技术总结
本发明公开了一种收发性能平衡的微机电超声换能器面阵探头,包括硅衬底(1),所述硅衬底(1)的上表面为氧化层(2),所述氧化层(2)的上表面开设有若干空腔(3),所述氧化层(2)的上表面键合振动薄膜(4),所述振动薄膜(4)的上表面设隔离层(5),围绕隔离层(5)的四周边缘处及其内部开设有下沉的隔离槽(6),所述隔离槽(6)贯穿隔离层(5)和振动薄膜(4)后,其槽底开设于氧化层(2)上;所述隔离层(5)的上表面上正对每个空腔(3)的中心位置处设有上电极(7)。本发明超声探头结构新颖、体积小、频带宽、灵敏度高,噪声低,稳定性好,收发性能平衡。
技术研发人员:何常德;张斌珍;奚水;高文友;薛晨阳;张文栋;梁伟健
受保护的技术使用者:中北大学
文档号码:201710009233
技术研发日:2017.01.06
技术公布日:2017.06.20