散气装置的制作方法

文档序号:4817893阅读:252来源:国知局
专利名称:散气装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种散气装置。
背景技术
以往,在膜分离活性污泥处理系统中,使用膜分离装置,该装置使用处理槽中配置的膜分离组件来进行被处理水的固液分离。膜分离装置具有散气装置,该散气装置包括送风机以及散气管。在膜分离组件的下方,配置有通过送风机供给空气的散气管,通过从散气管放出的空气气泡来对处理槽内的被处理水进行曝气,同时利用从散气管放出的空气气泡的上升来生成气液混合流,使膜分离组件摇动而将其过滤面上附着的污泥剥离,从而抑制膜表面的网眼堵塞。这里,散气管上的散气孔因为散气而通过空气,但长时间使用的话会因为散气管内堆积的污泥以及散气运行停止时沉降、堆积的污泥等,发生孔堵塞。因此,延长散气管而将其与输送空气的送风机的吸入侧连接,在将送风机的散气运行停止后,再次驱动送风机,这次从送风机的吸入侧吸引散气管,使被处理水从散气孔流入,利用被处理水将附着在散气孔周围的固体成分溶解去除。在上述的以往的散气装置中,送风机的吸入侧与散气管连接,因此污泥会很快地流入散气管的内部,能够去除散气孔的附着物。但是,从散气管流入的污泥就这样流入送风机的吸入侧而导致送风机的损坏,所以必须在送风机和散气管之间设置气液分离装置。并且,因送风机吸入的散气管内的空气会暴露在污泥中,由此从活性污泥中产生腐蚀性的气体,也存在损坏送风机的危险。

实用新型内容本实用新型鉴于上述问题,目的在于提供一种散气装置,能够在对散气管中的散气孔的附着物进行清洗的同时,避免送风机的损坏。本实用新型的技术方案1为,一种散气装置,包括散气管,该散气管浸渍在处理槽内的被处理水中,并具有多个散气孔;以及气体供给装置,该气体供给装置通过气体供给管与所述散气管连接,该散气装置的特征在于在所述气体供给管上连接有使所述散气管内产生负压的负压发生装置。本实用新型的技术方案2为,如技术方案1所述的的散气装置,所述负压发生装置为与流体供给装置连接、并使从所述流体供给装置供给的流体通过内部的吸气器。本实用新型的技术方案3为,如技术方案2所述的的散气装置,所述流体供给装置为与原水槽连接、并将原水从所述原水槽供给到配置在所述处理槽上游侧的缺氧槽的原水输送装置。本实用新型的技术方案4为,如技术方案2所述的的散气装置,所述流体供给装置为与所述处理槽连接、并使污泥在所述处理槽和配置在所述处理槽上游侧的缺氧槽之间循环的污泥输送装置。[0012]本实用新型的技术方案5为,如技术方案1所述的的散气装置,所述负压发生装置为设置在所述气体供给管的中途、并使从所述气体供给装置供给的气体通过内部的喷射
ο本实用新型的技术方案6为,如技术方案1所述的的散气装置,所述散气管具有 形成有所述散气孔的散气部;以及与该散气部流体连通、配置在该散气部下方并形成有液体导入口的导入部。本实用新型的技术方案7为,如技术方案6所述的的散气装置,所述散气孔设置在所述散气管的铅直上方。本实用新型的技术方案8为,如技术方案6或7所述的的散气装置,所述液体导入口设置在所述导入部的铅直下方。由于本实用新型采用了上述的技术方案,所以能够利用负压对散气管中的散气孔的附着物进行清洗,从而避免了送风机的损坏。

图1是示意性表示使用本实用新型的实施形态的散气装置的膜分离活性污泥处理系统的说明图。图2是表示本实用新型的第1实施形态的通常运行状态的主要部分说明图。图3是表示本实用新型的第1实施形态的清洗运行状态的主要部分说明图。图4是表示本实用新型的第2实施形态的通常运行状态的主要部分说明图。图5是表示本实用新型的第2实施形态的清洗运行状态的主要部分说明图。图6是表示本实用新型的第3实施形态的通常运行状态的主要部分说明图。图7是表示本实用新型的第3实施形态的清洗运行状态的主要部分说明图。图8是表示本实用新型的第4实施形态的通常运行状态的主要部分说明图。图9是表示本实用新型的第4实施形态的清洗运行状态的主要部分说明图。图10是本发实用新型的散气装置中所使用的较为理想的散气管的侧视图。图11是沿图10的III-III线的剖视图。图12是其他较为理想的散气管的侧视图。图13是另一较为理想的散气管的侧视图。
