技术特征：
技术总结
本发明公开一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法，属于微机电系统微加工技术领域。制备得到的MEMS继电器的基底和可动结构的材料均为柔性聚合物聚酰亚胺，而且聚酰亚胺基底可以从硅片上剥离下来，从而真正实现了继电器的柔性。本发明采用热氧化、磁控溅射、光刻、化学腐蚀、等离子体增强化学气相沉积、牺牲层去除等工艺实现MEMS继电器的结构。该方法制备出的MEMS继电器具有柔性，可以用于柔性电子领域。
技术研发人员：刘军山;舒振;赵欣悦;单晗;尹鹏和;张悦;杜立群;徐征
受保护的技术使用者：大连理工大学
技术研发日：2018.04.16
技术公布日：2018.09.28