一种真空反应釜的制作方法

本实用新型涉及反应釜的技术领域，特别涉及一种真空反应釜。

背景技术：

随着微电子技术的发展，集成度越来越高，CMP过程在集成电路制备过程中越来越重要，抛光液的质量和洁净度显的尤为重要。目前，制备用于CMP碱性抛光液的反应釜一般都采用机械搅拌的反应釜。反应釜由釜体、釜盖、夹套、搅拌器、传动装置、轴封装置、支承等组成。搅拌桨在反应釜内通过外部电机的带动对反应液搅拌。虽然反应液能够被充分搅拌，但容易对抛光液造成污染，尤其是机油的污染。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空反应釜，解决上述现有技术问题中的一个或者多个。

本实用新型提供一种真空反应釜，包括筒体、上封头和下封头构成整体反应釜结构，上封头设有第一接口和第二接口，第一接口与设于筒体外的料斗通过第一管路相连通，第二接口与设于筒体外部的真空泵通过第二管路相连通，下封头设有第三接口，第三接口与设于筒体外部的储料罐通过第三管路相连通。

在一些实施方式中，第一接口为三通结构，第一接口一通与设于筒体外的料斗通过第一管路相连通，第一接口二通与设于筒体内的第四管路相连，第一接口三通与第四接口相连，第四接口与设于筒体外的风机通过第五管路相连通。

在一些实施方式中，第四管路一端与第一接口相连，另一端设于筒体底部，第四管路上设有若干通孔。

在一些实施方式中，第二管路上设有第一阀门，第三管路设有第二阀门。

有益效果：本实用新型实施例的真空反应釜，在反应釜内部没有搅拌桨搅拌，采用内部抽真空的方式形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得反应液充分混合均匀的同时不受外界污染。

附图说明

图1为本实用新型一实施方式中一种真空反应釜的结构示意图；

图2为本实用新型一实施方式中一种真空反应釜局部的结构示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图，对本实用新型进行进一步详细的说明。

如图1所示，

一种真空反应釜，包括筒体10、上封头11和下封头12构成整体反应釜结构，上封头11设有第一接口20和第二接口30，第一接口20与设于筒体10外的料斗22通过第一管路相连通，第二接口30与设于筒体10外部的真空泵通过第二管路相连通，下封头12设有第三接口40，第三接口40与设于筒体10外部的储料罐通过第三管路相连通。

具体的，筒体10可以是玻璃反应釜，上封头11和下封头12通过密封胶和玻璃筒体10连接，形成一个封闭的反应釜。在上封头11上连接有第一接口20，第一接口20通过第一管路和料斗22连通，料斗22中的原料可以直接倒入料斗中，或者通过泵将原料抽至料斗22中。

其中，原料包括硅溶胶以及将硅溶胶配成抛光液的助剂，包括盐类、碱类和有机溶剂，先通过泵将一定量的硅溶胶抽至玻璃反应釜内，然后通过泵或者直接将计算好一定量的助剂倒入料斗22内，加料完成后，使用真空泵通过第二接口30将反应釜抽至真空，反应釜内部抽真空形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得助剂与硅溶胶混合均匀。混料完成后，通过底部的第三接口40将成品抽至储料罐中。其中，第一管路，第二管路，第三管路均可以选择塑料管路。

如图2所示，

进一步的，第一接口20为三通结构，第一接口20一通与设于筒体10外的料斗22通过第一管路相连通，第一接口20二通与设于筒体10内的第四管路21相连，第一接口20三通与第四接口23相连，第四接口23与设于筒体10外的风机通过第五管路相连通。

具体的，可以通过在三通结构中安装三通阀，来控制料斗22通过第一接口20与第四管路21相连通，或者第四接口23通过第一接口20与第四管路21相连通。当加入原料时，控制三通阀将料斗22与第四管路21相连通，加料完成后，控制第四接口23与第四管路21相连通，第四接口23与设于筒体10外的风机相连，通过风机鼓风将第四管路21残留的原料吹入反应釜中，并不断吹风对硅溶胶和助剂进行鼓泡混合。

进一步的，第四管路21一端与第一接口20相连，另一端设于筒体10底部，第四管路21上设有若干通孔。

具体的，通孔沿着第四管路21纵向设置，可以等间距排列，当加入原料硅溶胶时，可以提升加料的速度，当加入助剂时，可以通过纵向排列的通孔加入到反应釜中硅溶胶不同的位置，使其混合均匀。而当通过风机进行鼓风时，设置在不同位置的通孔通入气流时，使得硅溶胶和助剂混合更均匀。

进一步的，第二管路上设有第一阀门31，第三管路设有第二阀门41。具体的第一阀门31和第二阀门41可以手动控制或者选择电磁阀进行自动控制。

工作原理：

原料包括硅溶胶以及将硅溶胶配成抛光液的助剂，包括盐类、碱类和有机溶剂，先通过泵将一定量的硅溶胶抽至玻璃反应釜内，然后通过泵或者直接将计算好一定量的助剂倒入料斗22内。当加入原料时，控制三通阀将料斗22与第四管路21相连通，加料完成后，使用真空泵通过第二接口30将反应釜抽至真空，反应釜内部抽真空形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得助剂与硅溶胶混合均匀，同时控制第四接口23与第四管路21相连通，第四接口23与设于筒体10外的风机相连，通过风机鼓风将第四管路21残留的原料吹入反应釜中，并不断吹风对硅溶胶和助剂进行鼓泡混合。混料完成后，通过底部的第三接口40将成品抽至储料罐中。

本实用新型提供的实施方案中的真空反应釜，在反应釜内部没有搅拌桨搅拌，采用内部抽真空的方式形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得反应液充分混合均匀，且不受污染。

以上表述仅为本实用新型的优选方式，应当指出，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围之内。