具体实施方式
参照附图,对本实用新型的实施形态进行说明。第1实施形态图1是示意性地表示膜分离活性污泥处理系统的说明图,该膜分离活性污泥处理系统使用本实用新型的实施形态的散气装置。该膜分离活性污泥处理系统是对含有有机物、微生物以及细菌等的污水进行生化处理、并使用中空纤维膜进行固液分离的系统。作为净水处理对象的污水,例如经过500mm的一次格栅1以及Imm的二次格栅2 过滤后,作为原水收容在原水槽3内。原水槽3的下游侧配置有缺氧槽4。原水槽3和缺氧槽4通过原水配管5连接,原水配管5的开口端在缺氧槽4的上方开口,原水配管5上安装有提升泵6。通过该提升泵6,原水从原水槽3向缺氧槽4供给。缺氧槽4的下游侧配置有作为处理槽的一例的好氧槽7。缺氧槽4和好氧槽7与将污泥从缺氧槽4供给到好氧槽7的溢出路径8、以及使污泥从好氧槽7向缺氧槽4返回的返回配管9连接。返回配管9的开口端在缺氧槽4的上方开口。返回配管9上安装有污泥循环泵10,通过溢出路径8溢出的同时使污泥能够在缺氧槽 4和好氧槽7之间循环。在缺氧槽4中收容有对槽内进行搅拌的搅拌装置11。好氧槽7具有多个膜分离组件12,这些膜分离组件浸渍在好氧槽7中收容的活性污泥内。散气装置14,包括散气管17,该散气管17浸渍在处理槽(本实施形态中为好氧槽7)内的被处理水中,并具有多个散气孔;以及气体供给装置(本实施形态中为送风机 13),该气体供给装置通过气体供给管(本实施形态中为空气供给管15、空气给排管16)与散气管17连接,在气体供给管上连接有使散气管17内产生负压的负压发生装置(本实施形态中为喷射器20)。喷射器20设置在气体供给管的中途、并使从气体供给装置供给的气体通过内部。具体来说,在膜分离组件12的下方配置有与送风机13连接的散气管17。从送风机13延伸的空气供给管15上连接有喷射器20的入口端口 21,喷射器20的出口端口 22上连接有开闭阀25。在喷射器20上连接有空气给排管16,以使其与喷射器20的管嘴19周围的负压室23连通,空气给排管16与散气管17连接。喷射器20利用气体流过时的汾丘里效果而做成减压状态的装置。好氧槽7的下游侧配置有处理水槽27。膜分离组件12的净水侧的端口与处理水槽27通过处理水配管28连接,通过安装在处理水配管28上的过滤泵四,膜分离组件12所吸引过滤后的处理水被进一步过滤而供给到处理水槽27内。处理水配管观上连接有净化液配管32,该净化液配管32通过泵31将净化液从化学净化单元30供给到处理水配管28 上。并且,处理水槽27与排水管33连接。接着,说明第1实施形态的作用。通过提升泵6从原水槽3供给到缺氧槽4内的污泥,通过污泥循环泵10在溢出路径8和返回配管9中流动,从而在缺氧槽4和好氧槽7 之间循环。此时,在好氧槽7中,进行以下的运行通常运行,该通常运行为一边对膜分离组件12进行空气刷洗一边利用好氧槽7内的膜分离组件12对污泥进行吸引过滤而固液分离;清洗运行,该清洗运行为了去除散气装置14的散气管17的堵塞,吸引污泥而溶解散气管17上的固着成分。图2示意性地表示通常运行状态的第1实施形态的散气装置的主要部分,图3示意性地表示清洗运行状态的第1实施形态的散气装置的主要部分。如图2所示,在散气装置14的通常运行的情况下,闭塞开闭阀25,打开送风机13而从空气供给管15供给空气,空气从喷射器20的负压室23向与负压室23连通的空气给排管16输送,从散气装置14的散气管17的多个散气孔排出并变成气泡,而进行向好氧槽7内的曝气。因此,喷射器20只是作为配管的一部分起作用。从散气装置14的散气管17放出的气泡所产生的气液混合流不向倾斜方向飞散, 而笔者上升与膜分离组件12高效率地接触。