专利名称：涡卷真空泵的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种涡卷真空泵，尤其涉及这样一种涡卷真空泵，其中固定涡卷的固定卷体与旋转安装到外壳中驱动轴偏心部的回转涡卷的回转卷体啮合，回转涡卷由驱动轴以某个偏心率旋转，这样通过外壳的外圆周吸入的气体就朝中心压缩并排放。
背景技术：
涡卷真空泵是公知的。在涡卷真空泵中，操作时间过长，并且驱动轴的偏心部和轴承以及支撑它的填充物的温度会升高，从而导致轴承和填充物损坏，这样它们就变得难于使用。
因此，在涡卷真空泵中，为了提高耐用性，非常重要的是使驱动轴偏心部的温度即使在操作时间过长时也不会变得过高。
为了满足这种要求，本领域内的技术人员已知下列措施(1)将低温或室温空气或氮气导入涡卷真空泵的压缩区域并且在有毒气体在压缩区域中稀释时对该区域进行冷却。
(2)在驱动轴中轴向形成的通风孔允许低温或室温空气或氮气释放到轴承上并导入压缩区域中。气体在对该区域进行冷却之后被释放。
(3)驱动轴的偏心部为中空的，并将低温或室温气体导入偏心部以对其进行冷却。
JP 63-105294A公开了如上述措施(1)所述的将惰性气体例如N2由外部导入，并且其中的图5显示了在如上述措施(3)中所述的驱动轴的偏心部内的气体流动路径。
然而，上述技术措施中仍然存在问题。为将低温或室温气体或氮气导入压缩区域中，必须在其中提供导入路径，并且还要在外部提供供给气体的装置。所以其结构变得复杂和大型化，从而增加了成本。
当驱动轴旋转时，低温或室温空气或氮气通过驱动轴的通风孔导入以冷却轴承，但是当驱动轴停止旋转时，压缩区域中的有毒气体或包含杂质的气体就倒流并且通过通风孔排放到外部，从而导致环境污染。
发明内容
鉴于现有技术中存在的缺陷，本发明的一个目的是提供一种涡卷真空泵，其中外部空气被导入位于回转涡卷和固定涡卷之间的压缩室，从而在操作过程中对轴承进行冷却以提高耐用性，而在不操作时压缩室中的有毒气体不会泄漏到外部。
通过下面针对附图所示实施例所作的描述，本发明的特征和优点将变得更加显而易见，其中图1是根据本发明的涡卷真空泵的一个实施例的垂直剖面侧视图；图2是销-曲柄型防自旋机构的分解垂直剖视图；以及图3是止回阀的放大垂直剖视图。
具体实施例方式
图1是本发明的涡卷真空泵的垂直剖面侧视图，其中回转涡卷转动，从而将通过外圆周吸入的气体推送至形成于回转涡卷和固定涡卷之间的压缩室，压缩后的气体在靠近中心的位置被排放。
数字1表示具有密封的盘状压缩室2的外壳，其包括机壳3和机盖4，机盖4在其外周边上具有吸入口1a。机壳3和机盖4具有包围压缩室2的固定端板3a和4a。固定端板3a和4a分别具有形成固定涡卷3c和4c的螺旋固定卷体3b和4b。
在固定端板3a和4a之间的压缩室2中，回转涡卷5围绕压缩室2的轴线转动。回转涡卷5具有与彼此偏离180度的固定涡卷3c、4c啮合的回转卷体5b、5b，并且它在外壳1的中心通过轴承6、7旋转地安装到驱动轴8的偏心部8a上。
回转端板5a通过三个已知的销-曲柄型防自旋机构(图1中未显示)连接到固定端板3a上。当驱动轴8旋转时，回转板5a在压缩室2中偏地转动，从而改变固定卷体3b、4b和与之相互啮合的回转卷体5b之间的密封空间。
如图2所示，在销-曲柄型防自旋机构中，销-曲柄11的主轴11a通过球轴承12旋转地装配在固定端板3a中，并且曲柄轴11b通过靠近回转板5a的外圆周的轴承14装配在支撑孔13中。
形成一个与压缩室2连通的通孔16，并且通孔16在外端由靠近机盖4中心的插塞15闭合。排放孔17由通孔16径向延伸至机盖4的外圆周。排放接头18装配在排放孔17上。驱动轴8由马达(未显示)驱动，冷却风扇19、20安装到驱动轴8上分别靠近机壳3和机盖4外端的位置。冷却翅片3d、4d分别凸出于机壳3和机盖4的外表面。
根据本发明，在一端与外部空气连通的通风孔21沿着驱动轴8的中心延伸，并且在驱动轴8的增厚偏心部8a的中间与阀孔22连通。阀孔22由通风孔21径向延伸至偏心部8a的外圆周表面。
