技术特征：
技术总结
本发明提供一种能够再现性良好地控制温度分布的热处理装置。热处理装置(1)具有筒状的加热器(20)、由连接于加热器(20)的两端的石墨管形成的槽(30、40)以及形成于槽(30、40)的电极(31、41)。加热器(20)包括：第1石墨管(21B)；第2石墨管(21C)，其配置为一个端面与第1石墨管(21B)的一个端面接触，并具有比第1石墨管(21B)的电阻高的电阻；以及第3石墨管(21D)，其配置为一个端面与第2石墨管(21C)的另一个端面接触，并具有比第2石墨管(21C)的电阻低的电阻。
技术研发人员：中村顺一;荒川英吾
受保护的技术使用者：SEC炭素株式会社
技术研发日：2016.01.20
技术公布日：2017.09.26