技术总结
本实用新型提供一种吸收还原炉底盘硅尘的装置，属于多晶硅技术领域。其适用于生产硅棒的还原炉底盘的清理，包括旋风分离器、第一缓冲罐、水环真空泵和水池，旋风分离器用于与还原炉底盘连通，第一缓冲罐和水环真空泵均与旋风分离器连通，水池与水环真空泵连通。此吸收还原炉底盘硅尘的装置中，水环真空泵为整个装置提供动力，使硅尘通过旋风分离器将生产硅棒的还原炉底盘上的硅尘分离成大颗粒硅尘和小颗粒硅尘，大颗粒硅尘通过第一缓冲罐进行收集，并回收利用，小颗粒硅尘通过水环真空泵进入水池中进行处理，使硅尘的处理更加系统、方便，能使还原底盘更加洁净，避免生产车间的环境污染，保证多晶硅产品的质量。
技术研发人员：甘易武;韩成福;申德山;靳志明;王鹏程
受保护的技术使用者：亚洲硅业（青海）有限公司
文档号码：201621439349
技术研发日：2016.12.26
技术公布日：2017.08.15