一种玻璃外套管的真空密封结构的制作方法

本实用新型涉及半导体制造领域，具体是一种玻璃外套管的真空密封结构。

背景技术：

晶棒原材料为碲和锑，为提高其原材料的纯度，采用真空蒸馏工艺，分离原材料中的杂质，以提高原材料的纯度。但是由于真空蒸馏的过程对真空度的要求非常高，在真空蒸馏过程中如果有泄漏和真空度下降，会导致原材料氧化甚至直接报废。

现有的防止真空蒸馏过程中泄漏是玻璃外套管和吸盘间涂真空硅脂后抽气吸紧密封的方法。在涂抹真空硅脂时要求涂的均匀，而且对玻璃管和吸盘平整度要求较高。在实际操作过程中，每次使用前后要彻底清除玻璃管和吸盘上的真空硅脂，再重新涂抹，消耗大量的人工和真空硅脂，而且中途漏气的情况也时有发生，同时在更换过程中真空硅脂还污染原材料，对真空蒸馏材料的良率和品质造成了很大的影响。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，解决现有真空蒸馏技术中密封不严密，操作困难，容易造成硅脂污染的问题。

为达到上述发明目的，提供一种玻璃外套管的真空密封结构，包括玻璃外套管本体和吸盘，所述吸盘上贯穿有抽气管，所述玻璃外套管本体的开口外翻形成翻边竖边，所述吸盘面上环形开设凹槽，所述凹槽内嵌有密封圈。

优选的，所述凹槽截面为矩形。

优选的，所述密封圈截面为圆形。

优选的，所述密封圈采用耐高温氟橡胶制成。

优选的，所述玻璃外套管本体内还塞有透气的隔离套。

设置翻边与嵌入密封圈的凹槽相互贴合，让操作人员能够简便地进行密封准备工作。实际真空密封时，只需对准翻边与吸盘开启抽气，密封便能自动完成，操作便捷。

凹槽的截面一般可为梯形、圆形、多边形等，但是采用矩形时，能够更方便工人嵌入密封圈，操作方便快捷，同时也不会轻易脱出。

密封圈截面为圆形，由于没有特别的安装方向，能让安装人方便地进行密封圈安装，使得流水化程度升高。

透气隔离套的设置把晶棒原材料和密封面隔离开，防止晶棒原材料进入密封面，同时不妨碍真空环境的创建。

本实用新型既可以提高提纯材料品质，又可降低真空硅脂的消耗，大幅提高材料提纯人员的生产效率、降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构组合示意图；

图2为本实用新型的吸盘底面示意图；

图3为本实用新型的密封圈俯视图；

其中：

1-玻璃外套管本体 11-翻边 2-吸盘

21-凹槽 22-密封圈 23-抽气管

3-隔离套

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型做进一步说明。

根据图1至图3所示的一种玻璃外套管的真空密封结构，包括玻璃外套管本体1和吸盘2，所述吸盘2上贯穿有抽气管23，所述玻璃外套管本体1的开口外翻形成翻边11竖边。所述吸盘面2上环形开设凹槽21，所述凹槽21内嵌有密封圈22。所述的凹槽21在吸盘2和玻璃外套管1对位后被翻边11覆盖住，从而使密封圈22完全位于翻边11与吸盘2之间。

所述凹槽21截面为矩形。

所述密封圈22截面为圆形。

所述密封圈22采用耐高温氟橡胶制成。

所述玻璃外套管本体1内还塞有透气的隔离套3。

制作流程如下：

先将已装料的玻璃外套管1口翻边11、吸盘2、密封圈22擦拭干净。然后将密封圈22嵌入吸盘2的凹槽21内。启动真空泵，将吸盘2和玻璃外套管1对位后吸合。最后打开提纯设备进行晶棒原材料真空蒸馏。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型 或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。