号，则认为主设备为需要普通处理模式的第二状态。23、本发明还包括检测是否有预设的需要执行普通处理模式的执行信号，比如对于化学气相沉积设备，一般会定时执行recipe操作，而recipe操作会产生需要处理的废气，因此当主设备执行recipe操作时，认为其处于第二状态，需要采用普通处理模式。需要说明的是，本发明并不对执行信号限定为recipe执行信号，也可以是需要执行普通处理模式的其他执行信号，此处仅作为示例说明。而对于第一状态信号和第二状态信号的生成，具体如下：1、当主设备为第一状态时，主设备端通过“scrubberidle”do信号on实现“第一状态信号”发出，该信号再通过通信线传至尾气处理设备，尾气处理设备自动转为“节能处理模式”。2、当主设备为第二状态时，则输出“scrubberidle”do信号off实现“第二状态信号”发出，该信号再通过通信线传至尾气处理设备，尾气处理设备自动转为“普通处理模式”。图2为本发明一种尾气处理监控方法完整步骤示意图。如图2所示，优选的，对上述实施例进行改进，所述步骤s200“尾气处理设备接收所述状态信号，根据所述状态信号启动相对应的处理模式”之后还包括步骤：s250、尾气处理设备判断是否完成当前的处理模式启动；若是，尾气处理设备向主设备发送与当前的处理模式相对应的启动完成信号。如图2所示，优选的，对上述实施例进行改进，还包括步骤：s500、主设备判断自发出状态信号之后的预设时间内是否接收到尾气处理设备发出的与所述状态信号对应的启动完成信号；若未接收到，主设备发出与状态信号相对应的启动错误报警信号。下面分别通过第一状态和第二状态来介绍本发明的两个具体的实施例。实施例一：图3为本发明一种尾气处理监控方法的实施例一的步骤示意图；如图3所示，一种尾气处理监控方法，包括步骤：s110、主设备检测其当前的状态为第一状态时，根据所述第一状态生成对应的第一状态信号，并发送所述第一状态信号至尾气处理设备；s210、尾气处理设备接收所述第一状态信号，并根据所述第一状态信号启动相对应的节能处理模式；s250、尾气处理设备判断是否完成当前的处理模式启动；若是，尾气处理设备向主设备发送与当前的处理模式相对应的启动完成信号；s310、当启动节能处理模式时，尾气处理设备根据节能处理模式调整用于处理尾气的物料的用量为第一预设值；s410、尾气处理设备根据用量为所述第一预设值的物料对尾气进行处理；s500、主设备判断自发出第一状态信号之后的预设时间内是否接收到尾气处理设备发出的与所述第一状态信号对应的启动完成信号；若未接收到，主设备发出与第一状态信号相对应的启动错误报警信号。上述实施例是对本发明主设备为第一状态时，尾气处理设备启动节能处理模式处理尾气的方法的阐述。具体的，本发明中当启动节能处理模式时，尾气处理设备根据节能处理模式调整用于处理尾气的物料的用量为第一预设值，尾气处理设备根据用量为所述第一预设值的物料对尾气进行处理，其中物料、第一预设值为根据经验和主设备不同而设的，不作具体限定。以主设备为干法刻蚀设备或化学气相沉积设备为例，当节能处理模式启动时，尾气处理设备用于处理尾气的物料的用量具体如下：1、主设备为干法刻蚀设备，节能处理模式状况下：天然气lng为1.8slm，水消耗量为0.2slm。2、主设备为化学气相沉积设备，节能处理模式状况下：天然气lng为24slm，水消耗量由0.4slm。相比于现有技术，本发明主设备在第一状态时明显降低了物料的用量，节约了资源。下面分别以干法刻蚀设备和化学气相沉积设备为例详细介绍本发明节能处理模式的启动流程。具体的，图4为本发明一种尾气处理监控方法的实施例一的干法刻蚀设备节能处理模式启动流程图。如图4所示，干法刻蚀设备为主设备，尾气处理设备表示为scrubber，节能处理模式启动流程具体如下：401、主设备内无基板时间超过预设时间t1，说明主设备为第一状态。需要说明的是，t1可以为任意设定的时间，此处可设为1～9999s中的任意一个。402、主设备通过“scrubberidle”do信号on，发送第一状态信号。