高压型电去离子装置及其系统和高纯度水制造方法

专利名称：高压型电去离子装置及其系统和高纯度水制造方法
技术领域：
本发明涉及适于高纯度水制造的电去离子系统，特别涉及例如在原 子能设施等设备需要满足法规或规格所规定的严格的基准的领域内，用 于用水和排水的处理的高压型电去离子系统。
背景技术：
一直以来，在原子能发电厂等、使用放射性物质的设施的用水和排 水处理设备中，作为除去不纯物的离子成分的装置，使用有釆用粒子状 离子交换树脂的离子交换装置。它是通过将被处理水通入到填充离子交 换树脂的离子交换塔内来除去不纯物离子的。
然而，离子交换树脂的交换容量是有限度的，需要将发生漏过的离 子交换树脂更换成新品，或者在漏过之前用碱或酸等的再生液再生离子 交换树脂。由于作为原子能设施的用水/排水处理的对象的被处理水含 有放射性物质，因此使用后的离子交换树脂或离子交换树脂再生废液成 为放射性废弃物，为此需要额外通过放射性废弃物处理设备进行处理， 而进行最终处分。另外，在离子交换树脂的定期的更换过程中，不得不 消耗大量的昂贵的离子交换树脂。
如上所述，原子能设施中产生的放射性液体废弃物，在厂内的处理 设备中净化，并将放射性物质浓度及其它不纯物浓度降至基准值以下 后，在厂内回收再使用，或释放到海洋中，但是对于从液体分离出来的 含有放射性物质的不纯物，在厂内进行浓缩等处理后，最终在圆罐内通 过水泥等固化，保管于设施内后最终送往处分场。该废弃物处理处分所 需要的费用极大，各原子能设施中产生的废弃物量的降低化、减容化成 为运行上的课题之一。特别是使用后的离子交换树脂是不易燃的，很难 通过焚烧实现减容，因此在设施内被原封不动地存储的箱体几乎到处存 在，而近来也产生存储能力的富余出现问题的箱体。
因此，最近，针对高纯度水制造等不纯物离子的除去处理，取代以 往的离子交换树脂，而使用无需离子交换树脂的药液再生或频繁更换等的电去离子装置。电去离子装置是一种如下的装置，即在两端部的阳 极室和阴极室之间配置有由一张以上的交换膜所划分的一个以上的去 离子室和浓缩室，并在两极室间施加电压，由此使被处理水中的不纯物 离子利用其极性穿过离子交换膜移向阳极或阴极方向，在浓缩室中浓缩 不纯物离子而获得浓缩液，在去离子室中除去不纯物离子而获得高纯度 化后的处理水。电去离子装置，由于利用电的极性使离子移动到阳极室 侧和阴极室侧而进行分离，所以从被处理水中除去不纯物离子时，原则 上只需要电力，而无需离子交换树脂再生或离子交换树脂的定期更换， 因此也能够降低需要二次处理的放射性废弃物的产生。
然而，以往的电去离子装置，由于具有膜堆的形态，即以将装入到 合成树脂制的框架内的离子交换无纺布和离子交换膜进行层叠压缩的 压滤方式而组装的形态，因此耐压性能通常在0.3 0.5MPa的程度，当 在该压力以上的情况下，会有出现从密封部等泄漏的问题，无法满足为 在处理放射性物质的原子能设施等中使用所需要的耐压性。例如，在沸 水型原子能发电厂中，通过在原子炉中产生的蒸汽来使蜗轮旋转进行发 电，之后蒸汽通过主凝汽器在负压的条件下冷却而成为冷凝水。之后， 冷凝水在低压凝泵中压力上升到约1.5MPa,在冷凝水净化装置中除去 不纯物，经由高压凝泵、供水加热器、原子炉供水泵，以约6.5MPa的 高压作为冷却剂被提供给原子炉。这里，原子炉是使用处，主凝汽器的 保温水箱是被处理水源。
