一种新型真空舱前级泵机组的制作方法

技术特征：

1.一种新型真空舱前级泵机组，其特征在于：它包含第一罗茨泵(1)、第二罗茨泵(2)、第三罗茨泵(3)、蝶阀二通(4)、蝶阀(5)、泵架弯头(6)、内置管道泵架(7)、第一过滤器(8)、第二过滤器(9)、第三过滤器(10)、第一旋片泵(11)、第二旋片泵(12)、第三旋片泵(13)，第一罗茨泵(1)与第二罗茨泵(2)连接，第二罗茨泵(2)与第三罗茨泵(3)连接，第三罗茨泵(3)通过蝶阀二通(4)与蝶阀(5)和泵架弯头(6)连接，泵架弯头(6)的一端与内置管道泵架(7)连接，内置管道泵架(7)上安装有第一过滤器(8)、第二过滤器(9)和第三过滤器(10)，其中第一过滤器(8)与第一旋片泵(11)连接，第二过滤器(9)与第二旋片泵(12)连接，第三过滤器(10)与第三旋片泵(13)连接。