一种螺杆式真空泵可凝性气体回收机组的制作方法

文档序号:13266242阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种螺杆式真空泵可凝性气体回收机组,包括螺杆干式真空泵,其特征在于:所述的螺杆干式真空泵的上部设置有螺杆干式真空泵进气口,螺杆干式真空泵的下部安装有排气管路,排气管路的另一端安装有螺旋管式换热器,螺旋管式换热器的底部安装有回收罐。2.根据权利要求1所述的一种螺杆式真空泵可凝性气体回收机组,其特征在于:所述的螺旋管式换热器的中下部位置设置有冷媒进口,螺旋管式换热器的中上部位置设置有冷媒出口。3.根据权利要求1所述的一种螺杆式真空泵可凝性气体回收机组,其特征在于:所述的回收罐的顶部设置有排气口。4.根据权利要求1所述的一种螺杆式真空泵可凝性气体回收机组,其特征在于:所述的回收罐的底部设置有回收接口。5.根据权利要求1所述的一种螺杆式真空泵可凝性气体回收机组,其特征在于:所述的螺杆式真空泵可凝性气体回收机组还包括钢槽底座,回收罐和螺杆干式真空泵分别安装在钢槽底座的左右两侧。
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