另外，为了防止电去离子装置的内部泄漏，通常需要将去离子室内 的压力和浓缩室内的压力间的压差控制在0.05MPa以下，因此4艮难直 接处理中高压的被处理水。为此，如图1所示，在将高压的被处理水导 入到电去离子装置之前，导入到接收罐并在解除压力之后，通过低压泵 导入到电去离子装置。另外，当将来自电去离子装置的处理水作为高压 设施内的用水进行再利用时，导入到接收罐，并通过高压泵施以压力之 后，向高压设施内送水。因此，在将电去离子装置装入到高压设施内的 高纯度水制造系统中时，系统规模变大，因此出现设备投资上涨成巨额， 且处理操作也变得繁瑣的问题。特别是，对于原子能设施等，即便欲要 以电去离子装置代替已设的离子交换树脂塔，也受机器设置面积的限 制，事实上也不可能实施。另外，在使用接收罐用以使来自高压设施的 排水得到压力释放的情况下，大气中的氧气或二氧化碳溶解于被处理水 中，而存在不纯物浓度增加，相对于处理能力的负荷增大这样的缺陷。总而言之，作为高压的水利用设施，如果以原有压力将用水/排水注 入到电去离子装置中，则不仅会产生从去离子室的外部泄漏，且在未恰 当地控制浓缩室内的压力以与去离子室的压力平衡的情况下，还会产生 内部泄漏，导致水质恶化。

发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种即便是来自原子能发电设施等的 高压被处理水，仍可以作为高纯度水再生利用的适用于高纯度水制造系 统的电去离子装置。具体而言，其目的在于提供一种能够将来自主凝汽 器的保温水箱等的高压被处理水直接导入到电去离子装置中，并制造高 纯度水，且将制造出来的高纯度水提供给原子炉等使用处的高压型电去 离子系统和使用该系统的高纯度水制造方法。
本发明人为了解决上述课题进行了深入探讨，结果发现通过将电去 离子膜堆收容在压力容器内，并以压力容器作为电去离子装置的外壁，且 使等压的流体在压力容器内存在于电去离子膜堆的内外，从而在存在构成 电去离子膜堆的离子交换膜时，消除作用于离子交换无纺布上的压力差， 由此达成本发明的目的，进而完成本发明。
即，本发明提供一种高压型电去离子装置，其具备收容于压力容器内 的电去离子膜堆，该高压型去离子装置中，该电去离子膜堆由分别以腔室 框和离子交换膜所划分的多个腔室构成，两端部上设置有阳极室和阴极 室，配置于该阳极室和阴极室之间的腔室分别构成至少一个浓缩室和去离 子室，在构成该浓缩室的各腔室框上设置有浓缩7K入口和出口，在构成该 去离子室的各腔室框上设置有处理7jc入口和出口 ，在该压力容器内通过隔 板划分设置有浓缩水从该电去离子膜堆的各浓缩水出口流出的浓缩水 室；处理水从各处理水出口流出的处理水室。
另外，根据本发明，还提供一种高压型电去离子系统，其具备与上 述电去离子装置连结的浓缩水导入管路和浓缩水流出管路、与该浓缩水导 入管路和该浓缩水流出管路连接的浓缩水罐、设置于该浓缩水流出管路上 的浓缩水出口压力检测器和浓缩水出口压力控制阀、对该浓缩水出口压力 控制岡进行控制的浓缩水出口压力控制器、以及与上述电去离子装置连结 的被处理水导入管路和处理水流出管路、设置于该被处理水导入管路上 的被处理水流量控制阀、设置于该处理水流出管路上的处理水出口压力检测器，其中，该处理水出口压力检测器和该浓缩水出口压力检测器和 该浓缩水出口压力控制器被电连接，并利用该浓缩水出口压力控制器来 对该浓缩水出口压力控制阀进行控制，以使由该处理水出口压力检测器 检测到的处理水出口压力和由该浓缩水出口压力检测器检测到的浓缩
水出口压力间的压差为土0.05MPa。
另外，根据本发明，提供一种高纯度水的制造方法，其利用上述的高 压型电去离子系统来制造高纯度水，该高纯度水的制造方法中，对设置在 上述被处理水导入管路上的被处理水流量控制阀进行控制，而将被处理水
