专利名称：一种具有x射线镀液检测部件的镀膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种镀膜装置，尤其是一种具有X射线镀液检测部件的镀膜装置。
背景技术：
在使用金属溶液等镀液镀膜的工艺当中，镀液中的金属浓度以及杂质的浓度，对于被镀基板表面的电流分布、析出特性等都有重要影响，进而影响到镀膜与基板之间的结合强度、膜厚度的均一性、膜的导电、硬度等种种性能。总之，成膜的质量在很大程度上取决于对镀液成分一也即金属浓度以及杂质浓度的精确控制上。现行技术中往往采用从镀液补给槽中取出适量的镀液进行离线测量，然而根据测量的结果及经验定期更换镀液补给槽中的镀液或者调整镀液补给槽中镀液的成分浓度。然而一方面，这样往往难以及时反应镀膜过程中镀液的实际浓度，从而造成不能将镀液保持在各成分的最适宜浓度，导致镀膜质量不佳，另一方面，根据经验定期更换镀液还会造成不必要的浪费，例如镀液原本处于尚佳的浓度状态，能够顺利实施镀膜，但由于到了更换时限又不了解镀液情况还是会更换镀液。因此，开发一种能够对镀液中各成分实施实时检测的镀膜装置，将不但能够显著提高镀膜的质量，还能大幅降低生产成本。
发明内容本实用新型的目的即在于提供一种能够实时检测镀液中各成分浓度的镀膜装置。本实用新型所采用的技术方案如下一种具有X射线镀液检测部件的镀膜装置， 其具有镀槽、镀液补给槽、送液泵、过滤器；所述镀液补给槽的出液口通过镀液输送管路与所述送液泵一端连通，所述送液泵的另一端通过镀液输送管路与所述过滤器的一端连通， 所述过滤器的另一端通过镀液输送管路与所述镀槽的入液口连通，所述镀槽的出液口通过镀液输送管路与所述镀液补给槽的入液口连通；其特征在于上述各镀液输送管路的至少一部分由有机薄膜构成，所述有机薄膜的厚度在0. 5-lmm之间；在所述有机薄膜处设有两个以上的X射线发射部件和一个X射线检测部件，所述两个以上的X射线发射部件围绕所述X射线检测部件对称分布，所述两个以上的X射线发射部件都相对于所述有机薄膜倾斜设置使得其射出的X射线与所述有机薄膜形成夹角α，且20° < α <70°，所述X射线检测部件与所述有机薄膜平行设置。本实用新型通过镀液输送管路将镀槽、镀液补给槽、送液泵和过滤器相互连通，并实现了镀液在镀槽与镀液补给槽间的循环；而有机薄膜的设置正是为了 X射线发射部件发射的X射线能够顺利通过，并激发镀液产生X射线荧光，且X射线荧光也能够顺利通过被X 射线检测部件接收检测到，从而对镀液中各成分的浓度做出有效的分析；有机薄膜的厚度设置在0. 5-lmm之间最为合适，如果小于0. 5mm,则有机薄膜的强度不够，容易造成镀液的泄露，而如果超过1mm，则X射线及X射线荧光的透过性将难以满足检测要求；设置两个以上的X射线发射部件是为了保证X射线的入射强度以及激发的X射线荧光的反射强度；X射线发射部件相对于所述有机薄膜倾斜设置是保证大部分X射线被有机薄膜附近的镀液吸收以使得激发的χ射线荧光更易于反射出有机薄膜；χ射线检测部件与所述有机薄膜平行设置是保证X射线检测部件与所述有机薄膜距离尽可能接近以更好接收检测X射线荧光。本实用新型的有益效果是，能够实时对镀液的成分浓度做出检测，从而保证镀液随时处于最佳的成分浓度，以保证镀膜的质量处于最佳。
图1是本实用新型的具有X射线镀液检测部件的镀膜装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图1，详细描述本实用新型的具有X射线镀液检测部件的镀膜装置，其具有镀槽1、镀液补给槽2、送液泵3、过滤器4 ；所述镀液补给槽2的出液口通过镀液输送管路与所述送液泵3 —端连通，所述送液泵3的另一端通过镀液输送管路与所述过滤器4的一端连通，所述过滤器4的另一端通过镀液输送管路与所述镀槽1的入液口连通，所述镀槽 1的出液口通过镀液输送管路与所述镀液补给槽2的入液口连通；其特征在于上述各镀液输送管路的至少一部分由有机薄膜5构成，所述有机薄膜5的厚度在0. 5-lmm之间；在所述有机薄膜5处设有两个以上的X射线发射部件6A、6B，一个X射线检测部件7，所述两个以上的X射线发射部件6A、6B围绕所述X射线检测部件7对称分布，所述两个以上的X射线发射部件6A、6B都相对于所述有机薄膜5倾斜设置使得其射出的X射线与所述有机薄膜5 形成夹角α，且20° < α <70°，所述X射线检测部件7与所述有机薄膜5平行设置。镀液8通过上述各镀液输送管路完成在镀槽1与镀液补给槽2之间的循环。
权利要求1. 一种具有X射线镀液检测部件的镀膜装置，其具有镀槽、镀液补给槽、送液泵、过滤器；所述镀液补给槽的出液口通过镀液输送管路与所述送液泵一端连通，所述送液泵的另一端通过镀液输送管路与所述过滤器的一端连通，所述过滤器的另一端通过镀液输送管路与所述镀槽的入液口连通，所述镀槽的出液口通过镀液输送管路与所述镀液补给槽的入液口连通；其特征在于上述各镀液输送管路的至少一部分由有机薄膜构成，所述有机薄膜的厚度在0. 5-lmm之间；在所述有机薄膜处设有两个以上的X射线发射部件和一个X射线检测部件，所述两个以上的X射线发射部件围绕所述X射线检测部件对称分布，所述两个以上的X射线发射部件都相对于所述有机薄膜倾斜设置使得其射出的X射线与所述有机薄膜形成夹角α，且20° < α <70°，所述X射线检测部件与所述有机薄膜平行设置。
专利摘要一种具有X射线镀液检测部件的镀膜装置，其特征在于其镀液输送管路的至少一部分由有机薄膜构成，所述有机薄膜的厚度在0.5-1mm之间；在所述有机薄膜处设有两个以上X射线发射部件和一个X射线检测部件；所述X射线检测部件与所述有机薄膜平行设置；有机薄膜的设置是为了X射线发射部件发射的X射线能够顺利通过，并激发镀液产生X射线荧光，且X射线荧光也能够顺利通过被X射线检测部件接受检测到，从而对镀液中各成分的浓度做出有效的分析，实时对镀液的成分浓度做出检测，从而保证镀液随时处于最佳的成分浓度，以保证镀膜的质量处于最佳。
文档编号C25D21/14GK202297836SQ201120385480
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月11日 优先权日2011年10月11日
发明者陆剑飞 申请人:宁波高新区智胜技术服务有限公司