此时,通过与膜分离组件12的膜表面相对的气液混合流的均勻分散,使多孔中空纤维膜摆动而均勻地对中空纤维膜组件进行清洗。此后,气液混合流上升而向周边流动并下降,整体形成上下方向的回旋流。通过该回旋流,活性污泥被搅拌,使生化处理均勻化。这里,在散气装置14的散气管17上形成多个散气孔,进行通常运行时从该散气孔放出空气,但由于散气装置14的长时间使用,散气管17的散气孔渐渐因为污泥而闭塞,从而不能进行有效的空气刷洗运行。为了防止这种闭塞,最好定期反复进行上述的清洗运行。或者,根据检测到的送风机13的吐出侧压力来进行清洗运行。因此,根据送风机13的吐出侧的压力或者空气供给管15、空气给排管16上设置的压力传感器,当空气供给管15、空气给排管16的压力为规定值以上时,认为散气管17的散气孔闭塞了,因此停止通常运行而开始散气装置的清洗运行。如图3所示,开始散气装置的清洗运行时,保持送风机13打开的状态,并开放开闭阀25。于是,空气从空气供给管15向喷射器20、开闭阀25喷出,从喷射器20的管嘴19向喷射器20的出口端口 22喷出的空气流产生汾丘里效果,由此在管嘴19的周围的负压室23 产生负压,通过发生的负压,对空气给排管16作用吸引力。因此,通过空气给排管16的负压,从散气管17的散气孔吸引污泥,利用吸引时的流速将固体成分从散气孔剥离,同时通过溶解固体化的污泥而消除散气管17的散气孔的闭塞状态。此时,清洗运行时,也可以调整清洗运行的时间,使从散气管17吸引的污泥不到达喷射器20。此时,通过喷射器20充分确保负压的话,吸引的污泥从散气管17内经过开闭阀25而能够被排出,因此,闭塞散气孔17的固体成分没有充分被溶解时也不会返回散气管 17的内部,不会成为再次产生堵塞的原因。散气管17的散气孔的闭塞状态被消除的话,再次进行上述的通常运行。进行通常运行时,在通常运行初期,散气管17内的干燥污泥以被溶解的状态被从散气孔推压到好氧槽7,此后,再次进行向散气管17供给空气所产生的空气刷洗。采用第1实施形态,有效利用散气装置14的送风机13,利用送风机13发出的吐出空气而在喷射器20中产生负压,因此送风机13不会吸入空气给排管16内的气体,所以不会像利用送风机13的吸入侧的负压、吸入污泥的情况那样,使送风机13吸入污泥或吸入污泥产生的腐蚀性气体而导致损坏,为了防止散气管17的孔堵塞,即使不使用气液分离装置也可以保护送风机13。特别是,在该实施形态中,在保持连续运行送风机13的状态下,只要操作开闭阀 25就能切换通常运行和清洗运行,因此可以简单地进行操作。并且,只要使用散气用的已有的送风机13就能进行清洗运行,所以装置结构简单、设置也容易。第2实施形态接着,引用图1、并且基于图4、图5,对本实用新型的第2实施形态进行说明。图4 示意性表示通常运行状态下的第2实施形态的散气装置的主要部分,图5示意性表示清洗运行状态下的第2实施形态的散气装置的主要部分。并且在以下的说明中,与第1实施形态相同的部分标注相同的符号而省略说明。在本实施形态中,在散气装置14的散气管17上作用负压的负压发生装置,采用利用了独立的流体供给装置(本实施形态中为泵66)的吸气器60而不使用第1实施形态的喷射器20。送风机13只用于对散气管17输送空气,而与负压发生没有任何关系。如图4、5所示,吸气器60与泵66连接、并使从泵66供给的流体通过内部。连接到散气管17上的空气给排管16通过开闭阀56可连通地与吸气器60的负压室63连接。吸气器60的入口端口 61上连接有水配管57,该水配管通过泵66供给水容器58的水。在吸气器60的出口端口 62连接有向好氧槽7开口的返回配管64。在送风机13上连接有安装有开闭阀65的空气供给管15,空气供给管15在开闭阀56和散气管17之间与空气给排管 16合流连接。并且,59表示吸气器60内部的管嘴。接着,说明第2实施形态的作用。如图4所示,在散气装置的通常运行的情况,关闭泵66,闭塞开闭阀56,以开放开闭阀65的状态打开送风机13,从送风机13输送到空气供给管15的空气经过空气给排管16而从散气管17的多个散气孔排出,并变成气泡,进行向好氧槽7内的曝气。