的流量^:定成^f吏用处所需要的流量，将被处理水导入到上述高压型电去离
子膜堆的去离子室中，将浓缩水导入到浓缩室中，并对电极之间通电来对 被处理水进行去离子处理，在此期间，利用上述处理水出口压力检测器
检测处理水出口压力A，利用上述浓缩水出口压力检测器检测浓缩水出 口压力B，对上述浓缩水压力控制阀进行控制来调整浓缩水出口压力， 以4吏该处理水出口压力A和该浓缩水出口压力B间的压差在土0.05MPa 以内。
根据本发明的高压型电去离子装置，可以将以往的因电去离子膜堆 的耐压性能而难于适用的中高压的高纯度水制造流程中的被处理水，在 不需要通过接收罐或泵等设备进行的压力调整的情况下，直接向电去离 子装置通水处理，并维持原有压力地将处理水提供给高纯度水制造流 程。其结果，大幅度地削减随离子交换树脂的再生的废液或使用后离子 交换树脂等的废弃物的产生，并且降低再生用药品或离子交换树脂的购 入费，可以节约设备整体的运行维持费。
以下，将参照附图对本发明进行说明。


图l是以往的高度纯水制造系统的构成图。
图2是表示本发明的高压型电去离子装置的一个优选实施方式的立 体图。
图3是图2的II-II剖视图。 图4是图2的III-III剖视图。图5是图2的IV-IV剖视图。
图6是表示装入有高压型电去离子装置的高压型电去离子系统的整 体构成的筒略构成图。
图7是表示根据本发明的另一实施方式的高压型电去离子装置的整 体构成的简略构成图。
符号说明如下
l-高压型电去离子装置；10-电去离子膜堆；11-腔室框；12-离子交换膜；13-阳极室；14-阴极室；15-浓缩室；16-去离子室； 17-浓缩水出口； 18-处理水出口； 19 -液供给路；20-压力容器；21 -容器主体；22-盖体；23 -隔板；24-浓缩水室；25-处理水室；26 -绝缘密封材料；27-绝缘涂层；28a-供给口； 28b-浓缩水出口； 28c -处理水出口； 29-盖板安装螺栓；30-直流电源连接端子。
具体实施例方式
图2~5所示的本实施方式的高压型电去离子装置1，具备收容在压 力容器20内的电去离子膜堆10。
此外，电去离子膜堆IO,分别由以腔室框11和离子交换膜12划分 的多个腔室组成，且两端部的腔室构成阳极室13和阴极室14，配置于 该阳极室13和阴极室14之间的腔室分别构成至少一个浓缩室15和去 离子室16，在构成该浓缩室15的各腔室框lla上设置有浓缩水出口 17， 在构成该去离子室16的各腔室框llb上设置有处理水出口 18。各腔室 中优选填充有离子交换无纺布。在该压力容器20内，通过隔板23划分 设置浓缩水从该电去离子膜堆10的各浓缩水出口 17流出的浓缩水室 24、和处理水从各处理水出口 18流出的处理水室25。
上述压力容器20由筒状的容器主体21和设置成覆盖两端的一对盖 体22组成，该盖体22形成电去离子膜堆的阴极和阳极。
电去离子膜堆10被设置在压力容器20的底部的绝缘密封材料26 上。作为绝缘密封材料26优选为非导体且具有适度的柔软性的材料， 例如特氟隆(Dupont公司的注册商标，以下相同)类的材料。在电去 离子膜堆10的上部，形成有使焊接于压力容器20的上部内表面上的隔板23嵌合的槽，而实现了构成电去离子膜堆10的各腔室的排列、和防 止液体在浓缩水室24和处理水室25之间的流通。
