技术特征：
技术总结
本发明涉及一种微机械结构。所述微机械结构包括一具有上侧面的衬底；一在所述衬底中在所述上侧面上构造的微机械的功能结构（M、F、S1、S2）；以及一在所述衬底（1；1'）的上侧面（OS；OS'）上方构造的印制导线系统（L、V；LB）；其中，所述印制导线系统（L、V；LB）具有至少两个非传导性材料（10）的绝缘层（10）和一在所述绝缘层之间的传导性材料的印制导线层（L）。
技术研发人员：C.谢林
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2013.07.29
技术公布日：2019.09.27