技术特征：
技术总结
本发明涉及MEMS声换能器和提供MEMS声换能器的方法。该MEMS声换能器包括第一背板和第二背板以及布置在第一背板和第二背板之间且由第一背板和第二背板之间的边缘固定部保持的膜。MEMS声换能器包括夹紧结构，夹紧结构被构造成，在施加有在工作状态下作用的静电力时，为膜在第一背板和第二背板之间并且与边缘固定部间隔地提供固定，并且在不存在静电力时解除所述固定。
技术研发人员：S·巴曾
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2018.03.12
技术公布日：2018.09.25