压力容器20两端的盖板22由导电性金属构成，且分别设置有直流 电源连接端子30,通过外加直流电压来将盖板整体形成阴极、阳极。因 此，为了防止压力容器20内部的短路，对于除与电去离子膜堆IO连接 的部分之外，均实施有特氟隆等的绝缘涂层27。在绝缘涂层27的周缘 部设置有密封圏27a。在本实施方式中，用于将盖体22安装于容器主体 21的盖板安装螺栓29，也使用绝缘螺栓，以防止从盖体22向容器主体 21的短路。
此外，在本实施方式中，盖板22虽然采用平板构造，但由于采取 将与电去离子膜堆10接触的平板安装于内部的镜构造，而能够提高耐 压性，因此也可以减少板厚。
由于膜堆的紧固是通过对盖板旋入螺栓来进行的，因此膜堆的紧固 前的全长比两侧的盖板间的距离稍长，确保随着压缩的膜堆的垫圏类的 压缩余量。
压力容器20中，对电去离子膜堆10供给被处理水或压缩水的供给 口 28a被设置在一侧盖体22的下方。供给口 28a为了确保电绝缘，而 实施特氟隆等的绝缘涂层27直到凸缘面，并且用绝缘螺栓连结管路的 凸缘。另外，在容器主体上方分别设置有用于排出浓缩水室24的浓 缩水的浓缩水出口 28b和排出处理水室25的处理水的处理水出口 28c。
在电去离子膜堆10的下方，通过将槽形成于各腔室框的下方，而 形成有将从供给口28a供给来的被处理水或浓缩7jC供给到各腔室的液体 供给路19。
接着，参照图6，对使用本实施方式的高压型电去离子装置的处理 方法进行说明。
这里，图6是表示本实施方式的装入有高压型电去离子装置的高压 型电去离子系统的筒略构成图。
图6中示出的高压型电去离子系统101包括电去离子装置l;浓 缩水循环系统110,其将浓缩7jC提供给电去离子装置1,并且在存储了从电去离子装置l排出的浓缩水后，再次提供给电去离子装置1;高纯 度水利用系统120,其将被处理水提供给电去离子装置1，并且回收从 电去离子装置l排出的净化后的处理水。
浓缩7jc循环系统no具备连接于电去离子装置1的供给口 28a的 浓缩水导入管111;与电去离子装置1的浓缩水出口 28b连结的浓缩水 流出管路112;浓缩水罐114。在浓缩水流出管路112上设置有浓缩水 出口压力检测器115和浓缩水出口压力控制阀112a。浓缩水出口压力检 测器115,与对浓缩水出口压力控制阀112a进行控制的浓缩水出口压力 控制器112b电连接。
高纯度水利用系统120具备连接于电去离子装置1的供给口 28a 和水利用设施的被处理水源的被处理水导入管121;连接于电去离子装 置1的处理水出口 28c和水利用设施的使用处的处理水流出管路122。 在被处理水导入管121上i殳置有被处理水流量控制阀121a、对被处理 水流量控制阀121a进行控制的被处理水流量控制器121b和流量发信号 器121c。在处理水流出管路122上设置有处理水出口压力检测器123、 处理水出口阀122a和处理水返回阀122b。处理水出口压力检测器123 与浓缩水出口压力控制器112b电连接。
在利用本实施方式的高压型电去离子系统101制造高纯度水时，在 系统101起动时电去离子膜堆10内为空的情况下，开放各泄水阀133、 134，开始向电去离子膜堆10送被处理水和浓缩水，使膜堆10内达到 满水。之后，关闭泄水阀133、 134。接着，依次将浓缩水和被处理水供 给到膜堆10内，进行去离子处理。
