一种用于净化电铸液中有机杂质的系统的制作方法

文档序号:11600209阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于净化电铸液中有机杂质的系统,其特征在于:它包括依次顺序连接且组成封闭液流回路的电铸槽(1)、节流阀Ⅰ(2-1)、泵(3)、节流阀Ⅱ(2-2)、流量计(4)、节流阀Ⅲ(2-3)、过滤器(5)、节流阀Ⅳ(2-4)、活性炭滤芯过滤器(6)、节流阀Ⅴ(2-5)、含有树脂(8)的树脂滤芯过滤器(7)和节流阀Ⅵ(2-6)。

2.根据权利要求1所述的一种用于净化电铸液中有机杂质的系统,其特征在于:所述的树脂(8)是无官能团的高分子聚合物,平均粒径为0.45~0.50mm,平均孔径为5~10nm。

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