1.一种膜贴合控制平台,包括平台本体(6),其特征在于,所述平台本体(6)上设置吸盘(1),所述吸盘(1)的中间区域为膜放置区(5),所述膜放置区(5)的中央设置凸起的中心支柱(2),所述膜放置区(5)的边缘设置外轮廓限位(4);其中,位于所述膜放置区(5)下方的吸盘(1)设置环形对称分布且贯穿所述吸盘(1)的通孔(3)。
2.根据权利要求1所述的一种膜贴合控制平台,其特征在于,所述通孔(3)的直径为1~3mm,所述通孔(3)的数量为4~8个。
3.根据权利要求1所述的一种膜贴合控制平台,其特征在于,所述通孔(3)所围成的环形的直径为所述膜放置区(5)的直径的1/3~2/3。
4.根据权利要求1所述的一种膜贴合控制平台,其特征在于,所述通孔(3)与真空发生器的吸附腔连通。
5.根据权利要求1所述的一种膜贴合控制平台,其特征在于,膜的无膜区域、芯片的中央通孔区域均与所述中心支柱(2)的横截面相匹配,所述中心支柱(2)凸起的高度大于所述膜和芯片的厚度之和。
6.根据权利要求1所述的一种膜贴合控制平台,其特征在于,放置于所述膜放置区(5)内的膜的直径为81mm。
7.根据权利要求1所述的一种膜贴合控制平台,其特征在于,所述平台本体(6)设置支撑(61),所述支撑(61)和所述平台本体(6)通过固定孔(62)进行固定。