具体而言，从使用处的被处理水源，将被处理水经由被处理水导入 管121提供给电去离子装置1的被处理7jC供给口 28a，同时从浓缩水罐 114，将浓缩水经由浓缩水导入管111提供给高压型电去离子装置1的 浓缩水供给口 28a，并对高压型电去离子装置1的阳极和阴极附加电压， 而对被处理水进行去离子处理。进行过去离子处理的处理水，经过高压 型电去离子装置1的处理水室25，并穿过处理水出口28c，再经由处理 水流出管路122,提供给水利用设施的使用处。另一方面，浓缩水在高 压型电去离子装置10中进一步被浓缩，经过浓缩水室24,穿过浓缩水 出口 28b，再经由浓缩水流出管路112，返回到浓缩水罐114。在该去离 子处理期间，被处理水的流量被处理水流量控制阀121a调整成使用处的使用量。利用处理水出口压力检测器123检测出从高压型电去离子装 置1流出的处理水出口压力"A"，并利用浓缩水出口压力检测器115 检测出从高压型电去离子装置l流出的浓缩水出口压力"B"。处理水出 口压力"A"和浓缩水出口压力"B"的信号，被发送到浓缩室出口压 力控制器112b。浓缩水出口压力控制器112b对浓缩室出口压力控制阀 112a进行控制，以使"A"和"B，，之间的压差在± 0.05MPa以内。
另外，本实施方式的高压型电去离子系统101具备压差调整系统 130，以备用于在高压型电去离子装置1内的浓缩室15 (浓缩水室24) 和去离子室16 (处理水室24)之间突发产生压差的情况。压差调整系 统130包括分别与浓缩水室24及处理水室25连结的压差计131、与 浓缩水侧和处理水侧两者相连结的调整管路132、浓缩水侧泄水阀133、 处理水侧泄水阀134以及均压阀135。
调整管路132包括与浓缩水流出管路112连结的浓缩水侧管路 132a、与处理水管路122连结的处理水侧管路132b、以及将两者连结 起来的连结管路132c。浓缩水侧泄水阀133 i殳置于浓缩水侧管路132a 上。处理水侧泄水阀134i殳置于处理水侧管路132b上。均压阀135i殳 置于连结管路132c上。另外，均压阀135连接于压差计131，并基于由 压差计131检测出的电信号被控制。
在进行上述控制的过程中，为了备用于控制响应上的问题的压差暂 时性地超过规定值的情况，而用压差计131来监视处理水室25和浓缩 水室24间的压差，万一出现超过了设定值的情况时，即打开连接管路 132上设置的均压阀135，而消除压差。此时，还可以构成为利用阀122a 和阀122d的切换来使处理水返回到水利用设施的被处理水源等。
在图7所示的本发明的实施方式中，为了避免压力的急剧变动，且 易于进行压力控制，而在浓缩水流出管路和处理水流出管路上分别设置 蓄压器。此外，在图7中，对于与图6中示出的构成要素相同的构成要 素赋予了相同的标记，并省略说明。
浓缩水流出管路112上设置有用以抑制浓缩水所流过的流路的急剧 的压力变动、且易于进行压力控制的浓缩水出口蓄压器113。在浓缩水 出口蓄压器113中设置有浓缩水出口蓄压器压力发信号器113a。另外， 在浓缩水流出管路112上设置有浓缩水出口压力控制阀112a，且浓缩水出口压力控制阀112a连接于浓缩水出口压力控制器112b。
在处理水流出管路122上设置有控制处理水所流过的流路的急剧的 压力变动、且易于进行压力控制的处理水出口蓄压器124。在处理水出 口蓄压器124中设置有处理水出口蓄压器压力发信号器123a。另外，浓 缩水出口蓄压器压力发信号器113a、浓缩水出口压力控制器112b、处 理水出口蓄压器压力发信号器124a，分别电连接，并且能够基于各自所 检测到的压力来控制各阀及蓄压器。
此外，本实施方式的系统101按如下方式被使用。
在系统101起动时电去离子膜堆10内为空的情况下，开放各泄水 阀133、 134,并开始向电去离子膜堆IO送被处理水和浓缩水，使膜堆 IO内达到满水。之后，关闭泄水阀133、 134。
