专利名称：一种硅堆清洗热氮干燥装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅堆清洗热氮干燥装置，特别涉及一种可节降低氮气消耗的硅堆清洗热氮干燥装置。
背景技术：
硅堆也叫整流块，就是把几个二极管组成的整流电路一起封装在树脂中，形成的整流电路。高压硅堆由多只高压整流二极管(硅粒)串联组成，是高压整流中将交流变成直流必不可少的原件。 硅堆在上胶前需要先进行清洗，清洗后采用丙酮脱水，再通入高纯冷氮气进行干燥。高纯冷氮气的流量达到每分钟400升左右，消耗较大，干燥成本高。
发明内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种可节降低氮气消耗的硅堆清洗热氮干燥装置。为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为一种硅堆清洗热氮干燥装置，其创新点在于包括依次设置的清洗台、丙酮脱水箱和氮气干燥箱，所述氮气干燥箱上设置干燥盖板，其特征在于所述氮气干燥箱设氮气进、出口，氮气干燥箱内还设置红外线加热灯管，所述红外线加热灯管均匀分布在氮气干燥箱的两侧。本实用新型的优点在于硅片在经过清洗后，置于丙酮脱水箱内脱水，再放置到氮气干燥箱内，盖上干燥盖板，通过冷氮气与红外线加热灯管同时进行干燥，冷氮气的流道可降低至每分钟200升左右，降低冷氮气的消耗。
图I为本实用新型硅堆清洗热氮干燥装置结构示意图。
具体实施方式
如图I所示，包括清洗台I、丙酮脱水箱2、氮气干燥箱3、干燥盖板4、氮气进口 a、氮气出口 b和红外线加热灯管5。上述清洗台I、丙酮脱水箱2、氮气干燥箱3依次设置，氮气干燥箱3上设置干燥盖板4，氮气干燥箱3的前后侧壁设置氮气进口 a和氮气出口 b。氮气干燥箱3的顶部两内侧壁均匀设置若干红外线加热灯管5。工作原理硅片在经过清洗后，置于丙酮脱水箱内脱水，再放置到氮气干燥箱3内，盖上干燥盖板4，通过冷氮气与红外线加热灯管5同时进行干燥，可相应降低冷氮气的消耗。
权利要求1.一种硅堆清洗热氮干燥装置，其特征在于包括依次设置的清洗台、丙酮脱水箱和氮气干燥箱，所述氮气干燥箱上设置干燥盖板，其特征在于所述氮气干燥箱设 氮气进、出口，氮气干燥箱内还设置红外线加热灯管，所述红外线加热灯管均匀分布在氮气干燥箱的两侧。
专利摘要本实用新型涉及一种硅堆清洗热氮干燥装置，其创新点在于包括依次设置的清洗台、丙酮脱水箱和氮气干燥箱，所述氮气干燥箱上设置干燥盖板，其特征在于所述氮气干燥箱设氮气进、出口，氮气干燥箱内还设置红外线加热灯管，所述红外线加热灯管均匀分布在氮气干燥箱的两侧。硅片在经过清洗后，置于丙酮脱水箱内脱水，再放置到氮气干燥箱内，盖上干燥盖板，通过冷氮气与红外线加热灯管同时进行干燥，冷氮气的流道可降低至每分钟200升左右，降低冷氮气的消耗。
文档编号F26B7/00GK202719838SQ201220374319
公开日2013年2月6日 申请日期2012年7月31日 优先权日2012年7月31日
发明者陈许平, 倪绍荣 申请人:南通皋鑫电子股份有限公司