接着,因为通常运行而散气管17的散气孔闭塞的情况,通过送风机13 的吐出侧的压力等被检测出时,停止通常运行而进行清洗运行。如图5所示,开始散气装置的清洗运行时,关闭送风机13,关闭开闭阀65的同时, 在开放开闭阀56的状态下打开泵66。于是,水容器58的水经过水配管57供给到吸气器 60,从吸气器60的管嘴59向吸气器60的出口端口 62喷出的水流产生汾丘里效果,由此在管嘴59的周围的负压室63产生负压,通过发生的负压,对空气给排管16作用吸引力。因此,起到与第1实施形态相同的作用。采用第2实施形态,只利用送风机13对散气装置14供给空气,因此送风机13不会吸入空气给排管16内的气体,所以不会像利用送风机13的吸入侧的负压、吸入污泥的情况那样,使送风机13吸入污泥或吸入污泥发生的腐蚀性气体而导致损坏,为了防止散气管 17的孔堵塞,即使不使用气液分离装置也可以保护送风机13。特别是,在该实施形态中,通过吸气器60能够充分确保负压时,吸引的污泥返回到好氧槽7,因此即使闭塞散气孔的固体成分没有被充分地溶解,也不会返回到散气管17 的内部,不会成为再次产生堵塞的原因。第3实施形态接着,引用图1、并基于图6、图7,对本实用新型的第3实施形态进行说明。图6示意性表示通常运行状态下的第3实施形态的散气装置的主要部分,图7示意性表示清洗运行状态下的第3实施形态的散气装置的主要部分。并且在以下的说明中,与第1实施形态以及第2实施形态相同的部分标注相同的符号而省略说明。在本实施形态中,在散气装置14的散气管17上作用负压的负压发生装置,采用利用了原水输送装置(本实施形态中为提升泵6)的吸气器60而不使用第1实施形态的喷射器20,该提升泵6将原水从已有的设备的原水槽3输送到缺氧槽4。送风机13只用于对散气管17输送空气,而与负压发生没有任何关系。如图6、7所示,吸气器60与提升泵6连接、并使从提升泵6供给的流体通过内部。 提升泵6与原水槽3连接、并将原水从原水槽3供给到配置在好氧槽7上游侧的缺氧槽4。 连接到散气管17上的空气给排管16通过开闭阀56可连通地与吸气器60的负压室63连接。吸气器60安装在原水配管5上,该原水配管5将原水槽3的原水输送到缺氧槽4,具体来说吸气器60安装在提升泵6和缺氧槽4之间。S卩,吸气器60的入口端口 61和出口端口 62与原水配管5连接。送风机13上连接有安装有开闭阀65的空气供给管15,空气供给管15在开闭阀56和散气管17之间与空气给排管16合流连接。接着,说明第3实施形态的作用。如图6所示,在散气装置的通常运行的情况,原水槽3的原水通过提升泵6从原水配管5经过吸气器60向缺氧槽4供给,所以从吸气器60 的管嘴59向吸气器60的出口端口 62喷出的原水流产生汾丘里效果,由此在管嘴59的周围的负压室63已产生负压。在此状态下,闭塞开闭阀56,以开放开闭阀65的状态打开送风机13时,从送风机 13输送到空气供给管15的空气经过空气给排管16而从散气管17的多个散气孔放出,变成气泡,进行向好氧槽7内的曝气。接着,因为通常运行而散气管17的散气孔闭塞的情况,通过送风机13的吐出侧的压力等被检测出时,停止通常运行而进行清洗运行。如图7所示,开始散气装置的清洗运行时,关闭送风机13,关闭开闭阀65的同时, 开放开闭阀56。于是,在通常运行时已产生的负压从吸气器60的负压室63向空气给排管 16作用吸引力。因此,起到与第2实施形态相同的作用。当然,本实施形态是采用厌氧好氧活性污泥法进行说明的,所以污泥的排出地为缺氧槽,但是如果是标准活性污泥法、厌氧缺氧好氧活性污泥法(A2/0法)等其他的方法的话,污泥的排出地也可以是好氧槽、缺氧槽、膜槽等任意的槽。采用第3实施形态,只利用送风机13对散气装置14供给空气,因此送风机13不会吸入空气给排管16内的气体,所以不会像利用送风机13的吸入侧的负压、吸入污泥的情况那样,使送风机13吸入污泥或吸入污泥发生的腐蚀性气体而导致损坏,为了防止散气管 17的孔堵塞,即使不使用气液分离装置也可以保护送风机13。