接着，依次将浓缩水和被处理水供给到膜堆10内，进行去离子处理。
利用浓缩水出口压力控制器112b来控制处理水和浓缩水，以使在 浓缩水出口蓄压器113和处理水出口蓄压器124内的压力分别维持在规 定的设定值。
这里，浓缩水出口压力控制器112b进行追随于处理水出口蓄压器 124的压力的级联控制，在浓缩水出口蓄压器113的压力设定值追随于 时刻变化的处理水出口蓄压器124的压力而变化的过程中，实际的浓缩 水出口蓄压器113的压力追随设定值而所需的控制阀的操作量作为输出 信号被发送。因此，浓缩水出口蓄压器113的压力被控制成与当初所设 定的处理水出口的压力相等，结果几乎不会产生电去离子装置1内的浓 缩水室24和处理水室25之间的压差、即电去离子膜堆10内的浓缩室 15和去离子室16之间的压差。从而，能够进行没有电去离子膜堆10 的内部漏泄的适当处理。
在本发明的高压型电去离子装置的压力控制中，由于电去离子膜堆 内的去离子室16和压力容器内的处理水室24、以及电去离子膜堆内的 浓缩室15和压力容器内的浓缩水室25，彼此流体连通，因此可以忽视 压力容器内的电去离子膜堆内外的压力差。在本发明中，应该控制的压 差，为了避免膜堆内部泄漏，故优选保持在例如0.05MPa以下。根据本发明的使用高压型电去离子装置的高压型电去离子系统，能 够将以往的因电去离子膜堆的耐压性能而难于适用的中高压的高纯度 水制造流程中的被处理水，在不需要通过接收罐或泵等设备进行的压力 调整的情况下，直接向电去离子装置通水处理，并维持原有压力地将处 理水提供给高纯度水制造流程。其结果，大幅度地削减随离子交换树脂 的再生的废液或使用后离子交换树脂等的废弃物的产生，并且降低再生 用药品或离子交换树脂的购入费，可以节约设备整体的运行维持费。
另外，特别通过采用将压力容器的两侧盖板作为电去离子膜堆的阳 极和阴极，并直接用盖体紧固膜堆的构造，而且对膜堆底部和压力容器 内部实施适当的密封，来进一步提高上述的效果。
此外，本发明的管路并不局限于上述的实施方式，可以在不脱离本 发明的思想的范围之内进行各种变更。
权利要求
1.一种高压型电去离子装置，具备收容于压力容器内的电去离子膜堆，其特征在于，该电去离子膜堆由分别以腔室框和离子交换膜所划分的多个腔室构成，两端的腔室构成阳极室和阴极室，配置于该阳极室和阴极室之间的腔室分别构成至少一个浓缩室和去离子室，在构成该浓缩室的各腔室框上设置有浓缩水入口和出口，在构成该去离子室的各腔室框上设置有处理水入口和出口，在该压力容器内通过隔板划分设置有浓缩水从该电去离子膜堆的各浓缩水出口流出的浓缩水室；处理水从各处理水出口流出的处理水室。
2. 根据权利要求l所述的高压型电去离子装置，其特征在于，上 述压力容器由筒状的容器主体和被设置成覆盖该容器主体的两端的一 对盖体构成，该一对盖体分别形成电去离子膜堆的阴极室和阳极室。
3. —种高压型电去离子系统， 具备权利要求1或2所述的高压型电去离子装置、与该电去离子装置连结的浓缩水导入管路和浓缩水流出管路、与该 浓缩水导入管路和该浓缩水流出管路连接的浓缩水罐、设置于该浓缩水 流出管路上的浓缩水出口压力检测器和浓缩水出口压力控制阀、对该浓 缩水出口压力控制阀进行控制的浓缩水出口压力控制器、以及与该电去离子装置连结的被处理水导入管路和处理水流出管路、设 置于该被处理水导入管路上的被处理水流量控制岡、设置于该处理水流 出管路上的处理水出口压力检测器，该处理水出口压力检测器和该浓缩水出口压力检测器和该浓缩水 出口压力控制器被电连接，并利用该浓缩水出口压力控制器来对该浓缩 水出口压力控制阀进行控制，以使由该处理水出口压力检测器检测到的 处理水出口压力和由该浓缩水出口压力检测器检测到的浓缩水出口压 力间的压差为± 0.05MPa。