403、scrubber接受第一状态信号，启动节能处理模式。404、scrubber判断是否完成节能处理模式启动，即是否完成用于处理尾气的物料比如水或天然气的流量切换；若是，执行下一步；否则，执行409。405、scrubber发送启动完成信号(即图中“scrubberisidle”)至主设备。406、主设备判断在预设时间t2内是否接收到scrubber发送的启动完成信号，若是，执行下一步；否则，执行408。需要说明的是，t2可以为任意设定的时间，此处可设为1～9999s中的任意一个。407、scrubber节能处理模式启动完成。408、发送启动错误警报信号。409、排查fault原因。具体的，图5为本发明一种尾气处理监控方法的实施例一的化学气相沉积设备节能处理模式启动流程图。如图5所示，化学气相沉积设备为主设备，尾气处理设备表示为scrubber，节能处理模式启动流程具体如下：501、主设备内无基板时间超过预设时间t1或无气流时间超过预设时间t3，说明主设备为第一状态。需要说明的是，t1和t3可以为任意设定的时间，此处可设为1～9999s中的任意一个。502、主设备通过“scrubberidle”do信号on，发送第一状态信号。503、scrubber接受第一状态信号，启动节能处理模式。504、尾气处理设备判断是否完成节能处理模式启动，即是否完成用于处理尾气的物料比如水或天然气的流量切换；若是，执行下一步；否则，执行509。505、scrubber发送启动完成信号(即图中“scrubberisidle”)至主设备。506、主设备判断在预设时间t2内是否接收到scrubber发送的启动完成信号，若是，执行下一步；否则，执行508。需要说明的是，t2可以为任意设定的时间，此处可设为1～9999s中的任意一个。507、scrubber节能处理模式启动完成。508、发送启动错误警报信号。509、排查fault原因。实施例二：对上述实施例一进行改进，得到优选的实施例二，图6为本发明一种尾气处理监控方法的实施例二的步骤示意图。如图6所示，一种尾气处理监控方法，包括步骤s120、主设备检测其当前的状态为第二状态时，根据所述第二状态生成对应的第二状态信号，并发送所述第二状态信号至尾气处理设备；s220、尾气处理设备接收所述第二状态信号，并根据所述第二状态信号启动相对应的普通处理模式；s250、尾气处理设备判断是否完成当前的处理模式启动；若是，尾气处理设备向主设备发送与当前的处理模式相对应的启动完成信号；s320、当启动普通处理模式时，尾气处理设备根据普通处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为第二预设值；s420、尾气处理设备根据用量为所述第二预设值的物料对尾气进行处理；s500、主设备判断自发出第二状态信号之后的预设时间内是否接收到尾气处理设备发出的与所述第二状态信号对应的启动完成信号；若未接收到，主设备发出与第二状态信号相对应的启动错误报警信号。上述实施例是对本发明普通处理模式启动(即主设备的设备状态为来料状态时)方法的阐述。具体的，本发明中当启动普通处理模式时，尾气处理设备根据普通处理模式调整用于处理尾气的物料的用量为第二预设值，尾气处理设备根据用量为所述第二预设值的物料对尾气进行处理，其中物料、第二预设值为根据经验和主设备不同而设的，不作具体限定。以主设备为干法刻蚀设备或化学气相沉积设备为例，当普通处理模式启动时，尾气处理设备用于处理尾气的物料的用量具体如下：3、主设备为干法刻蚀设备，普通处理模式状况下：天然气lng为/22slm，水消耗量为10slm。4、主设备为化学气相沉积设备，普通处理模式状况下：天然气lng为89slm，水消耗量由20slm。由上述数据可以看出，本发明在节能处理模式下相比于普通处理模式下明显减少了物料的用量。下面分别以干法刻蚀设备和化学气相沉积设备为例详细介绍本发明普通处理模式的启动流程。具体的，图7为本发明一种尾气处理监控方法的实施例二的干法刻蚀设备普通处理模式启动流程图。