一种硅晶片清洗用固定装置的制作方法

本实用新型涉及硅晶片生产设备技术领域，具体为一种硅晶片清洗用固定装置。

背景技术：

硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。

目前的硅晶片清洗用固定装置，在固定硅晶片时极为不便，且固定不牢靠，一般的硅晶片清洗用固定装置对硅晶片的固定具有一定局限性，不方便固定大小不同的硅晶片，即实用性差。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种硅晶片清洗用固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅晶片清洗用固定装置，包括支撑腿，所述支撑腿的顶端固定安装有防护壳，所述防护壳的底端固定安装有电机，所述电机的动力输出端固定安装有转杆，所述转杆的表面固定安装有第一锥齿轮，所述防护壳的内部固定安装有支撑块，所述支撑块的内部活动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的表面固定安装有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相啮合，所述第一螺纹杆的表面旋合有l形块，所述l形块的内侧固定安装有夹紧装置，所述防护壳的顶端固定安装有工作台。

所述夹紧装置包括第二螺纹杆，所述l形块的内部旋合有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的表面旋合有活动块，所述活动块的内部活动连接有剪叉式活动板，所述活动板的底端活动连接有滑块，所述l形块的内部活动连接有夹块，所述夹块的顶端固定安装有固定块，所述固定块的内侧固定安装有固定杆，所述滑块活动连接在固定杆的表面，所述l形块的内侧固定安装有辅助块。

优选的，所述防护壳的内部固定安装有l形杆，且l形块活动连接在l形杆的表面。

优选的，所述第一螺纹杆的两端设有限位块，且限位块固定安装在防护壳内部两侧壁处，两个l形块与第一螺纹杆的连接处设有相反的螺纹。

优选的，所述l形块的内部固定安装有支撑杆，且夹块活动连接在支撑杆的表面，l形块的内部开设有与夹块相适配的槽，夹块的底端固定安装有软性垫块。

优选的，所述两个活动块与第二螺纹杆的连接处设有相反的螺纹，两个活动板通过连接杆活动连接。

优选的，所述防护壳的内部开设有与l形块相适配的槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该硅晶片清洗用固定装置，通过l形块的内侧固定安装有夹紧装置，且两个l形块由防护壳的内部设置的调节机构，使得夹紧装置在工作台的上方，便于由夹紧装置将硅晶片牢靠的固定在工作台的上表面。

2、该硅晶片清洗用固定装置，先通过启动电机，使得转杆带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮带动第二锥齿轮使得第一螺纹杆转动，第一螺纹杆带动两个l形块同时向工作台的中心处靠拢的方式移动，即两个l形块之间的距离可以调节，再通过l形块的内侧固定安装有夹紧装置，便于将大小不同的硅晶片牢靠的固定在工作台的上表面。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型l形块的内部结构示意图；

图3为本实用新型图1中a处放大图。

图中：1、支撑腿；2、防护壳；3、电机；4、转杆；5、第一锥齿轮；6、支撑块；7、第一螺纹杆；8、第二锥齿轮；9、l形块；10、夹紧装置；1001、第二螺纹杆；1002、活动块；1003、活动板；1004、滑块；1005、夹块；1006、固定块；1007、固定杆；1008、辅助块；11、工作台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种硅晶片清洗用固定装置，包括支撑腿1，支撑腿1的顶端固定安装有防护壳2，防护壳2的内部固定安装有l形杆，且l形块9活动连接在l形杆的表面，防护壳2的底端固定安装有电机3，电机3的动力输出端固定安装有转杆4，转杆4的表面固定安装有第一锥齿轮5，防护壳2的内部固定安装有支撑块6，支撑块6的内部活动连接有第一螺纹杆7，第一螺纹杆7的两端设有限位块，且限位块固定安装在防护壳2内部两侧壁处，两个l形块9与第一螺纹杆7的连接处设有相反的螺纹，第一螺纹杆7的表面固定安装有第二锥齿轮8，第二锥齿轮8与第一锥齿轮5相啮合，第一螺纹杆7的表面旋合有l形块9，防护壳2的内部开设有与l形块9相适配的槽，l形块9的内部固定安装有支撑杆，且夹块1005活动连接在支撑杆的表面，l形块9的内部开设有与夹块1005相适配的槽，夹块1005的底端固定安装有软性垫块，l形块9的内侧固定安装有夹紧装置10，防护壳2的顶端固定安装有工作台11。

夹紧装置10包括第二螺纹杆1001，l形块9的内部旋合有第二螺纹杆1001，第二螺纹杆1001的表面旋合有活动块1002，两个活动块1002与第二螺纹杆1001的连接处设有相反的螺纹，两个活动板1003通过连接杆活动连接，活动块1002的内部活动连接有剪叉式活动板1003，活动板1003的底端活动连接有滑块1004，l形块9的内部活动连接有夹块1005，夹块1005的顶端固定安装有固定块1006，固定块1006的内侧固定安装有固定杆1007，滑块1004活动连接在固定杆1007的表面，l形块9的内侧固定安装有辅助块1008，通过l形块9的内侧固定安装有夹紧装置10，且两个l形块9由防护壳2的内部设置的调节机构，使得夹紧装置10在工作台11的上方，便于由夹紧装置10将硅晶片牢靠的固定在工作台11的上表面。

工作原理：该硅晶片清洗用固定装置，先通过启动电机3，使得转杆4带动第一锥齿轮5转动，第一锥齿轮5带动第二锥齿轮8使得第一螺纹杆7转动，第一螺纹杆7带动两个l形块9同时向工作台11的中心处靠拢的方式移动，即两个l形块9之间的距离可以调节，再通过l形块9的内侧固定安装有夹紧装置10，便于将大小不同的硅晶片牢靠的固定在工作台11的上表面，通过防护壳2内部设置的调节机构，使得l形块9带动夹紧装置10中的夹块1005移至工作台11的上方处，然后将硅晶片放置在工作台11与夹块1005之间处，再通过转动第二螺纹杆1001，使得两个活动块1002在第二螺纹杆1001的表面以对立方向呈靠拢的方式移动，活动块1002带动两个活动板1003通过连接杆使得两个滑块1004在固定杆1007的表面以对立方向呈靠拢的方式移动，此时固定杆1007带动固定块1006使得夹块1005在支撑杆的表面向下移动，当夹块1005带动软性垫块贴紧硅晶片的上表面时，便于将硅晶片牢靠的固定在工作台11的上表面。

对于本领域技术人员而言，本实用新型不限于上述示例性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或范围的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，本实用新型的实施例是示例性的，而且是非限制性的。本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。