4. 根据权利要求3所述的高压型电去离子系统，其特征在于，还 具备设置于上述处理水流出管路上的处理水出口蓄压器，上述处理水出 口压力检测器连接于该处理水出口蓄压器，以检查出该处理水出口蓄压器内的压力；浓缩水出口压力控制器基于所检测到的处理水压力来控制 浓缩水出口压力控制阀。
5. 根据权利要求3或4所述的高压型电去离子系统，其特征在于， 还具备设置于上述浓缩水流出管路上的浓缩水出口蓄压器，上述浓缩水 出口压力检测器连接于该浓缩水出口蓄压器，以检查出该浓缩水出口蓄 压器内的压力。
6. 根据权利要求3~5中任意一项所述的高压型电去离子系统，其 特征在于，还具备压差检测器，其检测上述电去离子装置的浓缩水室内压力和处理水 室内压力间的压差；均压阀，其与上述处理水流出管路和上述浓缩水流出管路相连接， 并基于由该压差检测器检测到的压差而被控制。
7. 根据权利要求3~6中任意一项所述的高压型电去离子系统，其 特征在于，该系统用于处理原子能设施的用水和排水。
8. —种高纯度水的制造方法，利用权利要求3~7中任意一项所述 的高压型电去离子系统来制造高纯度水，其特征在于，对设置在上述被处理水导入管路上的被处理水流量控制阀进行控 制，将被处理水的流量设定成使用处所需要的流量，将被处理水导入到 上述高压型电去离子膜堆的去离子室中，将浓缩水导入到浓缩室，在阳 极和阴极之间通电来对被处理水进行去离子处理，在此期间， 由上述处理水出口压力检测器检测出处理水出口压力A， 由上述浓缩水出口压力检测器检测出浓缩水出口压力B， 对上述浓缩水压力控制阀进行控制来调整浓缩水出口压力，以使该 处理水出口压力A和该浓缩水出口压力B间的压差在土0.05MPa以内。
9. 根据权利要求8所述的高纯度水的制造方法，其特征在于， 上述高压型电去离子系统还具备检测浓缩水室内压力和处理水室内压力间的压差的压差检测器；与上述处理水流出管路和上述浓缩水流 出管路相连接，并基于该压差检测器所检测到的压差而被控制的均压 阀，在上述处理水出口压力A和上述浓缩水出口压力B之间的压差超 出由构成电去离子膜堆的离子交换膜的强度所决定的最终设定值的时刻，打开上述均压阀而停止运行。
10.根据权利要求9所述的高纯度水的制造方法，其特征在于，由 上述离子交换膜的强度所决定的最终设定值为士0.4MPa。
全文摘要
一种即便是来自原子能设施等的高压被处理排水，仍可以作为高纯度用水再生利用的适用于高纯度水制造系统的电去离子装置。电去离子膜堆(10)由分别以腔室框(11)和离子交换膜(12)所划分的多个腔室构成。两端部的腔室构成阳极室(13)和阴极室(14)，配置于阳极室和阴极室之间的腔室分别构成至少一个浓缩室(15)和去离子室(16)。在构成浓缩室的各腔室框(11a)上设置有浓缩水出口(17)，在构成去离子室的各腔室框(11b)上设置有处理水出口(18)。在压力容器内通过隔板(23)划分设置有浓缩水从电去离子膜堆的各浓缩水出口流出的浓缩水室(24)；处理水从各处理水出口流出的处理水室(25)。
文档编号C02F1/469GK101407349SQ20081016748
公开日2009年4月15日 申请日期2008年10月10日 优先权日2007年10月11日
发明者三浦信二, 上野修一 申请人:株式会社荏原制作所