如图7所示，干法刻蚀设备节能处理模式启动流程具体如下：701、主设备接收到基板搬入信号或手动信号。702、主设备通过“scrubberidle”do信号off，发送第二状态信号；703、scrubber接受第二状态信号，启动普通处理模式。704、scrubber判断是否完成普通处理模式启动，即是否完成用于处理尾气的物料比如水或天然气的流量切换；若是，执行下一步；否则，执行709。705、scrubber发送启动完成信号(即图中“scrubberisidle”)至主设备。706、主设备判断在预设时间t2内是否接收到scrubber发送的启动完成信号，若是，执行下一步；否则，执行708。需要说明的是，t2可以为任意设定的时间，此处可设为1～9999s中的任意一个。707、scrubber普通处理模式启动完成；708、发送启动错误警报信号。709、排查fault原因。具体的，图8为本发明一种尾气处理监控方法的实施例二的化学气相沉积设备普通处理模式启动流程图。如图8所示，化学气相沉积设备节能处理模式启动流程具体如下：801、主设备接收到基板搬入信号或recipe自动执行信号或手动信号。802、主设备通过“scrubberidle”do信号off，发送第二状态信号；803、scrubber接受第二状态信号，启动普通处理模式。804、尾气处理设备判断是否完成普通处理模式启动，即是否完成用于处理尾气的物料比如水或天然气的流量切换；若是，执行下一步；否则，执行809。805、scrubber发送启动完成信号(即图中“scrubberisidle”)至主设备。806、主设备判断在预设时间t2内是否接收到scrubber发送的启动完成信号，若是，执行下一步；否则，执行808。需要说明的是，t2可以为任意设定的时间，此处可设为1～9999s中的任意一个。807、scrubber普通处理模式启动完成。808、发送启动错误警报信号。809、排查fault原因。图9为本发明一种尾气处理监控系统的主要组成示意图，如图9所示，一种尾气处理监控系统，采用上述尾气处理监控方法，包括：主设备100和尾气处理设备200；所述主设备100包括：第一检测模块110，用于检测其当前的设备状态；状态信号生成模块120，用于根据当前设备状态生成对应的状态信号；第一发送模块130，用于发送所述状态信号至尾气处理设备200；所述尾气处理设备200包括：第二接收模块210，用于接收所述主设备发送的所述状态信号；启动模块220，用于根据所述状态信号启动相对应的处理模式；调整模块230，用于根据对应的所述处理模式调整用于处理尾气的物料的用量至对应的预设值；处理模块240，用于根据用量为所述预设值的物料对尾气进行处理。图10为本发明一种尾气处理监控系统的完整组成示意图，如图10所示，优选的，所述尾气处理设备200还包括：第二判断模块250，用于判断是否完成当前的处理模式启动；第二发送模块260，用于当判断完成当前的处理模式启动时，向主设备100发送与当前的处理模式相对应的启动完成信号；所述主设备100还包括：第一接收模块150，用于接收所述尾气处理设备200发送的启动完成信号。优选的，所述主设备100还包括：第一判断模块140，用于判断自发出状态信号之后的预设时间内是否接收到尾气处理设备发出的与所述状态信号对应的启动完成信号；所述第一发送模块130还用于当判断自发出状态信号之后的预设时间内未接收到尾气处理设备200发出的与所述状态信号对应的启动完成信号时，发出与状态信号相对应的启动错误报警信号。本系统中各模块之间的信息交互、执行过程等内容与上述方法实施例基于同一构思，具体内容可参见本发明方法实施例中的叙述，此处不再赘述。在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本
技术领域：
的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。当前第1页12