专利名称：硅粉干燥集成系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种改良西门子法多晶硅生产过程中用于三氯氢硅合成工序原料硅粉干燥的硅粉干燥集成系统。
背景技术：
20世纪50年代，联邦德国西门子公司研究开发出大规模生产多晶硅的技术，即通常所说的西门子工艺。多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在表面温度1100°C左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯含硅反应物，使反应生成的硅沉积在硅芯上。改良西门子方法在传统西门子方法的基础上，具备先进的节能低耗工艺，可有效回收利用生产过程中大量的SiC14 、 HC1、H2等副产物以及大量副产热能的多晶硅生产工艺。目前世界上的多晶硅工厂普遍采用改良西门子工艺生产多晶硅，三氯氢硅还原法是其中最主要方法之一。其中，三氯氢硅由气体HCL和工业硅粉在合成炉内合成，如果原料含水，则对三氯氢硅的合成和整个多晶硅生产系统会造成较大的危害，主要有以下几点①腐蚀管道、设备；②生成二氧化硅固体杂质，堵塞管道；③降低合成三氯氢硅的收率；④增加生产成本；⑤影响多晶硅产品品质。因此，对原料硅粉进行干燥脱水是必要的。
实用新型内容本实用新型的目的是针对上述情况，提供一种硅粉干燥集成系统。本实用新型的目的通过下述技术方案来实现一种硅粉干燥集成系统，包括硅粉干燥罐、布置在硅粉干燥罐上的电加热器，还包括设置在所述硅粉干燥罐内部的氮气分布器和设置在所述硅粉干燥罐外部的废气抽吸装置，所述氮气分布器具有伸出至所述硅粉干燥罐外部的氮气进口端，所述氮气分布器上设有至少一个氮气置换孔，所述硅粉干燥罐上设有废气出口，所述废气出口和所述废气抽吸装置通过管道相通，所述废气抽吸装置包括废气抽吸风机。作为优选方式，所述氮气分布器设置在硅粉干燥罐底部。作为优选方式，所述氮气分布器为管状。作为优选方式，所述废气抽吸装置还包括袋滤器。作为优选方式，所述袋滤器设置在所述废气出口和所述废气抽吸风机之间的管道上。作为优选方式，所述废气出口设置在所述氮气分布器的顶部。本实用新型的工作过程原料硅粉用硅粉吊车提升至加料料斗，硅粉靠重力从加料料斗落入硅粉干燥罐内，装好硅粉后，关闭硅粉干燥罐进料阀，开启废气抽吸装置，通过硅粉干燥罐外部的电加热器加热至200°C左右进行干燥约2 3小时，然后从氮气分布器的氮气进口端向置于硅粉干燥罐底部的氮气分布器内通入0. 3MPa、300 °C的氮气，氮气通过氮气置换孔进入硅粉干燥罐内置换干燥罐内含水蒸气的废气，废气抽吸装置的废气抽吸风机使硅粉干燥罐内的废气通过废气出口被抽出，通过管道进入袋滤器，通过袋滤器过滤掉抽吸废气中的粉尘，然后从废气抽吸风机的废气排空口排出，干燥净化后的硅粉即可用于合成三氯S娃。本实用新型的有益效果本系统中的氮气分布器使氮气分布更均勻，置换效果更好，废气抽吸装置使含水蒸汽的废气被及时抽走，确保了干燥效果，避免了管道和设备的腐蚀，避免了杂质堵塞管道，提高了合成三氯氢硅的收率，降低了生产成本，保证了多晶硅的
广品品质。
