技术总结
本发明提供一种适用于柔性基板的热真空干燥装置，通过将热真空干燥装置内的第一支撑销(5)、第二支撑销(6)均分别改进为镶嵌结构或层套结构，能够加速热传导，使得基板(7)与第一支撑销(5)或第二支撑销(6)的接触部分、及基板(7)与第一支撑销(5)或第二支撑销(6)的非接触部分之间的温差减小、受热均匀，从而减少由支撑销引起的支撑痕迹，并允许适当增加中间区域的支撑销数量，减轻因基板下垂引起的膜厚不均现象。
技术研发人员：张纯
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201611200169
技术研发日：2016.12.22
技术公布日：2017.05.03