碳纳米管薄膜的表面聚合物的去除方法及电子器件与流程

技术特征：

技术总结
本公开提供了一种碳纳米管薄膜的表面聚合物的去除方法，包括：在碳纳米管薄膜形成后或在制备基于碳纳米管薄膜的电子器件的过程中，通过含氢等离子体与碳纳米管薄膜的表面的高分子聚合物反应，以去除碳纳米管薄膜的表面的高分子聚合物。

技术研发人员：董立军;谢雨农;张志勇;彭练矛
受保护的技术使用者：北京大学
技术研发日：2018.08.29
技术公布日：2019.01.18