1.一种耐腐蚀超声换能器雾化片,包括压电陶瓷基体以及分别设置在压电陶瓷基体两侧的第一电极和第二电极,其特征在于,所述第一电极和第二电极的表面覆盖一层纳米氧化锆保护层。
2.根据权利要求1所述的耐腐蚀超声换能器雾化片,其特征在于,所述纳米氧化锆保护层的厚度为5~30μm。
3.根据权利要求2所述的耐腐蚀超声换能器雾化片,其特征在于,所述纳米氧化锆保护层的厚度为10~25μm。
4.根据权利要求3所述的耐腐蚀超声换能器雾化片,其特征在于,所述纳米氧化锆保护层的厚度为15~20μm。
5.根据权利要求4所述的耐腐蚀超声换能器雾化片,其特征在于,所述第一电极的面积大于第二电极的面积。
6.根据权利要求1至5任一项所述的耐腐蚀超声换能器雾化片,其特征在于,所述压电陶瓷基体为环形压电陶瓷基体,所述第一电极、第二电极以及纳米氧化锆保护层与环形压电陶瓷基体环形中空部分相对应的部分设有多个雾化通孔。
7.根据权利要求6所述的耐腐蚀超声换能器雾化片,其特征在于,所述第一电极、第二电极以及纳米氧化锆保护层相对压电陶瓷基体环形中空部分的部位内凹。
8.根据权利要求7所述的耐腐蚀超声换能器雾化片,其特征在于,所述雾化通孔为锥形通孔和圆柱形通孔结合而成的漏斗形通孔,所述漏斗形通孔在第一电极和第二电极中具有一致的方向。