图1是本实用新型的示意图。图2是图1中的A向视图。图中，1为硅粉干燥罐，2为电加热器，3为氮气分布器，4为氮气进口端，5为废气出口，6为袋滤器，7为废气抽吸风机，8为硅粉进口，9为干燥硅粉出口，10为氮气置换孔。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步的说明。如图1所示，一种硅粉干燥集成系统，包括硅粉干燥罐1、布置在硅粉干燥罐上的电加热器2，还包括设置在所述硅粉干燥罐内部的氮气分布器3和设置在所述硅粉干燥罐外部的废气抽吸装置，所述氮气分布器3具有伸出至所述硅粉干燥罐外部的氮气进口端4， 所述氮气分布器上设有至少一个氮气置换孔10，所述硅粉干燥罐上设有废气出口 5，所述废气出口 5和所述废气抽吸装置通过管道相通，所述废气抽吸装置包括废气抽吸风机7。所述氮气分布器3设置在硅粉干燥罐底部。所述氮气分布器3为管状。所述废气抽吸装置还包括袋滤器6。所述袋滤器6设置在所述废气出口和所述废气抽吸风机之间的管道上。所述废气出口设置在所述氮气分布器的顶部。本实用新型的工作过程原料硅粉用硅粉吊车提升至加料料斗，硅粉靠重力从加料料斗经过硅粉进口 8落入硅粉干燥罐内，装好硅粉后，关闭硅粉干燥罐进料阀，开启废气抽吸装置，通过硅粉干燥罐外部的电加热器加热至200°C左右进行干燥约2 3小时，然后从氮气分布器的氮气进口端向置于硅粉干燥罐底部的氮气分布器内通入0. 3MPa、30(TC的氮气，氮气通过氮气置换孔进入硅粉干燥罐内置换干燥罐内含水蒸气的废气，废气抽吸装置的废气抽吸风机使硅粉干燥罐内的废气通过废气出口被抽出，通过管道进入袋滤器，通过袋滤器过滤掉抽吸废气中的粉尘，然后从废气抽吸风机的废气排空口排出，干燥净化后的硅粉从干燥硅粉出口 9排出即可用于合成三氯氢硅。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种硅粉干燥集成系统，包括硅粉干燥罐(1)、布置在硅粉干燥罐上的电加热器 (2)，其特征在于还包括设置在所述硅粉干燥罐内部的氮气分布器(3)和设置在所述硅粉干燥罐外部的废气抽吸装置，所述氮气分布器(3 )具有伸出至所述硅粉干燥罐外部的氮气进口端(4)，所述氮气分布器上设有至少一个氮气置换孔(10)，所述硅粉干燥罐上设有废气出口(5)，所述废气出口(5)和所述废气抽吸装置通过管道相通，所述废气抽吸装置包括废气抽吸风机(7)。
2.如权利要求1所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于所述氮气分布器(3)设置在硅粉干燥罐底部。
3.如权利要求2所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于所述氮气分布器(3)为管状。
4.如权利要求1或2或3所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于所述废气抽吸装置还包括袋滤器(6)。
5.如权利要求4所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于所述袋滤器(6)设置在所述废气出口和所述废气抽吸风机之间的管道上。
6.如权利要求5所述的硅粉干燥集成系统，其特征在于所述废气出口设置在所述氮气分布器的顶部。
专利摘要本实用新型公开了一种硅粉干燥集成系统，包括硅粉干燥罐、布置在硅粉干燥罐上的电加热器，还包括设置在所述硅粉干燥罐内部的氮气分布器和设置在硅粉干燥罐外部的废气抽吸装置，氮气分布器具有伸出至硅粉干燥罐外部的氮气进口端，氮气分布器上设有至少一个氮气置换孔，硅粉干燥罐上设有废气出口，废气出口和废气抽吸装置通过管道相通，废气抽吸装置包括废气抽吸风机；本系统中的氮气分布器使氮气分布更均匀，置换效果更好，废气抽吸装置使含水蒸汽的废气被及时抽走，确保了干燥效果，避免了管道和设备的腐蚀，避免了杂质堵塞管道，提高了合成三氯氢硅的收率，降低了生产成本，保证了多晶硅的产品品质。
文档编号F26B9/06GK202141291SQ20112021525
公开日2012年2月8日 申请日期2011年6月23日 优先权日2011年6月23日
发明者曾维华 申请人:四川瑞能硅材料有限公司