一种新型靶材炉设备及靶材邦定方法与流程

文档序号:12441918阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型靶材炉设备,其特征在于:炉体(1)的一侧设置炉门(2),炉体(1)内设置加热基台(3),加热基台(3)内设有用于控温的加热装置和温度检测仪,加热基台(3)上连接用于放置靶材(5)的靶材基板(4),靶材基板(4)的正上方设置有加压板(6),加压板(6)的上端连接位于炉体(1)外的液压泵(8),炉体(1)内部与外置的真空泵(7)连通。

2.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备,其特征在于:所述加压板(6)的长度与宽度分别不小于靶材基板(4)的长度与宽度,加压板(6)的材质为不锈钢、铝、聚四氟乙烯、铜中的一种或几种组合。

3.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备,其特征在于:所述液压泵(8)上连接压力表(9)。

4.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备,其特征在于:所述加热基台(3)与靶材基板(4)之间为螺栓连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备,其特征在于:所述加热基台(3)的工作温度为150~160℃。

6.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备,其特征在于:所述真空泵(7)的工作压强为0.5~100Pa。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种新型靶材炉设备进行靶材邦定方法,其特征在于:具体包括以下步骤:

1)先在靶材基板(4)上安装模具,并进行固定;

2)将铟球放置于模具内并均匀铺平;

3)将靶材(5)放置于铟球上,并与模具贴紧,固定,确保加温加压的过程中不会产生位移;

4)利用液压泵(8)下移加压板(6),确保加压板(6)与靶材(5)贴紧锁定,关闭炉门(2);

5)开启真空泵(7),设定设备的真空腔室工作压强;

6)设定压力值,使靶材基板(4)与靶材(5)之间的压强始终维持在一定值;开启升温功能,使加热基台(3)升温至一定值;

7)待温度稳定达到一段时间后,关闭电源,卸除加压板(6)的压力;

待温度下降到一定值后,破除真空,打开炉门(2),取出焊接好的靶材进行检验。

8.根据权利要求7所述的一种靶材邦定方法,其特征在于:所述步骤5)中真空腔的工作压强为0.5~100Pa。

9.根据权利要求7所述的一种靶材邦定方法,其特征在于:所述步骤6)中靶材基板(4)与靶材(5)之间的压强始终维持在0.5~3MPa,加热基台(3)升温至150~160℃。

10.根据权利要求7所述的一种靶材邦定方法,其特征在于:所述步骤7)中维持温度稳定的时间为0.3~0.6H,破除真空的临界温度为110~130℃。

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