电极的制作方法

文档序号:9156042阅读:307来源:国知局
电极的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电解蚀刻设备,特别是有关电解蚀刻设备的电极装置。
【背景技术】
[0002]目前,在现有的电解蚀刻设备中,电极与被电解蚀刻板之间具有间隙,电解蚀刻时,电解液从电极的一侧或两侧斜向喷入该间隙中使电极与被电解蚀刻板之间间接导通。这样,电解蚀刻板表面所接收到的电解液难以保持均匀,容易使被电解蚀刻板表面蚀刻深浅不一,影响产品质量,甚至导致产品报废。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的在于提供一种能将电解液均匀喷在电解蚀刻板表面的电极。
[0004]为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是:一种电极,包括电极出液板,所述电极出液板的上部装有电极出液板盖,所述电极出液板盖具有进液口,所述电极出液板上具有若干条出液槽,出液槽的进口设在电极出液板的上表面并且与电极出液板盖内腔连通,出液槽的出口设在电极出液板的下表面。
[0005]所述电极出液板上具有2~10条并排布置的出液槽。
[0006]所述电极出液板盖的进液口设在侧面,进液口上连接有进液管,进液口的轴线方向与出液槽的长度方向同向。
[0007]所述电极出液板盖的两侧面分别具有2~10个进液口,每个进液口上分别连接有一个进液管。
[0008]所述电极出液板盖的两侧面的进液口两两相对布置,在电极出液板盖内且位于所述两侧面之间设有若干个竖立隔板,竖立隔板隔在相邻的进液口之间。
[0009]所述电极出液板盖的顶部设有引电板。
[0010]所述引电板上固定有导电板。
[0011 ] 所述进液管上装有进液管开关。
[0012]采用上述结构后,由于所述电极出液板的上部装有电极出液板盖,所述电极出液板盖具有进液口,所述电极出液板上具有若干条出液槽,出液槽的进口设在电极出液板的上表面并且与电极出液板盖内腔连通,出液槽的出口设在电极出液板的下表面。因此,本实用新型能使电解蚀刻板表面所接收到的电解液保持均匀,避免使被电解蚀刻板表面蚀刻深浅不一,提尚广品质量,成品率尚。
【附图说明】
[0013]以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
[0014]图1是本实用新型的电极的结构主视示意图;
[0015]图2是图1的俯视图;
[0016]图3是图1的左视图;
[0017]图4是图1的A-A剖视图;
[0018]图5是图1的B-B剖视图;
[0019]图6是图1中的电极出液板的仰视图;
[0020]图7是图6的主视图;
[0021]图8是图1中的电极出液板盖的主视图;
[0022]图9是图1的左视图;
[0023]图10是图8的仰视图;
[0024]图11是图8的C-C剖视图。
【具体实施方式】
[0025]如图1~11所示,本实用新型的一种电极,包括电极出液板1,所述电极出液板I的上部装有电极出液板盖2,所述电极出液板盖2具有进液口 2-1,所述电极出液板I上具有若干条出液槽1-1,出液槽1-1的进口设在电极出液板I的上表面并且与电极出液板盖2内腔连通,出液槽1-1的出口设在电极出液板I的下表面。
[0026]如图4、5、6所示,所述电极出液板I上具有2~10条并排布置的出液槽1_1。
[0027]如图1、3、4、5所示,所述电极出液板盖2的进液口 2_1设在侧面,进液口 2_1上连接有进液管3,进液口 2-1的轴线方向与出液槽1-1的长度方向同向。
[0028]如图5所示,所述电极出液板盖2的两侧面分别具有2~10个进液口 2_1,每个进液口 2-1上分别连接有一个进液管3。
[0029]如图5、9、10、11所示,所述电极出液板盖2的两侧面的进液口 2_1两两相对布置,在电极出液板盖2内且位于所述两侧面之间设有若干个竖立隔板2-1,竖立隔板2-2隔在相邻的进液口 2-1之间。
[0030]如图1、2、3、4所示,所述电极出液板盖2的顶部设有引电板5。
[0031]如图1、2、3、4所示,所述引电板5上固定有导电板6。
[0032]如图1、2、3所示,所述进液管3上装有进液管开关4。
【主权项】
1.一种电极,包括电极出液板(1),其特征在于: a、所述电极出液板(I)的上部装有电极出液板盖(2),所述电极出液板盖(2)具有进液口(2-1), b、所述电极出液板(I)上具有若干条出液槽(1-1),出液槽(1-1)的进口设在电极出液板(I)的上表面并且与电极出液板盖(2)内腔连通,出液槽(1-1)的出口设在电极出液板(I)的下表面。2.根据权利要求1所述的电极,其特征在于:所述电极出液板(I)上具有2~10条并排布置的出液槽(1-1)。3.根据权利要求1所述的电极,其特征在于:所述电极出液板盖(2)的进液口(2-1)设在侧面,进液口( 2-1)上连接有进液管(3),进液口( 2-1)的轴线方向与出液槽(1-1)的长度方向同向。4.根据权利要求3所述的电极,其特征在于:所述电极出液板盖(2)的两侧面分别具有2-10个进液口( 2-1),每个进液口( 2-1)上分别连接有一个进液管(3)。5.根据权利要求4所述的电极,其特征在于:所述电极出液板盖(2)的两侧面的进液口(2-1)两两相对布置,在电极出液板盖(2)内且位于所述两侧面之间设有若干个竖立隔板(2-2),竖立隔板(2-2)隔在相邻的进液口(2-1)之间。6.根据权利要求1所述的电极,其特征在于:所述电极出液板盖(2)的顶部设有引电板(5)07.根据权利要求6所述的电极,其特征在于:所述引电板(5)上固定有导电板(6)。8.根据权利要求3所述的电极,其特征在于:所述进液管(3)上装有进液管开关(4)。
【专利摘要】本实用新型公开了一种电解蚀刻设备用的电极,包括电极出液板,所述电极出液板的上部装有电极出液板盖,所述电极出液板盖具有进液口,所述电极出液板上具有若干条出液槽,出液槽的进口设在电极出液板的上表面并且与电极出液板盖内腔连通,出液槽的出口设在电极出液板的下表面。本实用新型能将电解液均匀喷在电解蚀刻板表面,避免使被电解蚀刻板表面蚀刻深浅不一,提高产品质量,成品率高。
【IPC分类】C25F3/02
【公开号】CN204825110
【申请号】CN201520530288
【发明人】周丁政
【申请人】常州正成机电科技有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年7月21日
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