特别是,在第3实施形态中,能够有效地利用原水的流动,该原水从已有的设备的原水槽3通过提升泵6向原水配管5输送。并且,在该实施形态中,通过吸气器60能够充分确保负压时,吸引的污泥能够被排出到缺氧槽4,因此即使闭塞散气孔的固体成分没有被充分地溶解,也不会返回到散气管 17的内部,不会成为再次产生堵塞的原因。第4实施形态接着,引用图1、并基于图8、图9,对本实用新型的第4实施形态进行说明。图8示意性表示通常运行状态下的第4实施形态的散气装置的主要部分,图9示意性表示清洗运行状态下的第4实施形态的散气装置的主要部分。并且在以下的说明中,与第1实施形态以及第3实施形态相同的部分标注相同的符号而省略说明。在本实施形态中,在散气装置14的散气管17上作用负压的负压发生装置,采用利用了污泥输送装置(本实施形态中为污泥循环泵10)的吸气器60而不使用第1实施形态的喷射器20,该污泥循环泵10使污泥从已有的设备的好氧槽7返回到缺氧槽4。送风机13 只用于对散气管17输送空气,而与负压发生没有任何关系。如图8、9所示,吸气器60与污泥循环泵10连接、并使从污泥循环泵10供给的流体通过内部。污泥循环泵10与好氧槽7连接、并使污泥在好氧槽7和配置在好氧槽7上游侧的缺氧槽4之间循环。连接到散气管17上的空气给排管16通过开闭阀56可连通地与吸气器60的负压室63连接。吸气器60安装在返回配管9上,该返回配管9使好氧槽7的污泥循环到缺氧槽4内,具体来说吸气器60安装在污泥循环泵10和缺氧槽4之间。S卩,吸气器60的入口端口 61和出口端口 62与返回配管9连接。送风机13上连接有安装有开闭
8阀65的空气供给管15,空气供给管15在开闭阀56和散气管17之间与空气给排管16合流连接。接着,说明第4实施形态的作用。如图8所示,在散气装置的通常运行的情况,好氧槽7的污泥通过污泥循环泵10从返回配管9经过吸气器60向缺氧槽4供给,所以从吸气器60的管嘴59向吸气器60的出口端口 62喷出的污泥流产生汾丘里效果,由此在管嘴 59的周围的负压室63已产生负压。在此状态下,闭塞开闭阀56,以开放开闭阀65的状态打开送风机13时,从送风机 13输送到空气供给管15的空气经过空气给排管16而从散气管17的多个散气孔放出,并变成气泡,进行向好氧槽7内的曝气。接着,因为通常运行而散气管17的散气孔闭塞的情况, 通过送风机13的吐出侧的压力等被检测出时,停止通常运行而进行清洗运行。如图9所示,开始散气装置的清洗运行时,关闭送风机13,关闭开闭阀65的同时, 开放开闭阀56。于是,在通常运行时已产生的负压从吸气器60的负压室63向空气给排管 16作用吸引力。因此,起到与第3实施形态相同的作用。采用第4实施形态,只利用送风机13对散气装置14供给空气,因此送风机13不会吸入空气给排管16内的气体,所以不会像利用送风机13的吸入侧的负压、吸入污泥的情况那样,使送风机13吸入污泥或吸入污泥发生的腐蚀性气体而导致损坏,为了防止散气管 17的孔堵塞,即使不使用气液分离装置也可以保护送风机13。特别是,在第4实施形态中,能够有效地利用污泥的流动,该污泥从已有的设备的好氧槽7通过污泥循环泵10向返回配管9输送。并且,在该实施形态中,通过吸气器60能够充分确保负压时,吸引的污泥能够返回到缺氧槽4,因此即使闭塞散气孔的固体成分没有被充分地溶解,也不会返回到散气管 17的内部,不会成为再次产生堵塞的原因。并且,本实用新型不限于上述实施形态,例如作为负压发生装置使用的与气体对应的喷射器或者与液体对应的吸气器,只要是使用气体或液体流过引起的汾丘里效果而发生负压的结构都可以。接着说明本实用新型的散气管的形态。散气管具有形成有散气孔的散气部;以及与该散气部流体连通、并形成有在该散气部下方配置的液体导入口的导入部。散气孔设置在所述散气管的铅直上方。液体导入口设置在所述导入部的铅直下方。图10是散气管17的侧视图。