回转端板5a具有排放孔24，排放孔24从通风孔21的外端经由连通路径24a径向延伸，并且经由较小直径的出口23向形成于固定卷体3b、4b和回转卷体5b之间的压缩室2的半径中部的低压区域开放。
在阀孔22中具有径向朝外开放而不朝内开放的止回阀25。
图3中显示了止回阀25。
具有较小直径的阀座22a沿径向形成于阀孔22的内端，具有较大直径的部分22b形成于外端。阀盘26具有位于低端的锥形部，和在外圆周表面具有多个垂直槽26a的圆柱部。当阀孔22由止回阀25关闭时，阀盘26的锥形部就装配在阀座22a上。在较大直径部分22b上提供了具有排放开口27a的支承板27。
一个阀轴28由阀盘26的中心垂直地延伸到支承板27中，并且该阀轴28被位于阀盘26和支承板27之间的压缩弹簧29围绕。
在涡卷真空泵中，止回阀25的压缩弹簧29的强度被确定为实现下面将要描述的目标，且吸入孔1a连接到一个密封容器(未显示)，以在阀盘26关闭时减压或排空。密封容器容纳有毒气体，例如HCI。当驱动轴8的通气孔21与外部空气连通时，驱动轴8被驱动。
随着驱动轴8的旋转，转动地安装到它上面的回转涡卷在与固定涡卷3c、4c啮合的同时以某个偏心率转动。因此，连接到吸入孔1a上的密封容器逐渐减压并排空，这样有毒气体就被吸入涡卷真空泵中的压力室2中。
当驱动轴8的旋转速度超过一个特定值时，止回阀25的阀盘26将受到因此而产生的离心力，并逆着压缩弹簧29径向移动从而打开。
同时，涡卷真空泵中的压缩室2受到压缩，但总是具有比大气压低的压力。
当阀盘26在离心力的作用下从阀座22a移开时，由外部经由通气孔21导入阀孔22的空气通过阀盘26的槽26a和底盘27的开口27a流入排放孔24。最后，空气通过出口23而被吸入位于固定涡卷3c、4c和回转涡卷5之间的压缩室2。
因此，驱动轴8的偏心部8a以及围绕它的轴承9、10和填充物被从外部通过出口23导入的空气冷却，从而提高了耐用性。
当操作停止时，止回阀25自动关闭，从而防止压缩室2中的有毒气体排放到外部。所以环境不会被有毒气体污染。
实施例中的固定涡卷和回转涡卷具有两个面，但是本发明也可应用于单面涡卷。
上文仅涉及本发明的实施例。本领域的技术人员可以不背离权利要求的范围而做出多种改进和修改。
权利要求
1.一种涡卷真空泵，包括一个外壳；一个沿该外壳中心的驱动轴，所述驱动轴具有一个偏心部；一个固定在该外壳中的固定涡卷，所述固定涡卷具有一个固定卷体；以及一个旋转地围绕驱动轴的偏心部安装并且具有回转卷体的回转涡卷，该回转涡卷由驱动轴偏心地转动，这样通过外壳的外圆周吸入的气体就朝着位于彼此啮合的固定卷体和回转卷体之间的压缩室内的外壳中心压缩并排放，从而将气体吸入压缩室中，所述驱动轴具有一个与外部连通并在其中轴向延伸的通气孔、一个径向延伸的阀孔，该阀孔在一端与通气孔连通，在另一端对压缩室开放，所述阀孔具有一个止回阀，该止回阀在驱动轴旋转从而将外部空气导入压缩室进行冷却时由离心力打开，且止回阀在驱动轴停止旋转时关闭从而防止气体从压缩室泄漏到外部。
2.如权利要求1所述的涡卷真空泵，其中回转涡卷具有从阀孔到出口的对压缩室开放的排放孔。
全文摘要
一种具有回转涡卷和固定涡卷的涡卷真空泵。回转涡卷旋转地固定到驱动轴的偏心部并且由驱动轴转动，这样气体通过吸入孔而被吸入位于回转涡卷和固定涡卷之间的压缩室。外部空气通过轴向形成于驱动轴内的通风孔导入并且经由一个止回阀被导入至压缩室内，止回阀在驱动轴旋转时受到离心力的作用打开，从而冷却偏心部和轴承以提高其耐用性。当驱动轴停止旋转时，止回阀关闭，这样压缩室中的有毒气体就不会泄漏到外部，从而避免了环境污染。
文档编号F04C18/02GK1734096SQ20041005743
公开日2006年2月15日 申请日期2004年8月13日 优先权日2004年8月13日
发明者武藤龙介 申请人:阿耐斯特岩田株式会社