技术总结
本发明涉及用于真空获得设备的节能控制系统，包括顺序连接的变频器、电机和串联腔体，在串联腔体的末级腔体外沿轴向增加若干腔体形成多级串联腔体；所述若干腔体中的每个腔体内设有转子，所述转子安装于与电机输出轴连接的主轴上。方法包括电机通过恒转矩模式启动干泵；当干泵启动后，电机转为恒功率模式并升频实现软启动，多级串联腔体从一级至末级依次进行气体压缩，且电机电流小于额定电流。本发明增加多级干泵的级数，使各级能更合理的分配压缩比，改良了各级受载情况和载荷分布；电机功耗降低；随着受载情况改善，泵体振动和噪声也将趋良；各级腔体的温升也更均衡，将对泵体的冷却系统降低要求。
技术研发人员：王光玉;孔祥玲;汤剑;刘井岩
受保护的技术使用者：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
文档号码：201510844351
技术研发日：2015.11.25
技术公布日：2017.05.31