一种p型、n型重掺硅料染色分拣的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及硅料加工技术领域，具体涉及一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法。
【背景技术】
[0002]随着大规模集成电路和光伏产业的发展，集成度的不断提高，对硅原料的需求越来越高，同时对硅片的质量要求也越来越高，在生产过程中，经常需要处理和回收利用碎硅料，而碎硅料中除有较多石子、金属、纤维等杂物需清除外，还会遇到在低浓度掺杂的合格料中掺有高浓度掺杂的P型和N型重掺料的情形，在清理碎硅料时需将这部分重掺硅料分拣出去；现有的P型、N型重掺硅料分拣方法，因重掺料与合格料颜色相近不好区分，故通常是采用仪器分拣，仪器的购买成本较高，且仪器分拣重掺耗时长，工效差，不利于大批量的碎硅料回收利用。
【发明内容】
[0003]本发明的目的旨在提供一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，可将P型、N型重掺硅料从合格料中快速分拣出来。
[0004]为实现上述目的，本发明的一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，包括以下步骤:配制腐蚀液一染色一分拣，
[0005]I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸11-13、70%浓度硝酸950-1050、85%浓度磷酸9.5-10.5，置于浸泡池，现配现用；2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤I)配制的腐蚀液中，浸泡3-4小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；3)分拣:将浸泡后的碎硅片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
[0006]本发明的一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法与现有技术相比具有如下优异效果。
[0007]采用本发明的P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，根据合格料为低浓度掺杂、重掺料为高浓度掺杂，以及它们的型号不同、掺杂不同，化学电势能也不相同，以至于在腐蚀液中络合速率有快有慢的原理，将P型、N型重掺硅料分别染色，从而可以快速分拣出P型、N型重掺硅料，提高了分拣的工效，并且不需要通过专用分拣仪器，降低了生产成本。
【具体实施方式】
[0008]下面对本发明的一种清除碎硅片中杂质的方法作进一步的详细说明。
[0009]本发明的一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，包括以下步骤:配制腐蚀液一染色一分拣，
[0010]I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸11-13、70%浓度硝酸950-1050、85%浓度磷酸9.5-10.5，置于浸泡池，现配现用；2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤I)配制的腐蚀液中，浸泡3-4小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；3)分拣:将浸泡后的碎硅片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
[0011]实施例1:
[0012]一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，包括以下步骤:
[0013]I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸11、70%浓度硝酸950、85%浓度磷酸9.5，置于浸泡池，现配现用；2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤I)配制的腐蚀液中，浸泡3小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；3)分拣:将浸泡后的碎娃片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
[0014]实施例2:
[0015]一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，包括以下步骤:
[0016]I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸12、70%浓度硝酸1000、85%浓度磷酸10，置于浸泡池，现配现用；2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤I)配制的腐蚀液中，浸泡3.5小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；3)分拣:将浸泡后的碎硅片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
[0017]实施例3:
[0018]一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，包括以下步骤:
[0019]I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸13、70%浓度硝酸1050、85%浓度磷酸10.5，置于浸泡池，现配现用；2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤I)配制的腐蚀液中，浸泡4小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；3)分拣:将浸泡后的碎硅片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
[0020]以上实施例仅对本发明精神的举例说明，本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的实施例做不同方式的修改或补充或采用类似的方式替换，但并非偏离本发明的精神所定义的范围。
【主权项】
1.一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，包括以下步骤:配制腐蚀液一染色一分拣，其特征在于: (I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸11-13、70%浓度硝酸950-1050、85%浓度磷酸9.5-10.5，置于浸泡池，现配现用；(2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤(I)配制的腐蚀液中，浸泡3-4小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；(3)分拣:将浸泡后的碎硅片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
2.根据权利要求1所述的P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，其特征在于: (I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸11、70%浓度硝酸950、85%浓度磷酸9.5，置于浸泡池，现配现用；(2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤(I)配制的腐蚀液中，浸泡3小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；(3)分拣:将浸泡后的碎硅片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
3.根据权利要求1所述的P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，其特征在于: (I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸12、70%浓度硝酸1000、85%浓度磷酸10，置于浸泡池，现配现用；(2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤(I)配制的腐蚀液中，浸泡3.5小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；(3)分拣:将浸泡后的碎硅片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
4.根据权利要求1所述的P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，其特征在于: (I)配制腐蚀液:取55%浓度氢氟酸13、70%浓度硝酸1050、85%浓度磷酸10.5，置于浸泡池，现配现用；(2)染色:将待分拣碎硅片置于浸泡池内的步骤(I)配制的腐蚀液中，浸泡4小时，浸泡后P型重掺染为蓝黑色，N型重掺染为淡褐色；(3)分拣:将浸泡后的碎硅片转入漂洗槽内用纯水浸漂20分钟，浸漂结束、烘干后，分拣出碎硅片中的蓝黑色P型重掺和淡褐色N型重掺。
【专利摘要】本发明涉及硅料加工技术领域，具体涉及一种P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，包括以下步骤：配制腐蚀液→染色→分拣，采用本发明的P型、N型重掺硅料染色分拣的方法，根据合格料为低浓度掺杂、重掺料为高浓度掺杂，以及它们的型号不同、掺杂不同，化学电势能也不相同，以至于在腐蚀液中络合速率有快有慢的原理，将P型、N型重掺硅料分别染色，从而可以快速分拣出P型、N型重掺硅料，提高了分拣的工效，并且不需要通过专用分拣仪器，降低了生产成本。
【IPC分类】B07C5-342, B07C5-02
【公开号】CN104624512
【申请号】CN201510043376
【发明人】梅川奇, 傅卓理, 何贤安
【申请人】江西久顺科技有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2015年1月21日