一种吸收还原炉底盘硅尘的装置的制作方法

文档序号:11535640阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种吸收还原炉底盘硅尘的装置,适用于生产硅棒的还原炉底盘的清理,其特征在于,包括旋风分离器、第一缓冲罐、水环真空泵和水池,所述旋风分离器用于与所述还原炉底盘连通,所述第一缓冲罐和所述水环真空泵均与所述旋风分离器连通,所述水池与所述水环真空泵连通。

2.根据权利要求1所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述旋风分离器包括第一壳体、第一进气口、第一出气口和第二出气口,所述第一壳体包括连通的圆筒部和锥形部,所述第一进气口设置于所述圆筒部的侧壁,所述第一出气口设置于所述圆筒部的上端部并用于与所述水环真空泵连通,所述第二出气口设置于所述锥形部的下端部并用于与所述第一缓冲罐连通。

3.根据权利要求2所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述第一缓冲罐具有第一放料口,所述第一缓冲罐的上端部通过第二出气口与所述旋风分离器连通,所述第一放料口设置于所述第一缓冲罐的下端部。

4.根据权利要求1所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述吸收还原炉底盘硅尘的装置还包括吸尘软管,所述吸尘软管与所述旋风分离器连通。

5.根据权利要求4所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述吸收还原炉底盘硅尘的装置还包括第二缓冲罐,所述第二缓冲罐分别与所述吸尘软管和所述旋风分离器连通。

6.根据权利要求5所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述第二缓冲罐包括第二壳体、第二进气口和第三出气口,所述第二进气口设置于所述第二壳体的中部并用于连通所述吸尘软管,所述第三出气口设置于所述第二壳体的上端部并用于连通所述旋风分离器。

7.根据权利要求6所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述第二缓冲罐还包括第二放料口,所述第二放料口设置于所述第二壳体的下端部。

8.根据权利要求5所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述吸收还原炉底盘硅尘的装置还包括除尘管道,所述吸尘软管、所述第二缓冲罐、所述旋风分离器和所述水环真空泵之间均通过所述除尘管道连通。

9.根据权利要求1-8任一项所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述水环真空泵还具有设置于所述水环真空泵下端的进水口。

10.根据权利要求9所述的吸收还原炉底盘硅尘的装置,其特征在于,所述水池设置有排水口。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1