技术总结
本发明公开了一种基于压电陶瓷的MEMS微结构三轴式动态加载装置，包括套筒，叠堆压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及电动丝杠传动机构；在上、下联接块之间分别设有球面凸起和球面凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块外缘通过圆周均布的连接杆连接有安装块，在安装块上分别安装有球头柱塞，球头柱塞外端钢珠顶入到套筒外壁的矩形凹槽内。该装置能够更灵活的对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
技术研发人员：佘东生;于震;魏洪峰;刘继行;韩建群;伦淑娴
受保护的技术使用者：渤海大学
技术研发日：2017.12.16
技术公布日：2018.06.29