图11是沿图10的III-III线的剖视图。如图10 所示,散气管17形成为短的脚部114处于下方、长的脚部116处于上方的横倒的形状。短的脚部114和长的脚部116通过上下方向延伸的连接部115连接。短的脚部114为下侧面(铅直下方)形成有多个开口部(液体导入口)118的导入部。该导入部114的顶端侧为气体接收部119,在该气体接收部119上安装有盖子121, 盖子121上具有与空气给排管16连接的开口,从空气给排管16导入曝气用的空气。长的脚部116为与导入部114流体连通的散气部,该散气部116在上侧面(铅直上方)具有多个散气孔128,用于将曝气用的气体喷出。散气部116的顶端部由盖部117封闭。[0089]第1变形例如图12所示,散气管130具有配置在上方的散气部132 ;从散气部132的中央垂下的连接部133的下端向横向弯曲的导入部134。散气部132和导入部134上分别形成有多个散气孔136以及液体导入孔138。并且,散气部132的两端被封闭,同时导入部134的顶端与空气给排管16连接。这样,从被处理水流入散气部132的位置到最远的散气孔136的距离变小,被处理水和气体可以较为均等地分配到各散气孔136。第2变形例如图13所示,散气管140具有配置在上方的散气部142 ;从散气部142的两端垂下的连接部143的下端向横向弯曲的导入部144。散气部142和导入部144上分别形成有多个散气孔146以及液体导入孔148。并且,导入部144的顶端部向上方弯曲,顶端连接有空气给排管16。这样,从被处理水流入散气部142的位置到最远的散气孔146的距离变小,被处理水和气体可以较为均等地分配到各散气孔146。上面,对本实用新型的最佳实施形态进行了说明,但本实用新型不限于所述实施形态。关于具体的结构,在不脱离本实用新型的宗旨的范围内,可进行适当的改变。
权利要求1.一种散气装置,包括散气管,该散气管浸渍在处理槽内的被处理水中,并具有多个散气孔;以及气体供给装置,该气体供给装置通过气体供给管与所述散气管连接,该散气装置的特征在于在所述气体供给管上连接有使所述散气管内产生负压的负压发生装置。
2.如权利要求1所述的散气装置,其特征在于,所述负压发生装置为与流体供给装置连接、并使从所述流体供给装置供给的流体通过内部的吸气器。
3.如权利要求2所述的散气装置,其特征在于,所述流体供给装置为与原水槽连接、并将原水从所述原水槽供给到配置在所述处理槽上游侧的缺氧槽的原水输送装置。
4.如权利要求2所述的散气装置,其特征在于,所述流体供给装置为与所述处理槽连接、并使污泥在所述处理槽和配置在所述处理槽上游侧的缺氧槽之间循环的污泥输送装置。
5.如权利要求1所述的散气装置,其特征在于,所述负压发生装置为设置在所述气体供给管的中途、并使从所述气体供给装置供给的气体通过内部的喷射器。
6.如权利要求1所述的散气装置,其特征在于,所述散气管具有形成有所述散气孔的散气部;以及与该散气部流体连通、配置在该散气部下方并形成有液体导入口的导入部。
7.如权利要求6所述的散气装置,其特征在于,所述散气孔设置在所述散气管的铅直上方。
8.如权利要求6或7所述的散气装置,其特征在于,所述液体导入口设置在所述导入部的铅直下方。
专利摘要本实用新型提供一种散气装置,包括散气管,该散气管浸渍在处理槽内的被处理水中,并具有多个散气孔;以及气体供给装置,该气体供给装置通过气体供给管与所述散气管连接,在所述气体供给管上连接有使所述散气管内产生负压的负压发生装置。能够利用负压对散气管中的散气孔的附着物进行清洗,从而避免了送风机的损坏。
文档编号C02F3/12GK202226715SQ20112033502
公开日2012年5月23日 申请日期2011年9月7日 优先权日2011年9月7日
发明者中原祯仁, 坂口丰治, 川岸朋树 申请人:三菱丽阳株式会社
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